摘要 |tL57Wu93 "[(& $ I xszGao' 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
P&PPX#% zs#s"e:jeR 设计任务 ie4keVlXc Uawf,57v< 0uX"KL]Elf 连接建模技术：蛾眼结构 .KiJq:$H a#H2H` % vd>K=!
J 光栅阶数分析器 n#@/ A c`:hEQs 7w}D2|+ 元件内场分析器：FMM {ctEjgiE ~x<nz/^ VrL==aTYXs 参数运行 56 6vjE v=!Ap ; 2L :|hFpLt 参数优化 ]L0GIVI E K:PzR,nn 08)X:@ w? 模拟结果 jG($:>3a@ l#7 ] .-/ 通过计算器进行参考测量 [$; \1P/ Nxk3uF^ hw[ jVx 结构内的场 \QF \Bh $Pa7B]A,Ae ;8WgbR)ZLU 5rG&Z5 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 qk}(E#.>F\ kOfq6[JC HI}$Z =C 初始解决方案 #1 的参数优化 Uh.XL=wY cG| )z<Z om 3$= 最终设计 #1 的性能分析 % : ?_N Z4S0{:XY 初始解决方案 #2 的参数优化 s|3@\9\ c&zZsJ"~ *2MM 最终设计 #2 的性能分析 _4E .
P
