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摘要 SB
x<-^ +Z7:(o< 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 (baBi9< P= vCX
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 eKvQS}11 Ie T1Jwe 关于光栅周期选择的考虑 FR^(1+lx& H^fErl
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 5: vy_e& l*-$H$ 偏振相关衍射特性 P$i d? dOF K;  p<8Ga.kiN <G60R^o 固定周期二维参数优化 <sor;;T 3:MAdh[w  Bhf4 /$ 二维参数优化——设计#1 cz;gz4d8 i1 ^#TC$x  k:DAko} RxUz J 二维参数优化——设计#2 {w52]5l L4!T  :<PwG]LO rvE Tt 制造公差分析 VWT\wA L Z"5ewU<?  E -i <^&E |m>{< : 变光栅周期三维参数优化 l~'NqmXe ~9JLqN"
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