摘要 5kju{2`GF bFt$u]Yvo rERHfr`OU 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
ns/L./z }0(.HMiGj 设计任务 }.$5'VGO tc2e)WZP kd3vlp 连接建模技术：蛾眼结构 41'|~3\X cf7UV6D g 4a6WQVS 光栅阶数分析器 pk&;5|cCD p\&Lbuzv G$HXc$OY 元件内场分析器：FMM q8 _8rp-@ (tLAJ_v!.K [fjP.kw;J 参数运行 &qO#EEqG] JJ=%\j 6 $k"B/k 参数优化 WU"
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