摘要 JKM(fX+ xOe1v9< ~o^| >] 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
]LC4rS G)?*BH 设计任务 F5Xb_&
>6o <Q DPzW,aIgv 连接建模技术:蛾眼结构 rV%68x9 )-3~^Y#r_ :.*Q@X}-I 光栅阶数分析器 7y|U!r"Y p2gdAJ '\#q7YjaL 元件内场分析器:FMM m|
,Tk:xH 2O=$[b3 %[p*6&V 参数运行 ]XEyG7D lz0-5z+\ Zmyq6.1q~ 参数优化 =Q_1Mr4O iP(MDVg :b44LXKCP 模拟结果 `nyz, f 3H uT=n 通过计算器进行参考测量 MT>sRx# 7p.8{zQ* *B|hRZka1A 结构内的场 y$R8J:5f B46:LQ9[ DS(>R!bb _R\FB|_ 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 fS4foMI63) gtuSJ+up -w"I 初始解决方案 #1 的参数优化 %Y ZCdS H2jypVs$2 R@3HlGuRKw 最终设计 #1 的性能分析 W8 g13oAu" 5_!L"sJ 初始解决方案 #2 的参数优化 eQ[akVMk h2zSOY{su 7I[[S!((s 最终设计 #2 的性能分析 R1LirZlzJ