摘要 sgFpZk b[H& vp )(y&U 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
Rh,*tS qksN {t 设计任务 LkNC8V e>Is$+[`7 2v yB[( 连接建模技术:蛾眼结构 spgY &OI; NNS n]LP )7:2v1Xr] 光栅阶数分析器 N#Y4nllJ >H[&Wa+_ ~E#>2Mh 元件内场分析器:FMM R)ejIKtY /1t(e._ ss
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Qjoaz c.,eIiL /6b(w=pk 模拟结果 ME{i-E4 Yw4c`MyL 通过计算器进行参考测量 8K7zh.E 7DXT1+t G23Mr9m5O 结构内的场
E~jNUTq " #_NA`$i 74xI#`E hekAics6S 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 >O |hN ` {PWz:\oaD 'R99kL/.N 初始解决方案 #1 的参数优化 WUMx:a0! 2j*\n|"}{ zH}u9IR3` 最终设计 #1 的性能分析 y2o?a6` A<QYW,:| 初始解决方案 #2 的参数优化 L*Xn!d% `%"zq"1`0 a:7"F{D91 最终设计 #2 的性能分析 dGrOw)