摘要 ?{NP3
y4PR&^l?g 5 >S#ew 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
_HW~sz| N_rz~$|@9 设计任务 RSC^R}a5 {?!=~vp J]yUjnQ[h 连接建模技术:蛾眼结构 dlmF?N|EC XZD9vFj1Z r:]t9y>$< 光栅阶数分析器 [nZf4KN FNL[6.!PV T2<?4^xN 元件内场分析器:FMM 1O]'iS" @E;'Ffo %N$,1=0* 参数运行 <E/4/
ANN K4~z@.
G6* iZ}Afj 参数优化 Hof@,w W/DSj : bnHQvCO3$ 模拟结果 qM=
$,s* h\| ~Q.kG 通过计算器进行参考测量 s.7\?(Lg @SeInew;`l "Zm**h.t 结构内的场 B3|h$aKC 9'nM$a aO8n\'bv {w:*t)@j 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 J<hqF4z $/*19e~ nb-]fa 初始解决方案 #1 的参数优化 B=14
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Iqxe> 最终设计 #1 的性能分析 [hzw..?g O&BNhuW2 初始解决方案 #2 的参数优化 7q\& Q^13KWvuV O?\UPNb:K 最终设计 #2 的性能分析 $d0xJxM