摘要 >@+ r| M?I^Od'8 G}NT[ 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
9{Xh wi)z ~X2
cTG!, 设计任务 ^QbaMX 9Lp[y%{GP Q|&Wcxq2! 连接建模技术:蛾眼结构 NU |vtD r;'Vy0?AL b+!I_g4P 光栅阶数分析器 LvbS") ,mm9X\ ' iD`>Bt7gD 元件内场分析器:FMM & 8'QD~ D4;6}gRC F?.J1] 参数运行 `bMwt?[* t#sw{RO yr,Oq~e 参数优化 8B"my\ |:G`f8q9 u(b Pdf@kz 模拟结果 GJP\vsaQ `@#,5S$ E 通过计算器进行参考测量 4M3{P QoTjKck. \r^*4P,, 结构内的场 6S6E
1~ t}A n: DY' 1#$; zbyJ5~ 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 9!UFLZR /'WVRa QJKVNOo 初始解决方案 #1 的参数优化 t]PO4GA ^ Z~'>J T*ir Ce 最终设计 #1 的性能分析
{H$m1=S 9G)q U 初始解决方案 #2 的参数优化 n3LCQ:]Tf Ey* *j Ii4lwZnz 最终设计 #2 的性能分析 dt=5 Pnf[y