摘要 )dUd `g Y9\]3Kno ,3g]=f 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
:y<Cd[/ FE^?U%:u@ 设计任务 WVBE>TB VO\S>kw i2\\!s 连接建模技术:蛾眼结构 [:/7OM oj,Vi-T Z PW~cqo B71 光栅阶数分析器 Q>#)LHX KU8Cl>5 XACEt~y 元件内场分析器:FMM }(f,~?CP] K!$\REs O(:u( U7e 参数运行 f%(e,KgW= kW7&~tX -jklH/gF\% 参数优化 2={K-s20 oPC IlH #Fb0;H9` 模拟结果 )BM WC
k ?U2g8D nFY 通过计算器进行参考测量 2t
Z\{= 9\W5 &].1[&M] 结构内的场 JOL Z2 t9=|* =;9) &p(*i@Ms F#3$p$;B$ 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 !:!@dC%8_ F".IB^}$ R'$ T6FB5 初始解决方案 #1 的参数优化 jv?aB N5I W@?4 n"`SL<K1 最终设计 #1 的性能分析 S+bWD7 p-i]l.mT5 初始解决方案 #2 的参数优化 Lqf#,J t]YLt , /*xmv
$ 最终设计 #2 的性能分析 >GF(.:7