摘要 $f)Y
!<bC t%FS 5 Aq";z.gi+ 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
SKcAZC { ET+V 设计任务 K0+J!-a]7 sZB$+~.:} [q(7Jv 连接建模技术:蛾眼结构 7L]fCw
p[ ,l@hhaLm? ;)clCm46 光栅阶数分析器 .@[+05Yw .WtaU >O?EFd>E 元件内场分析器:FMM nR
,j1IUF 43P?f+IYrk xpSMbX{e 参数运行 !5{t1 oJ .e]!i(5I YE0s5bB6 参数优化 P/ug' /Wzic+v<> ? ZN8Ku 模拟结果 ,AM6E63 GMiWS:`;v` 通过计算器进行参考测量 ))k^7g9M` M)-+j{< @AWKEo<7.I 结构内的场 #n0P'@d,r Ig S.U 3+(Fq5I '8dgYj 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 B"8^5#t4s pU}>} A$%%;O 初始解决方案 #1 的参数优化 )5e}Id }Z%*gfp whRc YnJ 最终设计 #1 的性能分析 GyT{p#l 9jJ&QACn
初始解决方案 #2 的参数优化 b vUYLWzS y37n~~% k>2 xm 最终设计 #2 的性能分析 Mi:$<fEX