摘要 *B@#A4f" {G3Ok++hc CTg79
ITYk 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
1+3-Z>^ e 6||%T$_;} 设计任务 Q:
-& \>"Zn7 ,H?e23G 连接建模技术:蛾眼结构 DsxNg hEo$Jz` $Sy}im\H 光栅阶数分析器 N@Ap|`Ei v;z8g^L "UY34a^I 元件内场分析器:FMM 8f~*T # ^,8JRA =s:kC`O 参数运行 ]YZ_kc^(V; Z{%W!>0 e 5(|9*t 参数优化 Zd-QZ<c";t .&b c3cW |Om][z 模拟结果 *h?}~!AjY >#S}J LZ 通过计算器进行参考测量 ]3]B$ :ba4E[@ k'F*uS
结构内的场 VJ&-Z | 75P!`9bE uJ1oo| sn Pu!C,7vUQ 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 K",Xe> }(na)B{m $*XTX?,' 初始解决方案 #1 的参数优化 F!I9)PSj J7EWaXGbz X?r$o>db 最终设计 #1 的性能分析 .
Z9c.E{ cF9ZnT. 初始解决方案 #2 的参数优化 Mz)
r' ]-heG'y]{ 8c%N+E] 最终设计 #2 的性能分析 K-.%1d@$y