摘要 VIo %(( <6k5nE h N_TWT&o4 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
V[>MKB( ;c"T#CH. 设计任务 7B
GMG| +,=DUsI} 7_>No*[ 连接建模技术:蛾眼结构 9I*zgM!F ws:@Pe4AF *7<5 G{ 光栅阶数分析器 r
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EQz 元件内场分析器:FMM )24r^21.q 1MI/:vy- H3T4v1o6 参数运行 kmjSSh/t [>xwwm ?.#?h>MS{s 参数优化 ]dB6-- qX[a\HQa o ohgZ&k2] 模拟结果 -AcLh0pc `(A>7;]: 通过计算器进行参考测量 `Y`Ujr\6 _W]qV2j h32QEz-+ 结构内的场 (i4=}Kn2 g+h)s!$sB 3# G;uWN- ML?%s` 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 Wi_5.= qh;ahX~ {Lu-!}\NP 初始解决方案 #1 的参数优化 JgXP2|Y ! &U:bRzD ! 9B| ` 最终设计 #1 的性能分析 tW;?4}JR
Fi.gf?d 初始解决方案 #2 的参数优化 v[VUX69 Z+h^ ie"g :X-Z|Pv8 最终设计 #2 的性能分析 |FS,Av