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L^^f.w#m 内容简介 GF9iK|i/ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ;Qd'G7+ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 0Wd5s{S 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 b0f6?s 6jr}l 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 @ &c@ 目录 \U]<HEc^ Preface 1 7OZ0;fK 内容简介 2 7T X$ 目录 i #\~m}O, 1 引言 1 ;|rFP 2 光学薄膜基础 2 Uwiy@T Z 2.1 一般规则 2 %Y`)ZKh
2.2 正交入射规则 3 ,vi6<C\ 2.3 斜入射规则 6 :@~3wD[y 2.4 精确计算 7 @6 jKjI 2.5 相干性 8 mznE Cy 2.6 参考文献 10 9MRe? 3 Essential Macleod的快速预览 10 /\jRr7 Cd 4 Essential Macleod的特点 32 \XY2s&" 4.1 容量和局限性 33 PClwGO8'& 4.2 程序在哪里? 33 7<Ut/1$MI 4.3 数据文件 35 tchpO3u, 4.4 设计规则 35 AxJf\B8 4.5 材料数据库和资料库 37 UL8"{-`_\ 4.5.1材料损失 38 Iq;a!Lya- 4.5.1材料数据库和导入材料 39 d#, 4.5.2 材料库 41 K<ldl. 4.5.3导出材料数据 43 %'F[(VB 4.6 常用单位 43 ^oHK.x#{ 4.7 插值和外推法 46 +/*A}!#v 4.8 材料数据的平滑 50 Z;U\h2TY 4.9 更多光学常数模型 54 A-hWg; 4.10 文档的一般编辑规则 55 T7G{)wm 4.11 撤销和重做 56 LrfyH"#!: 4.12 设计文档 57 o AS 'Z| 4.10.1 公式 58 Lp||C@h~ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 =WOYZ7 4.10.3 沉积密度 59 [aC2ktI 4.10.4 平行和楔形介质 60 ">I50#bT 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 \4q1<j 4.10.4 性能 61 =uR[Jewa 4.10.5 保存设计和性能 64 Jxb+NPUB 4.10.6 默认设计 64 +>h'^/rAE 4.11 图表 64 [VB\T|$ 4.11.1 合并曲线图 67 WAw} ?&k 4.11.2 自适应绘制 68 `WU"*HqW 4.11.3 动态绘图 68 b|h`v 4.11.4 3D绘图 69 bDcWPwe 4.12 导入和导出 73 FJ&?My,=J 4.12.1 剪贴板 73 ErMA$UkJ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 c;7ekj 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 r#.\5aQt 4.13 背景 77 !U+XIr
4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 5E|/n( 4.15 生成Rugate 84 Z"<tEOs/En 4.16 参考文献 91 b~;+E#[* 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 R75np^ 5.1 Jobs 92 ,e>N9\* 5.2 创建一个新Job(工作) 93 T*C]:=) 5.3 输入材料 94 zTt6L6:u 5.4 设计数据文件夹 95
Et0;1 5.5 默认设计 95 PAXdIh[] 6 细化和合成 97 T%:W6fH7 6.1 优化介绍 97 bxg9T(Bj 6.2 细化 (Refinement) 98 |N>TPK&Xt 6.3 合成 (Synthesis) 100 1@0ZP~LTB 6.4 目标和评价函数 101 a)8M'f_z 6.4.1 目标输入 102 =:=uV0jX\ 6.4.2 目标 103 ?\Jl] {i2 6.4.3 特殊的评价函数 104
bR5+({yH 6.5 层锁定和连接 104 wg,w;Gle 6.6 细化技术 104 G_x<2E"d 6.6.1 单纯形 105 V`"A|Y 6.6.1.1 单纯形参数 106 9a9{OJa6M 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Q<pL5[00fD 6.6.2.1 Optimac参数 108 F4Gv=q)Z 6.6.3 模拟退火算法 109 Ey;uaqt 6.6.3.1 模拟退火参数 109 jz;"]k 6.6.4 共轭梯度 111 rt\4We,7 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 pTJJ.#$CEF 6.6.5 拟牛顿法 112 }%9A+w}o 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 !_gHIJiq} 6.6.6 针合成 113 H6XlSj 6.6.6.1 针合成参数 114 'e>0*hF[ 6.6.7 差分进化 114 Bq]eNq 6.6.8非局部细化 115 4HK#]M>yz 6.6.8.1非局部细化参数 115 7.l[tKh 6.7 我应该使用哪种技术? 116 8FThu[ 6.7.1 细化 116 y\&`A:^[ A 6.7.2 合成 117 _YW1Mk1 6.8 参考文献 117 G u-#wv5@ 7 导纳图及其他工具 118 /_P5UE( 7.1 简介 118 I vQ]-A}N 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Iw$7f kq 7.2.1 四分之一波长规则 119 LMrb
