摘要 TO.b-
; Sh(ys*y> AAQ!8! 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
j{Px}f(= S
a+Y/ 设计任务 3*<@PXpK& 3JGrJ!x ',R%Q0Q 连接建模技术:蛾眼结构 @/^<9 ?xqS#^Z ``CM7|)>` 光栅阶数分析器 u:APGR^ I$.lFQ%( ]R""L<K%HF 元件内场分析器:FMM R5ra*!|L) nod&^%O" :f[ w 参数运行 F\r"Y)|b= /O:4u_ {
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L4NK# O8 .iP+ 模拟结果 6]iU-k0b lNxP 通过计算器进行参考测量 Led\S;pl UE^o}Eyg 4,;*sc 6* 结构内的场 G{[w+ObX O4X03fUx 9>4 #I3 znE1t%V 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 p(pfJ^/:( y>=Y MD ,^G+<T6 初始解决方案 #1 的参数优化 %w^*7Oi :O413#8 ,;t:x|{% 最终设计 #1 的性能分析 2FuV%\p B/l^=u+- 初始解决方案 #2 的参数优化 o:{Sws(= kqKT>xo4EZ w=XIpWl 最终设计 #2 的性能分析 %JBLp xnq