摘要 \U\k$ ( l`'
lqnhv KD*q|?Z 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
NA<6s]Cs. flr&+=1?D 设计任务 nWzGb2Y wvuh !vQDPLBL 连接建模技术:蛾眼结构 ~|!f6= %
QKlvmI" efnj5|JSV 光栅阶数分析器 *9?T?S|^$F a=%QckR* .o_?n.H'& 元件内场分析器:FMM q*36/I NU#rv%p =JK# "' 参数运行 ;i,:F`b~ a#NP69 i(pevu 参数优化 OD~TWT_ S^/:O.X)c, {zj<nu 模拟结果 zr1,A#BV X"z!52*3] 通过计算器进行参考测量 ;^cc-bLvF P: 3%#d~q 50Kv4a" 结构内的场 uJX(s6["= 320g!r UB7H`)C} Pp9nilb_( 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 Pqc+p E 4[$D3,A } F; Nh7? 初始解决方案 #1 的参数优化 =>Md>VM rdY/QvP0= %w0Vf$ 最终设计 #1 的性能分析 4\?GA`@ Jc74A=sT 初始解决方案 #2 的参数优化 0u7\*Iy nOE 1bf^l hV6=-QL*B 最终设计 #2 的性能分析 TM1D|H