摘要 P??pWzb6HH ]>sMu]biH z=jzr=lP 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
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设计任务 \B/( H)Cd* EOqV5$+ _Bn8i( 连接建模技术:蛾眼结构 D,-L!P [czWUD 7A<}JaE!, 光栅阶数分析器 Z,XivU& ov!L8
9`[u Pff-eT+~m 元件内场分析器:FMM J[K>)@I/ l>HB 0o aM8z_j!!u 参数运行 T[0CD'|E <_bGV }zeKf/?' 参数优化 .J5or d+eb![fi 7#T@CKdUd 模拟结果 V-i:t,*lk( Pc~)4>X< 通过计算器进行参考测量 F20%r 0 E/ku VZX :KRe==/ 结构内的场 6XVJ/qZ WPu%{/[ :J5CmU$ ooYs0/,{ 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 oX/#Mct{s /dVcNo3" etP`q:6^c 初始解决方案 #1 的参数优化 0R,Y[).U Y:'c<k :Sk<0VVd7 最终设计 #1 的性能分析 .7#04_aP B"RZpx 初始解决方案 #2 的参数优化 KR4 RIJZ_t gD6BPW~0 G{|FV
m 最终设计 #2 的性能分析 cXOb=