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DP*@dFU" 内容简介 ]Ik%#l.G_ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 8+&JQ"UaB 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 "!KpXBc,> 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 V`bs&5#Sx ]?&FOzN5$P 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 v{y{sA 目录 8r^ ~0nm Preface 1 %K1")s 内容简介 2 QDE$E.a 目录 i Qn|+eLY 1 引言 1 p`P~i&_ 2 光学薄膜基础 2 QVtM.oi!Q 2.1 一般规则 2 ^npJUa 2.2 正交入射规则 3 !h: Q 2.3 斜入射规则 6 jg_n 7 2.4 精确计算 7 C-w5KW 2.5 相干性 8 NY!jwb@% 2.6 参考文献 10 nIBFk?)6 3 Essential Macleod的快速预览 10 9 Cvn6{ 4 Essential Macleod的特点 32 |"7Y52d 4.1 容量和局限性 33 6ep>hS4A& 4.2 程序在哪里? 33 62\&RRB
i 4.3 数据文件 35 {rXs:N@ 4.4 设计规则 35 _~M^ uW^l 4.5 材料数据库和资料库 37 ST;t,
D: 4.5.1材料损失 38 !#}7{ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 wa:0X)KC? 4.5.2 材料库 41 1*UNsEr 4.5.3导出材料数据 43 4!%F\c46 4.6 常用单位 43 d8OL!Rk 4.7 插值和外推法 46 'jjb[{g^}} 4.8 材料数据的平滑 50 1@_T m 4.9 更多光学常数模型 54 F]_cbM{8/ 4.10 文档的一般编辑规则 55 |vu>;*K 4.11 撤销和重做 56 _0(7GE13p 4.12 设计文档 57 XsL#;a C 4.10.1 公式 58 &`Ck 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ir[jCea, 4.10.3 沉积密度 59 >oJkJ$|wU 4.10.4 平行和楔形介质 60 +sZUJ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 L
CSeOR 4.10.4 性能 61 }roG( 4.10.5 保存设计和性能 64 H{(]9{ 4.10.6 默认设计 64 Q6'nSBi:A_ 4.11 图表 64 ^p=L\SJ 4.11.1 合并曲线图 67 &`!^Zq vG 4.11.2 自适应绘制 68 76H!)={ 4.11.3 动态绘图 68 ,Em$ !n 4.11.4 3D绘图 69 51xk>_Hm}| 4.12 导入和导出 73 A3{0q>CC 4.12.1 剪贴板 73 m*e YC 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Q+$Tt7/ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Y(6Sp'0 4.13 背景 77 ]%dnKP~ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 cQUC.TZ_ 4.15 生成Rugate 84 0q6I;$H 4.16 参考文献 91 cAuY4RV 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 x\@*60o 5.1 Jobs 92 z#Nl@NO& 5.2 创建一个新Job(工作) 93 G/?~\
}:s
5.3 输入材料 94 Lm%GR[tyQ 5.4 设计数据文件夹 95 5#2F1NX 5.5 默认设计 95 6Bt=^~d 6 细化和合成 97 |$+5@+Zz 6.1 优化介绍 97 yR71%]*. 6.2 细化 (Refinement) 98 |m
G7XL, 6.3 合成 (Synthesis) 100 P0GeZ02] 6.4 目标和评价函数 101 :Vuf6, 6.4.1 目标输入 102 -J0WUN$2* 6.4.2 目标 103 N{C;~'M2ce 6.4.3 特殊的评价函数 104 KMK`F{ 6.5 层锁定和连接 104 'vIx#k4D1 6.6 细化技术 104 }1H=wg>\ 6.6.1 单纯形 105 ,|T7hTn= 6.6.1.1 单纯形参数 106 pwX C 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 { T]?o~W 6.6.2.1 Optimac参数 108 z1V#'$_5- 6.6.3 模拟退火算法 109 8E^@yZo{ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 KeBQH8A1N 6.6.4 共轭梯度 111 *r,b=8| 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 oFC) 6.6.5 拟牛顿法 112 USPTpjt8R 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ^ 4hO8 6.6.6 针合成 113 k|E]YvnfG 6.6.6.1 针合成参数 114 G*}F5.>8( 6.6.7 差分进化 114 1s7^uA$}6 6.6.8非局部细化 115 @y|_d 6.6.8.1非局部细化参数 115 `
%?9=h% 6.7 我应该使用哪种技术? 116 `,Vv["^ PB 6.7.1 细化 116 gn1(4
o 6.7.2 合成 117 -$a>f4] 6.8 参考文献 117 i+vsp@d 7 导纳图及其他工具 118 m
