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摘要 du>d ? 3(
o~|% 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 XgPZcOzYB #p7_\+&5s  YtFH@M 1{$=N 2U 设计任务 rvRIKc|}l #%{x*y:Ms  P ,*yuF|bk w1:%P36H 光栅光学装置 ! D~\uW1b ,#8H9<O9t  ( yv)zg9 jm&PGZ#n=R 偏振分析器 3!Ca b/T q !whWA  dz,4);Mg TFYp=xK( 优化 wak`Jte=}m E-L>.tD  &]jCoBj +_ (5efNugc 参数运行 -}KW"#9c Hq0O!Z v
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 hO.. j Po7oo9d 偏振相关衍射特性 H5 /w!y@ ,'a[1RN  41 #YtZ y2:Bv2 } 偏振相关衍射特性 , %$Cfu Bs';!,=
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}Q9 X mL3 Q 二维参数优化——设计#2 n*y@3. M(#]NTr ~4  E#/vgm=W; 9B2`FJ 制造公差分析 mL]5Tnc &U{"dJ r  A1/[3Bz o{xA{ @< 变光栅周期三维参数优化 v.{I^ = F?hGt]o
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