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|=fa`8mG 内容简介 ShbW[*5 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 R".~{6 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 F`IV9qv 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 *`&4<>=n .xo#rt9_"= 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 F6J,: 目录 1O3"W;SR<: Preface 1 G`8i{3: 内容简介 2 )65 o 目录 i 2XI%z4\)! 1 引言 1
=z`#n}v 2 光学薄膜基础 2 d|#sgGM<8 2.1 一般规则 2 "i0{E!,XL 2.2 正交入射规则 3 K,(37Id' 2.3 斜入射规则 6 BQ!v\1'C 2.4 精确计算 7 7%DA0.g 2.5 相干性 8 3}*)EC 2.6 参考文献 10 8-]\C 3 Essential Macleod的快速预览 10 ZmU7 tK 4 Essential Macleod的特点 32 KnK8\p88\ 4.1 容量和局限性 33 :j feY 4.2 程序在哪里? 33 !o +[L 4.3 数据文件 35 x.W93e[]H 4.4 设计规则 35 _=l8e-6r 4.5 材料数据库和资料库 37 {[&$W8Li 4.5.1材料损失 38 s\&qvL1D 4.5.1材料数据库和导入材料 39 C]H'z 4.5.2 材料库 41 0*$? =E 4.5.3导出材料数据 43 |uL"/cMW7 4.6 常用单位 43 P5,X,-eG 4.7 插值和外推法 46 Zw6UH;5 4.8 材料数据的平滑 50 ~Y;_vU 4.9 更多光学常数模型 54 [HO=ii]Wb 4.10 文档的一般编辑规则 55 )~@iM.}S2 4.11 撤销和重做 56 3pQ^vbQ" 4.12 设计文档 57 ]H[%PQ r`Z 4.10.1 公式 58 LYM(eK5V 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ;F3#AO4( 4.10.3 沉积密度 59 @o otKY` 4.10.4 平行和楔形介质 60 s,~)5nL 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 8":O\^i 4.10.4 性能 61 F,F1Axf 4.10.5 保存设计和性能 64 v>ygr8+C, 4.10.6 默认设计 64 7l+>WB_] 4.11 图表 64 o]gS=iLp 4.11.1 合并曲线图 67 N5]}m:"pk 4.11.2 自适应绘制 68 R>|)-"b( ` 4.11.3 动态绘图 68 LS(J%\hMDm 4.11.4 3D绘图 69 Cx,)$!1 4.12 导入和导出 73 QVEGd"WvvO 4.12.1 剪贴板 73 svT1b'=\$I 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 )TH~Tq: 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 83~9Xb=!\ 4.13 背景 77 -XcX1_ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 B`I9 4.15 生成Rugate 84 vJ `'x 4.16 参考文献 91 A]x'!qa@= 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ccCe@1RI 5.1 Jobs 92 k2axGq 5.2 创建一个新Job(工作) 93 vH`m
W`= 5.3 输入材料 94 k uEB 5.4 设计数据文件夹 95 e
9p + 5.5 默认设计 95 zG%ZDH^82_ 6 细化和合成 97 Adyv>T9 6.1 优化介绍 97 P R{y84$ 6.2 细化 (Refinement) 98 yEvuTgDv 6.3 合成 (Synthesis) 100 qYi<GI*|@ 6.4 目标和评价函数 101 d|~A>YZ 6.4.1 目标输入 102 B^{87YR 6.4.2 目标 103 ? FlV<nE"J 6.4.3 特殊的评价函数 104 %\uEV 6.5 层锁定和连接 104 !Eof7LUE 6.6 细化技术 104 VOmWRy"L 6.6.1 单纯形 105 "?[7oI}c& 6.6.1.1 单纯形参数 106 kJy
bA 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 l>H G|ol 6.6.2.1 Optimac参数 108 BUp,bJpO 6.6.3 模拟退火算法 109 0lyCk} c 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Y64B"J=P9 6.6.4 共轭梯度 111 XyM?Dc5, 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 P@RUopu,i 6.6.5 拟牛顿法 112 9F*],#ng 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Dq~PxcnI 6.6.6 针合成 113 K9BoIHo 6.6.6.1 针合成参数 114 a%h'utF{[ 6.6.7 差分进化 114 =z]8;<=pL 6.6.8非局部细化 115 y
8./)W&/ 6.6.8.1非局部细化参数 115 m4@f&6x 6.7 我应该使用哪种技术? 116 l:Y$A$W]> 6.7.1 细化 116 |>Xw"]b; 6.7.2 合成 117 @|2}*_3\ 6.8 参考文献 117 S dI/ 7 导纳图及其他工具 118 ,;_D~7L 7.1 简介 118 te+5@k#t 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 .W>8bg'u9 7.2.1 四分之一波长规则 119 l5jW`cl1 7.2.2 导纳图 120 /@*J\0h(- 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 r7I,%}k 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Gn
