摘要 \(.])I>)eh M#U #I:z% $X;wj5oj 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
bY>JLRQJ- rRK^vfoJ` 设计任务
YO3$I!( {Iu9%uR>@ KVC$o+<'`% 连接建模技术:蛾眼结构 iax6o+OG| pVGH)6P>| K~MTbdg 光栅阶数分析器 -2\%?A6L @=0O'XM `Qrrnq 元件内场分析器:FMM G=Qslrtg }p <p( `~.0PnHf 参数运行 >.fN@8[ ,O;+fhUJ( 0nDlqy6b1b 参数优化 +=qazE<:0 ;Bs^+R7 F:P&hK 模拟结果 I {o\d'/ 4wa8Vw` 通过计算器进行参考测量
F[65)"^ =q4QBAW 51Nh"JTy 结构内的场 yVP 1=pz_[ _&~y{;)S `B4Px|3 G|"`kAa 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 c/g"/ICs UhX`BGpM{ \qU .?V[2 初始解决方案 #1 的参数优化 BWz7m9T 1 ^k#g, dF-d 最终设计 #1 的性能分析 ~
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