<k!^jp 7.1 简介 118 uGJ"!K 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Iw=Sq8 7.2.1 四分之一波长规则 119 @xWdO,# 7.2.2 导纳图 120 hfM;/ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 40P) 4w 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 n \G Ry' 7.5 斜入射导纳图 141 5,KWprb 7.6 对称周期 141 cPF<D$B 7.7 参考文献 142 ;3ft1 8 典型的镀膜实例 143 2y GOzc 8.1 单层抗反射薄膜 145 .p6+l!" 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 lhLGG 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 3smM,fi 8.4 W-膜层 148 P9Q2gVGAO{ 8.5 V-膜层 149 x5si70BKC/ 8.6 V-膜层高折射基底 150 %@J1]E; 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ]F*3"y?)2 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 K\.5h4k 8.9 四层抗反射薄膜 153 WMuD}s 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 [J#1Ff; 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 QB{rVI>mI! 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 NYB[Zyp 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 2z0n<` 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 h8 @ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 7*H:Ob)9k 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 C;B}3g& 8.17 1/4波长堆栈 162 y&J@?Hc> 8.18 陷波滤波器 163 {bNXedZ\ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Cpl;vQ 8.20 褶皱 165 !dcwq;Ea 8.21 消偏振分光器1 169 <fO4{k*& 8.22 消偏振分光器2 171 yubSj* 8.23 消偏振立体分光器 172 dj9?t 8.24 消偏振截止滤光片 173 akuJz 8.25 立体偏振分束器1 174 Yx d X#3 8.26 立方偏振分束器2 177 f|7u_f 8.27 相位延迟器 178 GUB`|is^ 8.28 红外截止器 179 5_o$<\I\ 8.29 21层长波带通滤波器 180 Xh+ia#K 8.30 49层长波带通滤波器 181 e(B9liXM 8.31 55层短波带通滤波器 182 )h$NS2B` 8.32 47 红外截止器 183 j5
wRGn3 8.33 宽带通滤波器 184 !sSQQo2Sv 8.34 诱导透射滤波器 186 ik,lSTBD 8.35 诱导透射滤波器2 188 }E^S]hdvz 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 alFjc.~} 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ;&;W
T 8.35 增益平坦滤波器 193 76fIC 8.38 啁啾反射镜 1 196 6vzk\n 8.39 啁啾反射镜2 198 |1=
!;.# 8.40 啁啾反射镜3 199 "dh:-x6 8.41 带保护层的铝膜层 200 q!,zq 8.42 增加铝反射率膜 201 Jc*XXu) 8.43 参考文献 202 CZ{k@z`r 9 多层膜 204 Q}AE.Ef@< 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 h rN% 9.2 内部透过率 204 w=b(X
q+: 9.3 内部透射率数据 205 2h^WYpCm 9.4 实例 206 ,t$,idcT+ 9.5 实例2 210 JN3cg 9.6 圆锥和带宽计算 212 uV6g[J 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ,2[ra9n 10 光学薄膜的颜色 216 Yn51U6_S 10.1 导言 216 ffDc6*.Q 10.2 色彩 216 i^z`"3#LE 10.3 主波长和纯度 220 !mfJpJ 10.4 色相和纯度 221 ,\PVC@xJ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Zy"=y+e!E; 10.6 色差 226 MFit|C 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 o,Z{ w" 10.8 颜色渲染指数 234 Bn wzcl 10.9 色差计算 235 /L=(^k=a.; 10.10 参考文献 236 F
8yF 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 /ONV5IkPy 11.1 短脉冲 238 &Y>zT9]$K 11.2 群速度 239 x ,/TXTZ6 11.3 群速度色散 241 8s}J!/2 11.4 啁啾(chirped) 245 5rxA<Gs 11.5 光学薄膜—相变 245 5CYo7mJ6+ 11.6 群延迟和延迟色散 246 Y#V8(DTyH 11.7 色度色散 246 VkmRh,T 11.8 色散补偿 249 pR os{Uq" 11.9 空间光线偏移 256 QOFvsJ<s 11.10 参考文献 258 ~fN%WZ;_ 12 公差与误差 260 [.yJV` 12.1 蒙特卡罗模型 260 M7}Q=q\9 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 =J'P. 12.2.1 误差工具 267 YZ}cB 12.2.2 灵敏度工具 271 _cqy`p@" 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Rhgj&4 12.2.2.2 灵敏度分布 275 n[+'OU[ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 4n( E;!s 12.3 参考文献 276 70W"G
