摘要 -K*&I! i]M:ntB" Qq*Ks
5 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
'|^<|S_+K [OK( 设计任务 _q<Ke/ E[kf%\
l11+sqg 连接建模技术:蛾眼结构 g:]X '%Ub 7IUu] Fi .tH[A[/1 a 光栅阶数分析器 _,{R3k h<I C
d'! jNu`umS 元件内场分析器:FMM 5w#7B ('Doy1L /_.1f|{B 参数运行 1b4/ "yA=Tw g;To}0H 参数优化 rIJv(&l yHIZpU|(j \mGok<b4 模拟结果 fNnX{Wq V4>qR{5 通过计算器进行参考测量 %=EN 3>, #$;i 4a 3L1MMUACL 结构内的场 -jdhdh tX@G`Mr( `<x((@# l`k""f69W 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 +fRABY5C PRQEk.C ZW)_dg 9 初始解决方案 #1 的参数优化 |(77ao3 7wB*@a- _KZ&/ 最终设计 #1 的性能分析 eb#p-=^KP N&jHU+{OU 初始解决方案 #2 的参数优化 k=M_2T' 2vh@KnNU {#C)S&o)6 最终设计 #2 的性能分析 fjP(r+[