摘要 j.5;0b_L^ bc".R] vbZGs7% 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
CQLh;W`Dc 0%m}tfQ5 设计任务 '+
8.nN @\!9dK-W ?^# h|aUp. 连接建模技术:蛾眼结构 !A 6l\_ \[-z4Fxg|' E2PMcT{)_ 光栅阶数分析器 A(xCW+h@) 0B4&!J ^w+jPT-n 元件内场分析器:FMM Tath9wlv6; q0}?F K }]0<\N 参数运行 s 4Mi9h_ ""dX4^gtU K-xmLEu 参数优化 aWLeyXsAu sF/X#GG- +dkbt%7M 模拟结果 Dm3/i|Y bEXm@-ou 通过计算器进行参考测量 Wgh4DhAW %7_c|G1 gAx8r-` ` 结构内的场 i>Cxi ZT .
k6) )P{I<TBI; UL/|!(s 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 m-SP #?3 HzO6hb{jJO {(DD~~)D 初始解决方案 #1 的参数优化 !eoN ^UF]%qqOn M!=WBw8Y]a 最终设计 #1 的性能分析 2C@hjw( I6]|dA3G 初始解决方案 #2 的参数优化 !lSxBr[dQ x04JU$@ a<.7q1F 最终设计 #2 的性能分析 ^6?NYHMr=