摘要 HL%|DCo {_ {zs!r o]<J&<WM 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
w%$J<Z^-? Q2"K!u] 设计任务 ]v#T9QQN b1EY6'R2 w d6+,B 连接建模技术:蛾眼结构 > ,x``- [I,s: mn |#zj~>7? 光栅阶数分析器 FiKGB\_] O@a7MzJ ]Xg7XY 元件内场分析器:FMM G%>M@nYUE x#fv<Cj4 \f'= 参数运行 WNSEc% mXI'=Vo!S MH=Ld=i 参数优化 {?Cm hbm#H7Y HqXS-TG 模拟结果 t@jke Z GrDa 通过计算器进行参考测量 q-qz-cR akzKX} \"b'Z2g 结构内的场 %v[KLMo'( ucFfxar" =l>=]O~h 4jW <*jM 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 tNljv >vI j:U6q,f] j-wKm_M#jX 初始解决方案 #1 的参数优化 3-BC4y/ o@ @| 4
F 8Fv4\dr 最终设计 #1 的性能分析 rN'}IS@5 j+Q+.39s-~ 初始解决方案 #2 的参数优化 A}i>ys ~R~eQ=8 o_&Qb^W 最终设计 #2 的性能分析 [= Xb*~