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zsA6(?)u 内容简介 /3:R{9S% Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 PCnE-$QH 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 =]E(iR_& 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 pI7\]e YIb5jK` 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 1C+Y|p?KA 目录 !> b>"\b Preface 1 @B5@3zYs 内容简介 2 Cl[ '6Lk 目录 i O_0|Q@ 1 引言 1 4q[C'
J 2 光学薄膜基础 2 >
C{^{?~u 2.1 一般规则 2 *MW)APw= 2.2 正交入射规则 3 R'qB-v. 2.3 斜入射规则 6 qc~6F'?R 2.4 精确计算 7 q,VJpqQ 2.5 相干性 8 n[n0iz1- 2.6 参考文献 10 _1hc^j 3 Essential Macleod的快速预览 10 *c7kB}/ 4 Essential Macleod的特点 32 3 8pw 4.1 容量和局限性 33 v 2k/tT$t 4.2 程序在哪里? 33 jVL<7@_* 4.3 数据文件 35 (7`goi7M 4.4 设计规则 35 LgRx\*[C* 4.5 材料数据库和资料库 37 x,IU]YW@ 4.5.1材料损失 38 "5Oog< 4.5.1材料数据库和导入材料 39 QR2J;Oj_ 4.5.2 材料库 41 yw"FI!M 4.5.3导出材料数据 43 }Xyu"P 4.6 常用单位 43 qqT6C%Q`kG 4.7 插值和外推法 46 Ttn=VX{
\ 4.8 材料数据的平滑 50 ]0by6hQ 4.9 更多光学常数模型 54 $5yS`IqS 4.10 文档的一般编辑规则 55 !vfjo[v
4.11 撤销和重做 56 mA(K`"Bfh 4.12 设计文档 57 (FbqKx'uq 4.10.1 公式 58 o4o&} 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 E}c(4RY 4.10.3 沉积密度 59 ]
M"{=z 4.10.4 平行和楔形介质 60 IGEf*! 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 gC;y>YGP 4.10.4 性能 61 [0yKd?e 4.10.5 保存设计和性能 64 qWKpnofa 4.10.6 默认设计 64 D^=_408\ 4.11 图表 64 ldrKk'S,B 4.11.1 合并曲线图 67 T=:O(R1*0 4.11.2 自适应绘制 68 ~Lhq7;=H?O 4.11.3 动态绘图 68 QOlm#S 4.11.4 3D绘图 69 }+#-\a2 4.12 导入和导出 73 -LzHCO/7( 4.12.1 剪贴板 73 upQ:C>S 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 R3d>|`) + 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 i]Lt8DiRq 4.13 背景 77 <oI{:KH 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 LVq3R 8A 4.15 生成Rugate 84 7_.z3Km: 4.16 参考文献 91 8;P8CKe
5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 dI5Z*"`R9 5.1 Jobs 92 6b9D db* 5.2 创建一个新Job(工作) 93 $@FD01h.t3 5.3 输入材料 94 gTY\B. 5.4 设计数据文件夹 95 Kw3fpNd 5.5 默认设计 95 .S`Ue,H 6 细化和合成 97 Zd1+ZH 6.1 优化介绍 97 OwwH 45 6.2 细化 (Refinement) 98 pB@8b$8(Z 6.3 合成 (Synthesis) 100 |0U"#xkf 6.4 目标和评价函数 101 iH#~eg 6.4.1 目标输入 102 bEV
9l 6.4.2 目标 103 {lT9gJ+ 6.4.3 特殊的评价函数 104 1Z'cL~9 6.5 层锁定和连接 104 MxuwEV|^ 6.6 细化技术 104 ME[Wg\ 6.6.1 单纯形 105 9<k<HmkD 6.6.1.1 单纯形参数 106 &9$0v" `H 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 $)mq 6.6.2.1 Optimac参数 108 Cc0`Y lx~( 6.6.3 模拟退火算法 109 /,"Z^= 6.6.3.1 模拟退火参数 109 =$}P'[V 6.6.4 共轭梯度 111 k~>9,=::d 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 F
71 6.6.5 拟牛顿法 112 {:IOTy 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 x +!<_p 6.6.6 针合成 113 jZ7/p ^c5R 6.6.6.1 针合成参数 114 AU}lKq7% 6.6.7 差分进化 114 Un]`Gd]: 6.6.8非局部细化 115 |b;}'
