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7A'd55I4 内容简介 c#X9d8> Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 !pY=\vK; 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 9fp@d 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 mGR}hsQpn P[{qp8(g 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Gu}
`X23 目录 mNS7/I\ Preface 1 Y
Y4"r\V 内容简介 2 s6Ox!)& 目录 i _q*4+x 1 引言 1 *c'nPa$+|S 2 光学薄膜基础 2 rF C 6"_ 2.1 一般规则 2 f@U\2r 2.2 正交入射规则 3 vpR^G`/ 2.3 斜入射规则 6 ` QC 2.4 精确计算 7 *PQu9>1w 2.5 相干性 8 0IU>KGJ-0s 2.6 参考文献 10 *h6Lh]7 3 Essential Macleod的快速预览 10 F&?55@b 4 Essential Macleod的特点 32 >'IFr9&3 4.1 容量和局限性 33 +76{S_CZ 4.2 程序在哪里? 33
7-a[W 4.3 数据文件 35 wcGI2aflD 4.4 设计规则 35 jSa9UD 4.5 材料数据库和资料库 37 Cw`8[)=}o 4.5.1材料损失 38 3k)W0]:|< 4.5.1材料数据库和导入材料 39 sjh>i>t 4.5.2 材料库 41 WmU5YZ(mAq 4.5.3导出材料数据 43 _-/aMfyQ 4.6 常用单位 43 C'8v\C9Ag 4.7 插值和外推法 46 @j
+8 M 4.8 材料数据的平滑 50 yh9fHN)F 4.9 更多光学常数模型 54 o+(>/Ou 4.10 文档的一般编辑规则 55 1~BDtHW7`n 4.11 撤销和重做 56 r(sQI#
P 4.12 设计文档 57 BQYj"Wi 4.10.1 公式 58 huh-S ,M 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 "E`;8SZa 4.10.3 沉积密度 59 9=,^^,q 4.10.4 平行和楔形介质 60 /*g9drwaa 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 }6/L5j:+ 4.10.4 性能 61 h{zE;!+)D 4.10.5 保存设计和性能 64 hjCFN1 #Sa 4.10.6 默认设计 64 %7tQam 4.11 图表 64 TMt,\gTd 4.11.1 合并曲线图 67 |,zcrOo] 4.11.2 自适应绘制 68 :eaqUW!Y 4.11.3 动态绘图 68 97"dOi!Wh 4.11.4 3D绘图 69 LW?Zd= 4.12 导入和导出 73 2+KOUd&jS 4.12.1 剪贴板 73 u`E24~ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 $*)??uU 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ^X2U
A{ 4.13 背景 77 QuuR_Ao?c' 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Uh.XL=wY 4.15 生成Rugate 84 cG|)z<Z 4.16 参考文献 91 CPRv"T;? 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 C)^FRnb 5.1 Jobs 92 D&1*,` 5.2 创建一个新Job(工作) 93 1rhsmcE 5.3 输入材料 94 ml7nt0{ 5.4 设计数据文件夹 95 L #'N 5.5 默认设计 95 a'R)3:S 6 细化和合成 97 U)oH@/q 6.1 优化介绍 97 )9_jr(s 6.2 细化 (Refinement) 98 U3SF'r8 6.3 合成 (Synthesis) 100 /<Nb/#8 6.4 目标和评价函数 101 J&,N1B 6.4.1 目标输入 102 -VK6Fq 6.4.2 目标 103 iG<rB-" 6.4.3 特殊的评价函数 104 Dd+ f,$ 6.5 层锁定和连接 104 SB5[PDL_q 6.6 细化技术 104 cv fh:~L 6.6.1 单纯形 105 hK=\O) 6.6.1.1 单纯形参数 106 CbK&.a 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 $V"NB`T 6.6.2.1 Optimac参数 108 StUiL>9T# 6.6.3 模拟退火算法 109 gv=mz,z 6.6.3.1 模拟退火参数 109 _Q<wb8+/ 6.6.4 共轭梯度 111 XOl]s?6H$ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 YT;b$>1v 6.6.5 拟牛顿法 112 .K![<eZ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 g*UI~rp 6.6.6 针合成 113 4}{S8fGk% 6.6.6.1 针合成参数 114 b`Wn98s 6.6.7 差分进化 114 x}TDb0V 6.6.8非局部细化 115 \jn[kQ+pJ 6.6.8.1非局部细化参数 115 B`Q.<Lqu 6.7 我应该使用哪种技术? 116 k*bfq?E a 6.7.1 细化 116 4XL*e+UfJ 6.7.2 合成 117 $)|
l#'r 6.8 参考文献 117
