摘要 mLuNl^)3 ;\*3A22 # _p*9LsN$L 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
49MEGl;K0\ @PvO;]]% 设计任务 :/T\E\Qr zL
yI|%KH h9Far8} 连接建模技术:蛾眼结构 TN0KS]^A3 eB5>uKa p/<DR| 光栅阶数分析器 "io O_ H.ZIRt!RB UTkPA2x 元件内场分析器:FMM XZIapT v1:.t V.*TOU{{xh 参数运行 -$Z1X_~;)< X+;[Gc}(W [
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S %l7[eZ{Y DC8#b`j 模拟结果 0#]fEi n-ffX*zA( 通过计算器进行参考测量 (GmBv \(Sly&gL C^)Imr 结构内的场 8S1@,O, !2|Lb'O <<>+z5D+ fa/S!%}fO 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 Ooz,?wU6 E'LI0fr aS [[
AL 初始解决方案 #1 的参数优化 +Ryj82;59z B#V""[Y9 #kC~qux^ 最终设计 #1 的性能分析 rwq ;_cTrjMv\ 初始解决方案 #2 的参数优化 8Rj5~+5 bB_LL Z 8rD9
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