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主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
C=oM,[ESQ0 苏州黉论教育咨询有限公司
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?n?' 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
)K>Eniou 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
S3ab0JM 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
yCF"Z/. 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
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sBP}n.#$ 课程简介 g,t3OnxS? 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
W]@gQ(Ef 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
xoqiRtlY: 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
,{.zh&=4 >.DF"]XM 课程大纲 g\ErJ+i 第一天
E:u ReT 1. 基本干涉原理
u~$WH, P3 干涉发生的条件
I#"t'=9H 杨氏双缝特性
[leW/2i 2. 典型的干涉仪系统建模
6-mmi7IfO 光学层析扫描在面型检测中的应用
NJn&>/vM 基于涡旋光的干涉测量系统
+68+PhHF
激光准直镜的测量
xj0cgK|! 基础Mirau干涉仪的仿真
uz ]E_&2 Q&A
{SF[I 第二天
M,crz 1. 干涉系统的应用
+p13xc?#j
光学系统部分相干性测试
zL9VR;q 法布里腔干涉仪分辨
光谱 Qm
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时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
NA+&jV 全息曝光干涉
{I`B[,* 2. 多尺度系统建模仿真
Yx6hA#7I 衍射
光栅干涉测量
vKU`C?,L 阿贝
成像理论
?$3r5sx 单色仪/光谱仪系统仿真
1 ojhh7< 用于微结构晶圆检测的光学系统
jRofG' 不同轮廓亚
波长光栅的成像
wDDx j 结构光
照明显微镜与STED显微镜
!/947Rn SPR表面等离子共振效应
Xq|nJ|h 3. 摩尔纹系统
T'8RkDI}- 摩尔纹检测系统
M:_!w[NiLp Q&A
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