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摘要 ^U.8grA Xj&fWu A 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Bp`?inKBOd pN"d~Z8  kmm1b ( lmZ Ssx 设计任务 #AzZ4<;7 eEIa=MB*  x-km)2x=W $e7dE$eH 光栅光学装置 u +GtH;<; YAqv:  7Xi)[M?)# u|.L7 3<j% 偏振分析器 Q&;dXE h G _{x)@  t3.;W/0_ X/fk&Cp 优化 w ^?uBeqR (7G5y7wI"  Cyg\FHs -aPvls 参数运行 v_PhJKE jemg#GB8
 Q"KD O-t :[oFe/1K!4 关于光栅周期选择的考虑 '-ti H f:gXXigY,
 AXhV#nZt0 _K g:jal 偏振相关衍射特性 sXdNlR & f\FubL  uI^E9r/hB GtRc7, 偏振相关衍射特性 4i>sOP3
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1 KPI c?|o/6 偏振相关衍射特性 wiXdb[[# v kWh2z  T> cvV )'BuRN 8 固定周期二维参数优化 sBGY gBu!a JyY-@GF  y<bA Y_-[ 二维参数优化——设计#1 LwQq0<v %y {#fZHc  8{ aS$V" -z9-f \ 二维参数优化——设计#2 XS 5*=hv: D3s]49 j)  j_\ns M7 _zq"<Q c 制造公差分析 ^W|B Xxo #%t&f"j2  dGU io? pJ Iq`)p5 变光栅周期三维参数优化 7/nnl0u8 QZ!;` ?(
 !iBe /yb n4 Od4& r 制造公差分析 Fdsaf[3[v BFP (2j  .:?X<=!S&t f>\guuG VirtualLab Fusion 技术 CPssk,q~C Enu/Nj 2  $\BRX\6(- UX3
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