摘要 jh5QIZf= @CMI$}!{V ]g_VPx" 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
!NXjax\r -9Q(3$} 设计任务 X8Z?G,[H %pC<T*f o2/:e 连接建模技术:蛾眼结构 th?+TNb^
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CrUn L4By5) 光栅阶数分析器 '\:4Ijp<" iHa?b2=) o+A7hBM^ 元件内场分析器:FMM Ox3=1M0 &5CRXf 'o AmA= 参数运行 ]33!obM AjzTszByu (lk9](;L 参数优化 *t@A-Sn ]vrZGX
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jp}$l L%'J]HL- %iyc1]w{ 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 i8iT}^ z0"t]4s !_QI<=X 初始解决方案 #1 的参数优化 ; pnF%co9 mdi!Q1pS 'aSsyD!?< 最终设计 #1 的性能分析 %(CC KVi6vdgD 初始解决方案 #2 的参数优化 rrD6x> p`tz*ewC 1d^~KBfv 最终设计 #2 的性能分析 W .a>K$