摘要 r!M2H{ N!m%~},s// )T4L^^` 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
%bimcRX#W )R|7> 97 设计任务 jqLyX A]J^{h0k asF-mf;D 连接建模技术:蛾眼结构 aQG#bh [ -?]ltn9! u qyf3bK 光栅阶数分析器 nY8UJy}<oL Yn#8uaU jG2w(h/" 元件内场分析器:FMM \%C[l j~8+,: =I5XG"", 参数运行 *Q>:|F[vM }ot _k- J#kdyBmuO 参数优化 C1/jA>XW 3dbf! r#Mx~Zg~ 模拟结果 O)Qz$ 8F*
WT|] 通过计算器进行参考测量 | rvr Sab) ]Rye AJ3 Kzb@JBIF 结构内的场 (*ng$zZ$ p[)<d_ X{
=[q|P q(7D8xG;F 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 Lm|X5RVq 8:% R|b 0I((UA/7Zs 初始解决方案 #1 的参数优化 dmz3O(]$ ^rwSbM$ d*$<%J 最终设计 #1 的性能分析 2-0cB$W+ ;#9|l= 初始解决方案 #2 的参数优化 C8:"+; P@YL.'KU) ~C/KA6H 最终设计 #2 的性能分析 sRQh~5kM