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摘要 0:SR29(p1 F}C.F 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 VYj*LiR
d77->FX2  jwe^(U E7K(I ? 设计任务 * t-Wol ZI0C%c.~  y`n'>F 11 42Vz6 k: 光栅光学装置 ktu{I Q#2gjR r  @0 mR_ \u\ M]RbaXZ9 偏振分析器 g+xA 0q W L#|, _j=9  B"903 g 1 j=C o 优化 =mq02C~y Cqy)+x_OQ,  n.a55uy IQ`# M~: 参数运行 a+--2+~= aUBGp: (
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 '4L0=G:A<q v`Iw:?)% 偏振相关衍射特性 h5x_Vjj 6^Q Bol  Wd R ~ M u>G gQSZ 固定周期二维参数优化 rTgCmr'& Fk(+S:{yQ  sI7<rI.t){ 二维参数优化——设计#1 lhyW lO RkrZncBgV<  { NS6y \, RwG@C|sG 二维参数优化——设计#2 AaVj^iy/X : d Zq!1~t  ?3x7_=4t@ I1IuvH6 制造公差分析 m~LB0u$ac Q1?0R<jOU 
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