[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题三：光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真 [复制链接]

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时间地点 ,g1~4,hqQ  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 cR&d=+R&  
苏州黉论教育咨询有限公司 QO>)ug+  
授课时间：2025年3月22（六）-23（日）AM 9:00-PM 16:00 t]{, 7.S  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 5k c
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课程讲师：讯技光电工程师团队成员 C,8@V`  
课程费用：3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) S#
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课程简介 Odm1;\=Eg+  
纵观历史，光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段，这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应（相干、偏振、干涉、衍射等），以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具，利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 ~(L&*/c  
干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识，如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 "HLh3L~  
显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分，课程内容中也涵盖了高NA系统，微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统，摩尔纹系统等。 m;sYg  
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课程大纲 _QtW)\)5\  
第一天 ZSB;4 ?:h  
1. 基本干涉原理 _$mS=G(  
 干涉发生的条件 BA9;=orx  
 杨氏双缝特性 lrgvY>E0  
2. 典型的干涉仪系统建模 t4p-pH'9b  
 光学层析扫描在面型检测中的应用 {;38&Izwz  
 基于涡旋光的干涉测量系统 Q@s G6iz  
 激光准直镜的测量 m[w~h\FS  
 基础Mirau干涉仪的仿真 'h>l_A
 
Q&A }]pOR&o  
第二天 OYOczb]  
1. 干涉系统的应用 >qdRqy)DC  
 光学系统部分相干性测试 ZV!*ZpTe~  
 法布里腔干涉仪分辨光谱 6f J5Y iQ  
 时间相干性的测试（傅里叶变换光谱仪） CelM~W$=u  
 全息曝光干涉 =]L#v2@  
2. 多尺度系统建模仿真 /pp;3JPf  
 衍射光栅干涉测量 i;67<f}-  
 阿贝成像理论 x&gS.b*  
 单色仪/光谱仪系统仿真 nB |fw"
 
 用于微结构晶圆检测的光学系统 I^QB`%v5  
 不同轮廓亚波长光栅的成像 Egl1$,e  
 结构光照明显微镜与STED显微镜 <$%Y#I'zX  
 SPR表面等离子共振效应 fM<g++X  
3. 摩尔纹系统 ,*wj~NE  
 摩尔纹检测系统 aVn+@g<.  
Q&A