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摘要 I! eu|_cF 1y'8bt~7Pf 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 v3PtiKS 55q!2>Jh.  xY4g2Q
J d!0iv'^ t 设计任务 FnxPM`Zx [$M=+YRHMW  9^ ;Cz>6s \]<e Lw- v 光栅光学装置 0,~||H{ Iue}AGxu:{  uDD{O~wF, A.tXAOM(VW 偏振分析器 $~7uDq bpP- wA^Hd  E{ s p =r|e]4 优化 wN
NXU W =jv3O .z q  Ig&H0S * .%z 参数运行 b'q ru~i 4g4[n7
 ` ]~1pc $40G$w 关于光栅周期选择的考虑 9K!kU 6Gh !0-K B#
 (A(j.[4a s>J\h 偏振相关衍射特性 D/[;Y<X #V M.F Y4~  F $/7X~* K g6hy S b 偏振相关衍射特性 H!'Ek[s+ ^4/
 eI,'7u4q | j}D2q= 偏振相关衍射特性 '4K N /a,"b8  lA{JpH_Y8s Q M('bbN 固定周期二维参数优化 RGgePeaw !;3hN$5  f9K+o-P.h 二维参数优化——设计#1 %$D n);6= } ~NM\rm  g^l~AR FEH+ PKSc 二维参数优化——设计#2 (H^)wDb E "%d O  ZH)Jq^^RI ~6A;H$dr 制造公差分析 ~xLo0EV " ;n q" jm  DD5cUlOSu u>ZH-nw O 变光栅周期三维参数优化 Qz4eQlWhp ' !2NS v
 dVMduo Tnv,$KOhs 制造公差分析 s%QCd U ] r>#4Sr  M3U?\g ' hDs.Wnu
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