摘要 =3=8oF x8 \"9ysePI cRWYS[O?- 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
Bqw/\Lxwlf aZmac'cz{ 设计任务 4JL]?75 u179! eC_i]q&o| 连接建模技术:蛾眼结构 \)cbg#v jpZ 7p; S_;m+Ytg 光栅阶数分析器 @&GY5<&b U%)*I~9 dvLL~VP 元件内场分析器:FMM gRwRhA/ ]Aj5 K ]'<"qY 参数运行 u6
4{w, EJ(z]M`f #<vzQ\~Y 参数优化 8Rnq
&8A EQX?Zs?C ~JB4s%& 模拟结果 'JJ : VP^{-mDph 通过计算器进行参考测量 x5k6"S"1, 5>-~!Mg1 7b(r'b@N 结构内的场 >[<f\BN| B % Z& bIjp :`S\p[5 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 Hi&bNM>?O =/19 -Y: e09QaY 初始解决方案 #1 的参数优化 q)N^ k;HI-v _8wT4|z5 最终设计 #1 的性能分析 eY_BECJ+OO ew,g'$drD 初始解决方案 #2 的参数优化 -pQ0,/}K } A}Vd:# +u3vKzD 最终设计 #2 的性能分析 `eKFs0M.