摘要 C1^=se tM]~^U -?`^^ v 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
, j^ /~ &U ]L@ ]x 设计任务 PXG)?`^NX nIJ2*QJ *,X;4?:, 连接建模技术：蛾眼结构 \ni?_F(Y ^{nf0 )56c AJt *48H*G 光栅阶数分析器 "2q}G16K yjlX@YXnw ra=U, 元件内场分析器：FMM 2apR7 {/G ~HoY1i j'FSd*5m 参数运行 QNn\ wz_) __M( dN(^ F|3Te?_ 参数优化 ol7%$:S m`gH5vQa NpqMdd 模拟结果 A@x a$!4} L,c@Z @ 通过计算器进行参考测量 x9q?^\x U/9xO"b{. F )_ jW 结构内的场
4Ra lYldq)qB{ fTd= }zY b{JcV 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 } M-^A{C\% PNY"Lqj ekC
1wN
l 初始解决方案 #1 的参数优化 8&<C.n KP K 8M[xaI@ 69ZGdN 最终设计 #1 的性能分析 %^tKt /ap3>xkt 初始解决方案 #2 的参数优化 a )w
* =REMSe j .anXsjD%W 最终设计 #2 的性能分析 3gtQS3$4s
