摘要 5ve4 u \LX!n!@ &?\'Z~B4 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
)NG{iD{_] (#6E{@eq 设计任务 m/W0vPM1 WVaIC $Y Q2[@yRY/z 连接建模技术:蛾眼结构 t[Dg)adc -:92<G\D +3B^e%`NPm 光栅阶数分析器 d4@\5< L`E^BuP/ ub^v,S8O 元件内场分析器:FMM TNYd_:j &^WJ:BvA|^ |)'gQvDM 参数运行 @Y2"=QVt >XzP'h B{IYVviiP 参数优化 1eG@?~G O&=40"Dr \Kh@P*7 模拟结果 BPAz.K Q _y~H#r9: 通过计算器进行参考测量 H`!%" CRs gR) &mebpEHUG7 结构内的场 z:PH _N~ /+pPcK wFr}]<=Mi ^fj):n5/ 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 [H#*#v :/e=J ,BuN]9# 初始解决方案 #1 的参数优化 bJ8~/d]+ [kc%+j<g n ,<`.^ 最终设计 #1 的性能分析 ]V9z)uz >AcpJ|V 初始解决方案 #2 的参数优化 N_jCx*.G _E({!t"` k:(i sKIA 最终设计 #2 的性能分析 gR `:)>