VQHJO I 7 导纳图及其他工具 118 DQg:W |A 7.1 简介 118 \GtZX!0 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 E-,74B&H 7.2.1 四分之一波长规则 119 W>b(hVBE 7.2.2 导纳图 120 +Q, 0kv 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 gnbs^K w 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 sr\l z}JW 7.5 斜入射导纳图 141 `n8) o %E9 7.6 对称周期 141 'e-Nt&; 7.7 参考文献 142 HtOo*\Ne 8 典型的镀膜实例 143 _>HXQ6Hw 8.1 单层抗反射薄膜 145 -B2>~#L 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 lo:]r.lX{ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 bo&!oY# 8.4 W-膜层 148 =
PldXw0 8.5 V-膜层 149 g#ZR,q 8.6 V-膜层高折射基底 150 Z,o*M#} 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 e,Xvt5 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
^SCZ 8.9 四层抗反射薄膜 153 EWN$ILdD 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ,=lMtW 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 /_rAy 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 '#<?QE!d2 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 TyMRm 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 daBu<0\ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 rWbuoG+8 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
'{kNXCnZ 8.17 1/4波长堆栈 162 \s;]Tg 8.18 陷波滤波器 163 gcr,?rE< 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 #{(?a.: 8.20 褶皱 165 aPB %6c= 8.21 消偏振分光器1 169 9>psQ0IRvr 8.22 消偏振分光器2 171 ?n/:1LN, 8.23 消偏振立体分光器 172 r&"}zyL 8.24 消偏振截止滤光片 173 mLD0Lu_Ob3 8.25 立体偏振分束器1 174 }M
f}gCEW 8.26 立方偏振分束器2 177 ld94ek 8.27 相位延迟器 178 xZFha=# 8.28 红外截止器 179 v:CYf_ 8.29 21层长波带通滤波器 180 /-4i"| 8.30 49层长波带通滤波器 181 >82Q!HaH 8.31 55层短波带通滤波器 182 O:q}<ljp 8.32 47 红外截止器 183 [7]p\'j 8.33 宽带通滤波器 184 Kv+E"2d 8.34 诱导透射滤波器 186 u7@|fND 7 8.35 诱导透射滤波器2 188 ~/[cZY@ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 df#DKV: 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 !'ajpK 8.35 增益平坦滤波器 193 1*?IDYB 8.38 啁啾反射镜 1 196 .D^k0V 8.39 啁啾反射镜2 198 xN2M|E] 8.40 啁啾反射镜3 199 ZcX%:ebKS 8.41 带保护层的铝膜层 200 c@
En4[a' 8.42 增加铝反射率膜 201 O<f_-n@G| 8.43 参考文献 202 sx8mba( 9 多层膜 204 {exF"ap 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 P%pB]d.qpi 9.2 内部透过率 204 'm}~ 9.3 内部透射率数据 205 ]*juF[r( 9.4 实例 206 o&*1Mx<+ 9.5 实例2 210 7r"!&P*, 9.6 圆锥和带宽计算 212 S7wZCQe 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 UOF5&>MLb 10 光学薄膜的颜色 216 8[f]9P/i 10.1 导言 216
30FYq? 10.2 色彩 216 e@k
ti@ZJ 10.3 主波长和纯度 220 ezwcOYMXK 10.4 色相和纯度 221 /c/!13| 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 L7n->8Qk 10.6 色差 226 B_`A[0H 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Ew4DumI 10.8 颜色渲染指数 234 ,Q(n(m' 10.9 色差计算 235 }K"=sE 10.10 参考文献 236 K"Nq_Ddwd 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 + qpD>5# 11.1 短脉冲 238 XpOsnvW 11.2 群速度 239 L4.yrA-]C% 11.3 群速度色散 241 "5XD+qi 11.4 啁啾(chirped) 245 !SiZA" 11.5 光学薄膜—相变 245 TKoO\\ 11.6 群延迟和延迟色散 246 tDEpR 11.7 色度色散 246 sF_.9G)S0 11.8 色散补偿 249 ,PRM(n - 11.9 空间光线偏移 256 ^fnRzX 11.10 参考文献 258 ?ZlwRjB\ 12 公差与误差 260 4,H}'@Db} 12.1 蒙特卡罗模型 260 M/d!&Bk 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ixiRFBUcF~ 12.2.1 误差工具 267 t47 f$gq 12.2.2 灵敏度工具 271 ]}>GUXe)^ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 v .r$]O 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ?{_dW=AQ1 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 \jq1F9, 12.3 参考文献 276 -Rjn<bTIy 13 Runsheet 与Simulator 277 jGI!}4_ 13.1 原理介绍 277 s_`wLQ7e 13.2 截止滤光片设计 277 HaB=nLAT 14 光学常数提取 289 EW2e k^ 14.1 介绍 289 U0jq.]P 14.2 电介质薄膜 289 'O\K Wj{ 14.3 n 和k 的提取工具 295