X& 13 Runsheet 与Simulator 277 GUp;AoQ 13.1 原理介绍 277 }U5Y=RYo 13.2 截止滤光片设计 277 5a`%)K 14 光学常数提取 289 dz9Y}\2tf 14.1 介绍 289 Qc-(*} 14.2 电介质薄膜 289 [uuj?Rbd 14.3 n 和k 的提取工具 295 {+T/GBF-K= 14.4 基底的参数提取 302 *MM#Z?mP 14.5 金属的参数提取 306 ?H|T&66 14.6 不正确的模型 306
Se^^E.Z,W 14.7 参考文献 311 s&PM,BFf 15 反演工程 313 8QgA@y" 15.1 随机性和系统性 313 xN->cA$A 15.2 常见的系统性问题 314 <-C!;Ce{ 15.3 单层膜 314 B&KL2&Z~Pq 15.4 多层膜 314 S\C*iGeqJ 15.5 含义 319 F3E[wdT 15.6 反演工程实例 319 .-I|DVHe 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 rj]
E@W 15.6.2 反演工程提取折射率 327 |hzT; 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 D@54QJ< 16.1 光学性质的热致偏移 329 |H)cuZ 16.2 应力工具 335 L K7Xw3 16.3 均匀性误差 339 y.a]r7 16.3.1 圆锥工具 339 59 2;W-y 16.3.2 波前问题 341 x1[?5n6 16.4 参考文献 343 n]? WCG}cd 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 2Oc$+St~8 17.1 引言 345 7}
O;FX+x 17.2 操作数 345 .(Y6$[#@ 18 如何在Function中编写脚本 351 (|h:h(C 18.1 简介 351 v"lf-c
18.2 什么是脚本? 351 4jwu'7Q 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 +&v\
/ 18.4 基础 352 7k8n@39? 18.4.1 Classes(类别) 352 )/t6" " 18.4.2 对象 352 |"7Pv
skT 18.4.3 信息(Messages) 352 ,Qc.;4s- 18.4.4 属性 352 Fz"ff4Bx [ 18.4.5 方法 353 kA?_%fi1 18.4.6 变量声明 353 L:f)i,S"5q 18.5 创建对象 354 UZxmhsv 18.5.1 创建对象函数 355 Q+[ .Y& 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 W4(?HTWZ 18.5.3 丢弃对象 356 fj']?a!m 18.5.4 总结 356 2W$lQ;iO 18.6 脚本中的表格 357 LsTffIP 18.6.1 方法1 357 !C&%T] 18.6.2 方法2 357 ]|oJ)5P 18.7 2D Plots in Scripts 358 %efGt6& 18.8 3D Plots in Scripts 359 LJuW${Y 18.9 注释 360 fEqC] *s 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
ZXXiL#^ 18.11 一个更高级的脚本 362 W'/>et 18.12 <esc>键 364 iD_TP 18.13 包含文件 365
z1j|E
: 18.14 脚本被优化调用 366 pM$ @m] 18.15 脚本中的对话框 368 TipHV;|e 18.15.1 介绍 368 (F5ttQPh 18.15.2 消息框-MsgBox 368 sBW3{uK 18.15.3 输入框函数 370 otriif@+Z 18.15.4 自定义对话框 371 EZj1jpL 18.15.5 对话框编辑器 371 9D_wG\g 18.15.6 控制对话框 377 zG%
|0
18.15.7 更高级的对话框 380 gA:TL{X0 18.16 Types语句 384 L,M+sN 18.17 打开文件 385 &=w|vB)(p 18.18 Bags 387 VTw/_Hf2p 18.13 进一步研究 388 'D6
bmz 19 vStack 389 FmT
`Oa> 19.1 vStack基本原理 389 SGf9U^ds 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 J W" 19.3 五棱镜 393 YKx 1NC 19.4 光束距离 396 f%Ke8'& 19.5 误差 399 Alu5$6X 19.6 二向分色棱镜 399 uQp_':\k 19.7 偏振泄漏 404 ?!S
GiARW? 19.8 波前误差—相位 405 &9P<qU^N) 19.9 其它计算参数 405 @YZ
4AC 20 报表生成器 406 uWc: jP 20.1 入门 406 @PXXt# 20.2 指令(Instructions) 406 >>V&yJ_ 20.3 页面布局指令 406 [j0w\{ 20.4 常见的参数图和三维图 407 ^ KOzCLC 20.5 表格中的常见参数 408 *{[d%B<lp 20.6 迭代指令 408 fValSQc!U 20.7 报表模版 408 l>Av5g)
20.8 开始设计一个报表模版 409 .TN2s\:]jw 21 一个新的project 413 Je~p%m#e;K 21.1 创建一个新Job 414 {j@+h%sF>+ 21.2 默认设计 415 pt})JMm 21.3 薄膜设计 416 ,cQA*;6 21.4 误差的灵敏度计算 420 V/-MIH7SF 21.5 显色指数计算 422 SCq3Ds^ 21.6 电场分布 424 !sK#zAR2
后记 426 6\`DlUn'* 感兴趣可以扫码加微联系 !%62Phai
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