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摘要 U4pIRa)S s3Vb2C* 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ;[sW\Ou {q?&h'#y
^hC'\09=c ;"wCBuXcu 设计任务 c~Ka) dF| F3qK6Ah. )?*YrWO{ $E\|\g 光栅光学装置 RwWg:4 8-#%l~dr d,"LZ>hNY* .w9LJ 偏振分析器 HgF;[rq3Q K T} 9B: 3Ha= +$,Re.WnP 优化 %t9C LwH#|8F 'x!\pE- m|@H`=`d 参数运行 ^/2I)y]W0 =?fz-HB
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IS bs l=F _kj]vbG^; 偏振相关衍射特性 ^:eZpQ [, >qjV{M =l,P'E Mqf Ns<2 固定周期二维参数优化 $B+| &]a &NE e-cb[ XpIiJry!6 二维参数优化——设计#1 &SY!qTxF l>?c AB[ |?` 5 ~f [4Z 31v> 二维参数优化——设计#2 "/#JC}] H"C'<(4*\ u2V-V#jS mP(3[a_Q 制造公差分析 y7R#PkQ~ ^NW[)Dq1< p5Q]/DhG Qw5nfg3T 变光栅周期三维参数优化 @=Kq99=\U '=\}dav!
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