[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题三：光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真 [复制链接]

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时间地点 iF#|Z$g-(  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 o<Z  
苏州黉论教育咨询有限公司 5y`n8. (?  
授课时间：2025年3月22（六）-23（日）AM 9:00-PM 16:00 k6b0&il  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 jqeR{yo&0b  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 ~#^suy?  
课程费用：3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) *`g'*R  

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课程简介 a(Fx1`}  
纵观历史，光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段，这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应（相干、偏振、干涉、衍射等），以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具，利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 E@(nKe&6T_  
干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识，如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 9>I&Z8J$M  
显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分，课程内容中也涵盖了高NA系统，微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统，摩尔纹系统等。 :{Mr~Co*  
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课程大纲 XGCjB{IV  
第一天 E'ay @YAp  
1. 基本干涉原理 &h<\jqN/  
 干涉发生的条件 \fD)|  
 杨氏双缝特性 , R;k>'.  
2. 典型的干涉仪系统建模 +~[>Usf  
 光学层析扫描在面型检测中的应用 oH]_2[ !  
 基于涡旋光的干涉测量系统 # X`t~Y'  
 激光准直镜的测量 &`^PO$  
 基础Mirau干涉仪的仿真 ,%X"Caz  
Q&A m<liPl uv  
第二天 q*'-G]tH=  
1. 干涉系统的应用 7RZ HU+  
 光学系统部分相干性测试 #i'wDvhol  
 法布里腔干涉仪分辨光谱 4o69t  
 时间相干性的测试（傅里叶变换光谱仪） ;BmPP
,  
 全息曝光干涉 3'zL,WW  
2. 多尺度系统建模仿真 K3.z>.F'h  
 衍射光栅干涉测量 K0'= O  
 阿贝成像理论 8I]rC<O6:  
 单色仪/光谱仪系统仿真 ]MmFtdvE  
 用于微结构晶圆检测的光学系统 U9Gg#M4tY  
 不同轮廓亚波长光栅的成像 }Dx5W9Ri"  
 结构光照明显微镜与STED显微镜 -_^#7]  
 SPR表面等离子共振效应 A)80qx:  
3. 摩尔纹系统 f7?u`
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 摩尔纹检测系统 Aj{G=AT  
Q&A