[技术]严格分析和设计抗反射蛾眼结构 [复制链接]

摘要 ~r%>x  
O C qI  
   :>G3N+A)  
对于许多光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射纳米和微米结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚波长领域，具有独特的波长和角度依赖性质。本文介绍了在VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。 ??MF8uv  
d]bM,`K* 6  
设计任务 `y%1K|Y=  
@20~R/vh  
.PAR  
连接建模技术：蛾眼结构 1ig#|v*+  
   %+Az X  
]Sl]G6#Iwv  
光栅阶数分析器 v8PH(d2{@  
   c+_F}2)  
V(/=0H/ F  
元件内场分析器：FMM zLeId83>  
yEvuTgDv  
qYi<GI*|@  
参数运行 d|~A>YZ  
B^{87YR  
M?yWFqFt9m  
参数优化 W5#5RK"uX  
d7O\p(M1  
Td6Gu"  
模拟结果 v<2B^(i}VB  
,:G3Y )  
通过计算器进行参考测量 ]n/fB|tE  
,pc\ )HR  
Vv]81y15Q;  
结构内的场 #!h +K"wX  
hhZUE]  
$AI0&#NM  
C/sDyv$  
在参数空间中扫描以获取初始解决方案 E#cW3\)  
dE[_]2];P  
":o1g5?  
初始解决方案 #1 的参数优化 .W9/*cZV0  
4_A9o9&_Rh  
;4g_~fB  
最终设计 #1 的性能分析 x:Nd>Fb  
UdS
u:V|  
初始解决方案 #2 的参数优化 e1
k\:]6  
2k^dxk~$V;  
4-YXXi}  
最终设计 #2 的性能分析 VB?mr13}G