摘要 z:#]P0 .u7}p# B~KxUp 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
uH9Vj<E$K c{/R?< 设计任务 '2r 3E|||3rf H<_Tn$<zH. 连接建模技术:蛾眼结构 n;Oe- +oSC lrv-[}} ^}-l["u` 光栅阶数分析器 rS BI'op 4@-tT;$ )-3~^Y#r_ 元件内场分析器:FMM :.*Q@X}-I 7y|U!r"Y p2gdAJ 参数运行 9<_hb1' 03fOm fg)*TR 参数优化 XZ
|L D# PK:Lv15"r '0+I' _( 模拟结果 #AGO~#aK crIF5^3Yby 通过计算器进行参考测量 >j=ZB3yZ ]%6%rq%9C .4CDQ&B0K 结构内的场 oDA'$]UL 3HrG^/ l7VO8p]y[R !.j{vvQ/ 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 F|F0#HC ? L>14=Pr^( %" H:z 初始解决方案 #1 的参数优化 uQ W)pD{_ Cb+sE"x] ]eGa_Ld 最终设计 #1 的性能分析 -w"I 6)^*DJy 初始解决方案 #2 的参数优化 H2jypVs$2 B9"o Ru^} W8 g13oAu" 最终设计 #2 的性能分析 u<:uL