Q:_pW<^ 14.4 基底的参数提取 302 2U~oWg2P 14.5 金属的参数提取 306 1%EY!14G+ 14.6 不正确的模型 306 ?/dz!{JC 14.7 参考文献 311 /8W}o/,s5 15 反演工程 313 ?A62VV51CN 15.1 随机性和系统性 313 1+#Vj# 15.2 常见的系统性问题 314 4Iy\
15.3 单层膜 314 e5`{*g$i). 15.4 多层膜 314 >@H:+0h- 15.5 含义 319 Mqw&%dz'_ 15.6 反演工程实例 319 '^Sa|WXq 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 y"@~5e477$ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Q.\+
XR_| 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 D*D83z OzN 16.1 光学性质的热致偏移 329 I
&{dan2 16.2 应力工具 335 5^*
d4[&+ 16.3 均匀性误差 339 C8&)-v| 16.3.1 圆锥工具 339 Grjm9tbX} 16.3.2 波前问题 341 }s{zy:1O 16.4 参考文献 343 vj{h*~ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 p[Q 17.1 引言 345 {Qw,L;R 17.2 操作数 345 (x.K%QC) 18 如何在Function中编写脚本 351 NO* 1km[# 18.1 简介 351 Lk3@Eu) 18.2 什么是脚本? 351 /}M@
@W 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 P?TFX.p7 18.4 基础 352 lfj>]om$ 18.4.1 Classes(类别) 352 -QZped;?* 18.4.2 对象 352 gvy%`SSW 18.4.3 信息(Messages) 352 [xI@)5Xk 18.4.4 属性 352 (#Y2H 18.4.5 方法 353 Q`19YX 18.4.6 变量声明 353 /5yWvra 18.5 创建对象 354 |L`w4; 18.5.1 创建对象函数 355 Yj0Ss{Ep 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 "F%cn@l 18.5.3 丢弃对象 356 ?'h@!F%R' 18.5.4 总结 356 |n6nRE wW 18.6 脚本中的表格 357 )}u.b-Nt. 18.6.1 方法1 357 b,318R8+G 18.6.2 方法2 357 5%4:)s{4| 18.7 2D Plots in Scripts 358 vV=$N"bT~ 18.8 3D Plots in Scripts 359 YJ!6)d?C. 18.9 注释 360 dnNc,l&g 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 AV&W&$ 18.11 一个更高级的脚本 362 vhhsOga 18.12 <esc>键 364 YO-O-NEP 18.13 包含文件 365 t~@TUTbx 18.14 脚本被优化调用 366 TSuHY0.cp 18.15 脚本中的对话框 368 1Z`<HW" 18.15.1 介绍 368 YtIJJH 18.15.2 消息框-MsgBox 368 >nl*aN 18.15.3 输入框函数 370 }B0V$ 18.15.4 自定义对话框 371 gCwg ;c- 18.15.5 对话框编辑器 371 [
8v)\lu 18.15.6 控制对话框 377 Yq;S%. 18.15.7 更高级的对话框 380 k#&y 18.16 Types语句 384 elP`5BuN 18.17 打开文件 385 u4.-AY { 18.18 Bags 387 J@yy2AZnO 18.13 进一步研究 388 ;o8cfD .z 19 vStack 389 2V F|T'h 19.1 vStack基本原理 389 Iqo4INGIi 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 t3bDi/m 19.3 五棱镜 393 ^(&:=r.PC 19.4 光束距离 396 S)Ld^0w 19.5 误差 399 # <&=ZLN 19.6 二向分色棱镜 399 QZ{:#iuig 19.7 偏振泄漏 404 teM&[U 19.8 波前误差—相位 405 Ye1P5+W( 19.9 其它计算参数 405 ]p#Zdm1EL 20 报表生成器 406 |dXS+R1 20.1 入门 406 <y`yKXzBUV 20.2 指令(Instructions) 406 6= 9 20.3 页面布局指令 406 44_n5vp,T 20.4 常见的参数图和三维图 407 -{P)\5.L 20.5 表格中的常见参数 408 >:wk.<Z- 20.6 迭代指令 408 r*,]=M W 20.7 报表模版 408 '5[L []A 20.8 开始设计一个报表模版 409 wmT3 > 21 一个新的project 413 Grw_SVa^ 21.1 创建一个新Job 414 L@[bgN`=v 21.2 默认设计 415 ][_:{ N/ 21.3 薄膜设计 416 R\X=Vg 21.4 误差的灵敏度计算 420 'l<kY\I!% 21.5 显色指数计算 422 j[Et+V? 21.6 电场分布 424 orL7y&w(v: 后记 426 fxiq,o0 感兴趣可以扫码加微联系 My5X%)T>P
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