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摘要 {*m?t 7 C-7.Sa
众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 q0 <g#jK j:#[voo7  K67x.P Z Q.
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>IRo]-, Axr 'zc 偏振相关衍射特性 P)T :6K 5~qr+la  i 'a M#4V CxO) d7c 固定周期二维参数优化 XOxm<3gXn I %%$O' S  [ML4<Eb+ x 二维参数优化——设计#1 XVY^m}pMe A/'G .H  Ou j5NL ct/I85c@P 二维参数优化——设计#2 __zsrIUJ R (6Jvub"I  #0weN% xa K:@/ 制造公差分析 |u03~L9G ieObo foD  oI^iL\\2h J?%Z7&/M> 变光栅周期三维参数优化 Y*4\K%e( 1 }:k w
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