]%'lrg' 7.5 斜入射导纳图 141 !Qg%d&q.Sx 7.6 对称周期 141 >v+ia%o 7.7 参考文献 142 9t$%Tc#Z 8 典型的镀膜实例 143 -CTsB)=\, 8.1 单层抗反射薄膜 145 <?TJ- 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 <N{pMz 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Wv 8.4 W-膜层 148 Oc]&1>M 8.5 V-膜层 149 |sw&sfH[FD 8.6 V-膜层高折射基底 150 D4"](RXH 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ;,z^!bD 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 IXSCYqoK 8.9 四层抗反射薄膜 153 '(/ZJ88JP 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 =](c7HEQf 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 n},~2 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 =f)S=0U F 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 YLlw:jN 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ,{C(<1 8.15十五层宽带抗反射膜 159 aBM'ROQ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 i*9[El 8.17 1/4波长堆栈 162 x*#F|N4~', 8.18 陷波滤波器 163 ^"w.v' sL 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 HY]vaA` 8.20 褶皱 165 Qa,^;hZWS 8.21 消偏振分光器1 169 Bx&.Tj 8.22 消偏振分光器2 171 tPS.r.0#^ 8.23 消偏振立体分光器 172 TsPO+x$l 8.24 消偏振截止滤光片 173 ;3n0 bKDY 8.25 立体偏振分束器1 174 {-rK:*yP'u 8.26 立方偏振分束器2 177 qj71
rj 8.27 相位延迟器 178 I(8,D[G.m 8.28 红外截止器 179 HrA6wn\O 8.29 21层长波带通滤波器 180 ou44vKzS 8.30 49层长波带通滤波器 181 ?lxI&
h 8.31 55层短波带通滤波器 182 auP:r 8.32 47 红外截止器 183 ~6'6v8 8.33 宽带通滤波器 184 F}Bc +i#] 8.34 诱导透射滤波器 186 qYFol#=% 8.35 诱导透射滤波器2 188 5eC5oX> 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 DA
oOs}D 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 VI%879Z\e 8.35 增益平坦滤波器 193 sBIqee'T 8.38 啁啾反射镜 1 196 ?6
8.39 啁啾反射镜2 198 ^zGgvFf> 8.40 啁啾反射镜3 199 g 1\4Jb 8.41 带保护层的铝膜层 200 -[#Mx}% 8.42 增加铝反射率膜 201 Jkt
L|u:k 8.43 参考文献 202 yI9l*' 9 多层膜 204 *DX6m 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ,_T,B'a: 9.2 内部透过率 204 $JTy`g0>x 9.3 内部透射率数据 205 p5C
sw5 9.4 实例 206 1fL@rR 9.5 实例2 210 uNnwz%w 9.6 圆锥和带宽计算 212 qH6DZ| 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 -8tWc]c
|4 10 光学薄膜的颜色 216 rsfA.o 10.1 导言 216 5;V#Z@S 10.2 色彩 216 IxCEE5+`% 10.3 主波长和纯度 220 Cc]s94 10.4 色相和纯度 221 d@"eWvnlZ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 *&e+z-E 10.6 色差 226 Bh*~I_T a> 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 1l\O9D +$ 10.8 颜色渲染指数 234 Dt1{]~30 10.9 色差计算 235 qPE(Lt1 10.10 参考文献 236 @D"#B@j 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 X>%2\S 11.1 短脉冲 238 ; Z61|@Y 11.2 群速度 239 \9se~tAl3 11.3 群速度色散 241 }#<Sq57n 11.4 啁啾(chirped) 245 w}NgFrL 11.5 光学薄膜—相变 245 T|ZZkNP|6 11.6 群延迟和延迟色散 246 1y0.tdI( 11.7 色度色散 246 .1I];Cy0D 11.8 色散补偿 249 ~uC4>+dk 11.9 空间光线偏移 256 +@%9pbM"z 11.10 参考文献 258
qR]4m]o 12 公差与误差 260 8<!qT1 12.1 蒙特卡罗模型 260 ![abDT5![ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 J~gfMp. 12.2.1 误差工具 267 (^a;2j9 12.2.2 灵敏度工具 271 w,3`Xq@ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 (P`{0^O"} 12.2.2.2 灵敏度分布 275 e,~c~Db*
