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摘要 eluN~T:W Dw%'u'HG 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 T+<.KvO- "B_3<RSL [k6I#v<& R c+olJ^5 设计任务 SMX]JZmH -fq _B0(1(M<2 Q 7_5 光栅光学装置 zw>L0gC |58HPW9 \Oeo"| b6N[t _, 偏振分析器 y7,I10:D M^o_='\bE 8:,($a/KF ).SJ*Re*^I 优化 . <"XE7 Dr3_MWJ+ s@F&N9oh +OE!Uqnt 参数运行 }/cReX,so =-h^j
&lQ%;)' X Q#K1Z 关于光栅周期选择的考虑 3p0v %QezC+n
QyD0WC}i {&=+lr_h? 偏振相关衍射特性 V`Cyx^P Q^(CqQo!< ^_WR) F'K 4q}+8F`0F 偏振相关衍射特性 Jo5B mh0 F]aoTy
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Bc~2! mUBy*. Er;/zxg9p u<-)C)z 固定周期二维参数优化 5,"c1[`- ,
>LJpv Bs "D<r&ro 二维参数优化——设计#1 Q{[@n aAg Qv* {VcRur}&Y8 m5K?oV@n 二维参数优化——设计#2 Cv**iW Gv-VDRS 7(Fas(j3 ,aP6ct 制造公差分析 B7%K}|Qg 1d5%(:@ Sdu\4;( )bUnk+_ 变光栅周期三维参数优化 ^O07GYF _Mw3>GNl
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