1lg$ 7.2.2 导纳图 120 <k&Q"X:" 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Hb;#aXHSd 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 $;dSM<r 7.5 斜入射导纳图 141 tPHDnh^n] 7.6 对称周期 141 4`
gAluJ# 7.7 参考文献 142 _$?SK id|o 8 典型的镀膜实例 143 n
LZ
8.1 单层抗反射薄膜 145 vo[Zuv?<h 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ["\Y-6"l 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 /K"koV; 8.4 W-膜层 148 afcI5w;>} 8.5 V-膜层 149 (JHL0Z/ 8.6 V-膜层高折射基底 150 :.IVf Zw 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 7N/v 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 r-+ .Ax4L" 8.9 四层抗反射薄膜 153 +tNu8M@xFo 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 %klC&
_g~_ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ]N^a/&}* 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 nxP>IfSA 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 /,z4tf 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ^E8XPK]-~ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 $4y;F] 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 \4`~J@5Y 8.17 1/4波长堆栈 162 '@h5j6:2 8.18 陷波滤波器 163 EC2KK)=n} 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 2Ke?* 8.20 褶皱 165 #]'#\d#i 8.21 消偏振分光器1 169 vl<W`)' 8.22 消偏振分光器2 171 8C2s-%: 8.23 消偏振立体分光器 172 oq4*m[ 8.24 消偏振截止滤光片 173
pojQ/ 8.25 立体偏振分束器1 174 ,25Qhz] 8.26 立方偏振分束器2 177 (7G5y7wI" 8.27 相位延迟器 178 Cyg\FHs 8.28 红外截止器 179 vl8Ums} + 8.29 21层长波带通滤波器 180 ON|Bpt2Qp 8.30 49层长波带通滤波器 181 ^ 9
gFW $] 8.31 55层短波带通滤波器 182 Rw\
LVRdA 8.32 47 红外截止器 183 Q"KD O-t 8.33 宽带通滤波器 184 :[oFe/1K!4 8.34 诱导透射滤波器 186 '-tiH 8.35 诱导透射滤波器2 188 JB~79Lsdz 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 X|)Ox
,( 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 )pV5l|` 8.35 增益平坦滤波器 193 mr]IxTv 8.38 啁啾反射镜 1 196 5 iUT# 8.39 啁啾反射镜2 198 ,c#=qb8"" 8.40 啁啾反射镜3 199 .olDmFQD 8.41 带保护层的铝膜层 200 JJ5s
|&} 8.42 增加铝反射率膜 201 4i>sOP3
B 8.43 参考文献 202 x'OE},>i 9 多层膜 204 FOxMt;|M 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 L,L>cmpM 9.2 内部透过率 204 !fXw X3B 9.3 内部透射率数据 205 )54;YK 9.4 实例 206 #;?j]npg] 9.5 实例2 210 ^fT|Wm< 9.6 圆锥和带宽计算 212 w~A{]s{4 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 mrR~[533j 10 光学薄膜的颜色 216 Mvq5s +. 10.1 导言 216 ^| L@f 10.2 色彩 216 Q%61_l 10.3 主波长和纯度 220 6\ g-KO 10.4 色相和纯度 221 !sA[A> 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 | X/QSL 10.6 色差 226 D3s]49j) 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 j_\nsM7 10.8 颜色渲染指数 234 _zq"<Q c 10.9 色差计算 235 #'N"<o[ 10.10 参考文献 236 1'wwwxe7 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 kXGJZ$ 11.1 短脉冲 238 / E~)xgPM< 11.2 群速度 239 WZ@/' [ 11.3 群速度色散 241 Fp52|w_ 11.4 啁啾(chirped) 245 :feU 11.5 光学薄膜—相变 245 Sq"O<FmI 11.6 群延迟和延迟色散 246 E^z\b * 11.7 色度色散 246
'k[O?} 11.8 色散补偿 249 f$vWi&(
11.9 空间光线偏移 256 B@Acm 11.10 参考文献 258 X_yAx)Do 12 公差与误差 260
