摘要 pCud`
:o" C[/Uy 3M>FU4Ug2 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
E]e[Ty1 J*W;{Vty 设计任务 <:_]Yl 28ov+s~1+- ~wd?-$;070 连接建模技术:蛾眼结构 c )P%O +~v3D^L15 1:~m)"?I_^ 光栅阶数分析器 /`]|_>' ]Rys=.! HT;QepY3 元件内场分析器:FMM xhoLQD 4m g
7f^[+ "Qm~;x2kB 参数运行 A`ertSlbhe [3;Y:&D }5c'ui!3H 参数优化 J&0wl]w|O% 8"I5v(TV R~mMGz 模拟结果 RBp(dKxM$w *Uw# 通过计算器进行参考测量 9!/1F ! Ss#{K; J$=b&$I( 结构内的场 +^3L~? 0:(dl@I)@ =R8.QBVdN Jhq5G" 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 ]KV8u1H> z_iyuLRdb . R8W< 初始解决方案 #1 的参数优化 NBR'^6 =.2cZwxX$ UC2OYZb 最终设计 #1 的性能分析 sT T455h) n[p9$W` 初始解决方案 #2 的参数优化 2|H'j~ q8yJW-GA |Bt x&'m 最终设计 #2 的性能分析 ~$&r(9P