摘要 #@fypCc ;rKYWj>IR yiq#p "Hs 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
2o/`8+eJu +9J>'oe'D 设计任务 BTyVfq
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zk6 连接建模技术：蛾眼结构 NC }#P< U 11sW$@xs
9 DvCt^ O* 光栅阶数分析器 ^xwFjQXx luT8>9X^:a 5,Y2Lzr 元件内场分析器：FMM h(-&.Sm")H nmGHJ b,$ Dhoj|lc 参数运行 l? o-
p jlBCu(.,_ B .mV\W 参数优化 cw.7YiU jHCKV JPG!c X% 模拟结果 I\~V0<"jI [4 j;FN Fa 通过计算器进行参考测量 h'p0V@!N MVdx5,t #Au&2_O 结构内的场 W\7*T1TDj ~@a
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+ }q W a E 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 beE % %C]X
/ GUuu rR~X >+K 初始解决方案 #1 的参数优化 ~x:] ch| tqCg<NH.!m Fr3t [:D 最终设计 #1 的性能分析 [ )~@NN I:<R@V<~# 初始解决方案 #2 的参数优化 9lCKz
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G[hU4L [Gy'0P(EQ 最终设计 #2 的性能分析 zP}v2
