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摘要 [{_K[5i P~"""3de4 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 8@I.\u)0 .>( qZ EF  @;d7#!:cE lHPhZ(Z
设计任务 It^_?o iK rX&?Xi1JeV  Y+~>9- S ]}A yDy6C 光栅光学装置 6IM:Xj 2wgdrO|B  N{zou?+ Aj=c,]2 偏振分析器 2?owXcbx k :zGv  SCMZ-^b Qp>Q-+e0 优化 % w6lNl DZ|/#- k  yAVt[+0 OB ~74}3; 参数运行 ^KFwO=I@PV 7kidPAhY
 >(a/K2$*1 {eo?vA8SE 关于光栅周期选择的考虑 {{_,YO^w 9L9mi<,
 w 9 a6F -3:x(^|:K 偏振相关衍射特性 S8Y h>j8- iD9hqiX&  WR"p2= T?FR@.
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 YY<e]CriU D$c4's `5 偏振相关衍射特性 "A9 c] .c.#V:XZ#U  x; *KRO *,DBRJ_*7 固定周期二维参数优化 1e^-_Bo6'o [VP ~~* b  ) 4'@=q 二维参数优化——设计#1 BK]q^.7+ : /P|jHK|{  !P0O q)q ,*Yu~ 4 二维参数优化——设计#2 [(N<E/m %B re/l5v,|3  D?Q{ &6p [e'Ts#($A 制造公差分析 #`4ma:Pj oa |nQ`[  fm\IQqIK% jM90
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