摘要 g@va@*|~d PyS~2)=B h|MTE~
对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
cNX0.7Ls oj6b33z 设计任务 @-~
)M_ m5G9
B-\? I-fjqo3 连接建模技术:蛾眼结构 C{i9~80n Zewx*Y| `v1Xywg9P 光栅阶数分析器 +0,{gDd+
AF=9KWqf
jWg7RuN 元件内场分析器:FMM yN0!uzdW* )]=1W
uA}w?; 参数运行 V>{G$(v$ a^vXwY ],fu#pi=] 参数优化 Ag>E%N PFqc_!Pm ;>eD`Wh 模拟结果 (|6Y1`` ii.L]#3y 通过计算器进行参考测量 =1JS6~CTLN /-#1ys#F= C)7T'[ 结构内的场 8>E_bxC !T((d7; "k8Yc<`u V-y"@0%1 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 +@'{ U5 `h $a.!X8sHB. 初始解决方案 #1 的参数优化 +s*OZ6i [ ad\?@>[I ZfpV=DU 最终设计 #1 的性能分析 NhI&wl LDj'L~H 初始解决方案 #2 的参数优化 d 6$,iw@>^ ;B 35E!QJ q(i^sE[y 最终设计 #2 的性能分析 2(-J9y|