[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题三：光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真 [复制链接]

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时间地点 !#N\b  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 >: Wau  
苏州黉论教育咨询有限公司 2`bdrRD0  
授课时间：2025年3月22（六）-23（日）AM 9:00-PM 16:00 7~UR!T9  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 h{'t5&yY  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 Qa4MZj;$K  
课程费用：3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) ~Xv=9@,h  
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课程简介 5V5w:U>_z  
纵观历史，光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段，这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应（相干、偏振、干涉、衍射等），以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具，利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 E>uVofhml
 
干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识，如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。

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显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分，课程内容中也涵盖了高NA系统，微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统，摩尔纹系统等。 4N>>+]MWc  
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课程大纲 {/8
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第一天 z`3( ,V  
1. 基本干涉原理 MMQ;mw=^]  
 干涉发生的条件 v"O5u%P  
 杨氏双缝特性 kOrl\_!z3  
2. 典型的干涉仪系统建模 p,W_'?,9  
 光学层析扫描在面型检测中的应用 s8mr''  
 基于涡旋光的干涉测量系统 e%O0hE  
 激光准直镜的测量 27Emm
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 基础Mirau干涉仪的仿真 m$2<`C=  
Q&A Jjm|9|C,  
第二天 z\!K<d"Xv  
1. 干涉系统的应用 %D=]ZV](  
 光学系统部分相干性测试 [(mlv42"  
 法布里腔干涉仪分辨光谱 3H
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 时间相干性的测试（傅里叶变换光谱仪） =;L*<I  
 全息曝光干涉 j`>^1Q  
2. 多尺度系统建模仿真 'MxSd(T =  
 衍射光栅干涉测量 BlC<`2S  
 阿贝成像理论 7jG(<!,  
 单色仪/光谱仪系统仿真 |oFAGP1  
 用于微结构晶圆检测的光学系统 AC- )BM';  
 不同轮廓亚波长光栅的成像 UQ
?%|y*Kc  
 结构光照明显微镜与STED显微镜 6W2hr2Zy9  
 SPR表面等离子共振效应 ,!QV>=  
3. 摩尔纹系统 j<yiNHC  
 摩尔纹检测系统 5K%Wa]W  
Q&A