摘要 ,dR<O.{0 jv4O S <RbC 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
O?=YY@j 5Qh$>R4!" 设计任务 [B,w\PLub [XKudw% +QZ}c@'r 连接建模技术:蛾眼结构 W0 n?S
" @CTSvTt$ b4R;#rm 光栅阶数分析器 d$H mM $|cge" Lhz*o6) 元件内场分析器:FMM rsaN<6#_^Q n6xJ h]>QGX[kC 参数运行 vmj'X>Q 3T= ?!|e f'oO/0lx 参数优化 iCtDV5 8)o%0#;0B CiNOGSlDj 模拟结果
F%tV^$% Dx5X6 t9= 通过计算器进行参考测量 M/mm2?4 LsI8T
uv nf0]<x2 结构内的场 N*`qsv0 }`~n$OVx Ht"?ajW{ x>bGxDtu* 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 *8I"7'xh *yZ `aKfH Xmm)z 初始解决方案 #1 的参数优化 PrKH{nyJk =G9I7Y@ kj>!&W57 最终设计 #1 的性能分析 UasU/Q < FTQNS8 初始解决方案 #2 的参数优化 M-8`zA2 <5 } .nzN5FB
U 最终设计 #2 的性能分析 zMXQfR