Q 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 y13=y}dyDH 12.3 参考文献 276 m3_e]v3{o 13 Runsheet 与Simulator 277 W]2;5`MM 13.1 原理介绍 277 B"KsYB79t 13.2 截止滤光片设计 277 (m04Z2# 14 光学常数提取 289 K/\#FJno 14.1 介绍 289 (=
!_5l 14.2 电介质薄膜 289 ?783LBe 14.3 n 和k 的提取工具 295 zo} SS[ 14.4 基底的参数提取 302 [b#jw,7 14.5 金属的参数提取 306 &@+K%qW[e 14.6 不正确的模型 306 AF3t#)q 14.7 参考文献 311 +o'. !sRH 15 反演工程 313 x;Gyo 15.1 随机性和系统性 313 K7f-g]Ibdn 15.2 常见的系统性问题 314 )7j"OE 15.3 单层膜 314 BLaXp0 15.4 多层膜 314 )&dhE^
O 15.5 含义 319 G~B
V^ 15.6 反演工程实例 319 &/JnAfmYqt 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ['R=@. 15.6.2 反演工程提取折射率 327 J1R%w{ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 lC_zSmT 16.1 光学性质的热致偏移 329 KG3*~G 16.2 应力工具 335 JyB>,t) 16.3 均匀性误差 339 lZ)u4_ 16.3.1 圆锥工具 339 |%RFXkHS 16.3.2 波前问题 341 ~-:CN(U 16.4 参考文献 343 *|E@81s# 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 0a'@J~v! 17.1 引言 345 :X4\4B*~ 17.2 操作数 345 }SN'*w@E 18 如何在Function中编写脚本 351 'h=
>ej* 18.1 简介 351 8V|-BP5^ 18.2 什么是脚本? 351 ycE<7W 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 +z[!]^H]4 18.4 基础 352 ]@8=e'V 18.4.1 Classes(类别) 352 6op\g].P 18.4.2 对象 352 $`=?Nb@@# 18.4.3 信息(Messages) 352 &9ZIf#R 18.4.4 属性 352 X4k/7EA 18.4.5 方法 353 F`-[h)e. 18.4.6 变量声明 353 h{JVq72R 18.5 创建对象 354 l:|Fs=\ 18.5.1 创建对象函数 355 ):|)/ZiC' 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 y]CJOC)/K 18.5.3 丢弃对象 356 (w^&NU'e 18.5.4 总结 356
g8x8u| 18.6 脚本中的表格 357 hy]AH)?pR 18.6.1 方法1 357 _x'StD 18.6.2 方法2 357 )xK!i. 18.7 2D Plots in Scripts 358 n=>Gu9` 18.8 3D Plots in Scripts 359 eS.]@E-T 18.9 注释 360 mY
AFruN 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 6h,'#|:d 18.11 一个更高级的脚本 362 3PEs$m9e 18.12 <esc>键 364 6,h<0j{ 18.13 包含文件 365 iB,*X[}EqG 18.14 脚本被优化调用 366 B~ez>/H^ 18.15 脚本中的对话框 368 .F6#s 18.15.1 介绍 368 b;O+QRa 18.15.2 消息框-MsgBox 368 v6n(<0: 18.15.3 输入框函数 370 X@G`AD'.M 18.15.4 自定义对话框 371 @t^2/H
?O 18.15.5 对话框编辑器 371 s6]f#s5o 18.15.6 控制对话框 377 G`P+J 18.15.7 更高级的对话框 380 Uy_=#&jg 18.16 Types语句 384 Wm,,OioK 18.17 打开文件 385 >@%!r 18.18 Bags 387 C,]Ec2 18.13 进一步研究 388 :ox CF0Y 19 vStack 389 M@K[i*e 19.1 vStack基本原理 389 NAU<?q<) 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 K%k,- 19.3 五棱镜 393 dkLR
Q
19.4 光束距离 396 o&O!Ur 19.5 误差 399 QezK&iJg 19.6 二向分色棱镜 399 CMr`n8M 19.7 偏振泄漏 404 ;uDFd04w
[ 19.8 波前误差—相位 405 <>Im$N ai 19.9 其它计算参数 405 'YeJGzsJp 20 报表生成器 406 q ^gEA5 20.1 入门 406 5eLPn 20.2 指令(Instructions) 406 ~h/U ;Da 20.3 页面布局指令 406 4jW{IGW 20.4 常见的参数图和三维图 407 3IkG*enI 20.5 表格中的常见参数 408 L }mhMxOTi 20.6 迭代指令 408 40E[cGz$* 20.7 报表模版 408 E$wB bm 20.8 开始设计一个报表模版 409 ?xet:#R' 21 一个新的project 413 >xjy
P!bca 21.1 创建一个新Job 414 lrzW H0Q 21.2 默认设计 415 qSd
$$L^ 21.3 薄膜设计 416 iI1t
P 21.4 误差的灵敏度计算 420 24Fxx9g 21.5 显色指数计算 422 m+=!Z|K 21.6 电场分布 424 D4|_?O3|m 后记 426 qrkT7f 感兴趣可以扫码加微联系 Xy{+=UY
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