摘要 XN %tcaY < ?{ic2j# :ND e<6?u 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
3D^!U}E `c.P`@KA 设计任务 LE]mguvs SDHJX8Hq Bp9_\4 连接建模技术:蛾眼结构 5e|yW0o -.t/c}a# hj+iB,8 光栅阶数分析器 Y:#nk.}> sp8P[W1a P,W(9&KM 元件内场分析器:FMM _/[}PQC6G :c}"a(| Tg _#z 参数运行 E
E^lw61 peD7X:K\s 7 <<`9, 参数优化 A(}D76o_ M"!{Dx~ w:HRzU> 模拟结果
AQm#a; F1GFn|OA 通过计算器进行参考测量 )l6(ss!J 6.6;oa4j w0&|8y 结构内的场 K*9~g(' (U([T -H # ~(lY} 8{DW$ZtR 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 mPJ@hr%3 lEXI<b'2 K)N'~jCG 初始解决方案 #1 的参数优化 B1 Y
:zp9L/eh rk8Cea 最终设计 #1 的性能分析 .Ge`)_e L#MgoBXr 初始解决方案 #2 的参数优化 D $&6 8 `b*x}HP$ 8;y\Ln?B 最终设计 #2 的性能分析 fM!@cph(8