[技术]严格分析和设计抗反射蛾眼结构 [复制链接]

摘要 s3-TBhAv  
gp+aUK~o  
   4^Ke?
;v  
对于许多光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射纳米和微米结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚波长领域，具有独特的波长和角度依赖性质。本文介绍了在VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。 HT:V;?"  
;,lFocGv  
设计任务 ,Dab(  
[a_'pAH  
?WP*At0  
连接建模技术：蛾眼结构 gb{8SG5ac  
   XEBeoOX/  
G\z5Ue*  
光栅阶数分析器 FLo`EE":O(  
   ;I9g;}  

WJJmM*>JW  
元件内场分析器：FMM h_HPmh
5  
2kcDJ{(  
g43(N!@g  
参数运行 ,!O]c8PcU  
o<gK
"P  
TKp2C5bX  
参数优化 0qq
>(K[  
|LRAb#F\  
!]3kFWs  
模拟结果 .?`8B9w  
3#?53s  
通过计算器进行参考测量 ^[&,MQU{7  
!k Heslvi  
:K~sazs7J  
结构内的场 9m.MGJbQ_f  
&+0?Xip{Z  
e3mFO+  
a/</P |UG  
在参数空间中扫描以获取初始解决方案 F/PH=Dk  
K$l@0r ~k  
mp)+wZAN&  
初始解决方案 #1 的参数优化 /}/GK|tj  
ejia4(Cd  
Y2IMHNtH  
最终设计 #1 的性能分析 T`bUBrK6g`  
vb| d  
初始解决方案 #2 的参数优化 I7W`\d)  
N!fjN >cw  
lMl'+ yy  
最终设计 #2 的性能分析 \Q^grX