<WN? 12.1 蒙特卡罗模型 260 gPs%v`y)*D 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 R0dIxG% 12.2.1 误差工具 267 w8$rt 12.2.2 灵敏度工具 271 kk_$j_0 12.2.2.1 独立灵敏度 271 &VG|*&M 12.2.2.2 灵敏度分布 275 {kGcZf3h 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 $e66j V 12.3 参考文献 276 Y0`@$d&n 13 Runsheet 与Simulator 277 g.![>?2$8 13.1 原理介绍 277 d4OWnPHv&} 13.2 截止滤光片设计 277 =\;yxl 14 光学常数提取 289 "iFA&$\ 14.1 介绍 289 Ig9yd S-. 14.2 电介质薄膜 289 Id`?yt 14.3 n 和k 的提取工具 295 DU9A 3Z 14.4 基底的参数提取 302 $2u^z=`b!% 14.5 金属的参数提取 306 /5 rWcX 14.6 不正确的模型 306 u~MD?!LV 14.7 参考文献 311 t?JY@hT* 15 反演工程 313 |DAe2RK 15.1 随机性和系统性 313 KUs\7Sb 15.2 常见的系统性问题 314 !vNZ-} 15.3 单层膜 314 2
MFGKz O 15.4 多层膜 314 M>H4bU( 15.5 含义 319 ?M'_L']N[ 15.6 反演工程实例 319 Q"UWh~ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 So &c\Ff 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Ul@Jg
16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 .yp"6S^b 16.1 光学性质的热致偏移 329 *LnY}# 16.2 应力工具 335 B^'Uh+Y 16.3 均匀性误差 339 Z]-C,8MM 16.3.1 圆锥工具 339 ="fq.Tt 16.3.2 波前问题 341
#P:o 16.4 参考文献 343 moO=TGG;F 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 .{6?%lt 17.1 引言 345 DoV<p?U 17.2 操作数 345 4Y>v+N^ 18 如何在Function中编写脚本 351 6n9;t\'Gt 18.1 简介 351 P$4h_dw 18.2 什么是脚本? 351 pyPS5vWG 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 qkX}pQkG)h 18.4 基础 352 OE,uw2uaT 18.4.1 Classes(类别) 352 V&)lS Qw 18.4.2 对象 352 XAN{uD^3\% 18.4.3 信息(Messages) 352 F$ a?} } 18.4.4 属性 352 .;6G?8` 18.4.5 方法 353 nsChNwPX 18.4.6 变量声明 353 Y XC?q 18.5 创建对象 354 ni @Mqb 18.5.1 创建对象函数 355 Zkn$D: 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 G/tah@N[7 18.5.3 丢弃对象 356 v` 9^?Xw) 18.5.4 总结 356 7 ky$9+~ 18.6 脚本中的表格 357 rx^vh%/
Q! 18.6.1 方法1 357 IEb"tsel 18.6.2 方法2 357 }Ip"j]h 18.7 2D Plots in Scripts 358 **I9Nw!IH 18.8 3D Plots in Scripts 359 fneg[K 18.9 注释 360 XxT7YCi 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 '8g/^Y@ 18.11 一个更高级的脚本 362 .;gK*`G2W) 18.12 <esc>键 364 ^Pc>/lY$Q% 18.13 包含文件 365 .f'iod- 18.14 脚本被优化调用 366 [.e
Y xZ{= 18.15 脚本中的对话框 368 2Z]<MiAx D 18.15.1 介绍 368 @ucN|r}=R 18.15.2 消息框-MsgBox 368 RZykwD( 18.15.3 输入框函数 370 ?H9F"B$a 18.15.4 自定义对话框 371 ag6hhkjA 18.15.5 对话框编辑器 371 ZB-+bY 18.15.6 控制对话框 377 %SV"iXxY 18.15.7 更高级的对话框 380 =m@5$ 18.16 Types语句 384 X8T7(w<0%f 18.17 打开文件 385 , WF)GS|7V 18.18 Bags 387 iR-MuDM 18.13 进一步研究 388 !x9j~D'C` 19 vStack 389 %]9
<a 19.1 vStack基本原理 389 y%T5"p$, 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 :j/PtNT@ 19.3 五棱镜 393 c"+N{$ vp 19.4 光束距离 396 V'h
O 19.5 误差 399 bTzVmqGY 19.6 二向分色棱镜 399 ^
K8JE, 19.7 偏振泄漏 404 #80*3vi~F 19.8 波前误差—相位 405 <@CBc:j0 19.9 其它计算参数 405 @Kri)U
i 20 报表生成器 406 7pNTCZY| 20.1 入门 406 Vy
= fm 20.2 指令(Instructions) 406 S3"js4a 20.3 页面布局指令 406 ;S+c<MSl 20.4 常见的参数图和三维图 407 aE^tc'h~ 20.5 表格中的常见参数 408 Y[8w0ve-g 20.6 迭代指令 408 G+=6]0HT 20.7 报表模版 408 pk'@!|g%= 20.8 开始设计一个报表模版 409 FAu G`zu 21 一个新的project 413 2tvMa%1^ 21.1 创建一个新Job 414 .kM74X=S 21.2 默认设计 415 fSp(}'m2L 21.3 薄膜设计 416 .
FT*K[+ih 21.4 误差的灵敏度计算 420 9E_C
u2B 21.5 显色指数计算 422 EmNB}\IYU 21.6 电场分布 424 )>,b>7 后记 426 ma LJ M\C 感兴趣可以扫码加微联系 d"78w-S
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