* 6.6.8.1非局部细化参数 115 &O#a==F!( 6.7 我应该使用哪种技术? 116 qDqIy+WR 6.7.1 细化 116 `=^29LC# 6.7.2 合成 117 -DlKFN 6.8 参考文献 117 :M`|*~V~$ 7 导纳图及其他工具 118 aj20, w 7.1 简介 118 ":"QsS#*"# 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 8d-; ;V 7.2.1 四分之一波长规则 119 J{@gp,&e 7.2.2 导纳图 120 zpZlA_
7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 -fj;9('YJ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 w^ui%9
&6H 7.5 斜入射导纳图 141 YUF!Y9! 7.6 对称周期 141 *GfGyOS( 7.7 参考文献 142 ci+Pg9sS 8 典型的镀膜实例 143 tRS^|?? 8.1 单层抗反射薄膜 145 blid* @- 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 j+*VP 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 en=Z[ZIPO 8.4 W-膜层 148 dY~3YD[ 8.5 V-膜层 149 29Kuq ;6 8.6 V-膜层高折射基底 150 Z%`}
`( 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 .!U `,)I 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 xii*"n ~ 8.9 四层抗反射薄膜 153 tW|B\p} 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ~`#.ZMO 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 j*I0]!- 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ,'Y*e[ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 W$EX6jTGI 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 z Rz#0 8.15十五层宽带抗反射膜 159 |O+R%'z'< 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 (dpBGt@ 8.17 1/4波长堆栈 162 '&?47+W 8.18 陷波滤波器 163 18}L89S> 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 }C/}8< 8.20 褶皱 165 _L_SNjA_ 8.21 消偏振分光器1 169 >7vSN<w~m 8.22 消偏振分光器2 171 SQvicZAN)` 8.23 消偏振立体分光器 172 +P~zn= 8.24 消偏振截止滤光片 173 5iG|C ~ 8.25 立体偏振分束器1 174 a+A/l 8.26 立方偏振分束器2 177 I}n"6'* 8.27 相位延迟器 178 `WWf?g 8.28 红外截止器 179 ClaYy58v 8.29 21层长波带通滤波器 180 hYi-F.Qtq 8.30 49层长波带通滤波器 181 ;NRm , 8.31 55层短波带通滤波器 182 m( B6FPjr 8.32 47 红外截止器 183 LMsbTF@E 8.33 宽带通滤波器 184 `"GD'Oa 8.34 诱导透射滤波器 186 dam.D.o" 8.35 诱导透射滤波器2 188 "
8;D^ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 n0!S;HH- 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ?Z1pPd@ 8.35 增益平坦滤波器 193 <u4GIi
<sm 8.38 啁啾反射镜 1 196 q?}G?n4 8.39 啁啾反射镜2 198
;wW6x 8.40 啁啾反射镜3 199 vk{4:^6.TV 8.41 带保护层的铝膜层 200 G?3S_3J2 8.42 增加铝反射率膜 201 tE>3.0U0Q 8.43 参考文献 202 iW*0V3 9 多层膜 204 6TfXz2D'J 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 (e F5?I 9.2 内部透过率 204 b<=K@I.= 9.3 内部透射率数据 205 g](m& O 9.4 实例 206 -z'@Mh|i6l 9.5 实例2 210 YI%S)$ 9.6 圆锥和带宽计算 212 yMo@ka=v 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 :^l*_v{ 10 光学薄膜的颜色 216 r9b`3yr= 10.1 导言 216 >!bYuVHA 10.2 色彩 216 +XY}- 10.3 主波长和纯度 220 >vP^l
{SD 10.4 色相和纯度 221 W_iP/xL 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 f oL`{fA 10.6 色差 226 U(J?Q 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 V!ajD!00 10.8 颜色渲染指数 234 7[u&% 10.9 色差计算 235 ?d_<S0j-) 10.10 参考文献 236 k]f73r 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 `bH Eu"(, 11.1 短脉冲 238 F6q}(+9i 11.2 群速度 239 c)E'',-J_2 11.3 群速度色散 241 :;7q up 11.4 啁啾(chirped) 245 8eLNKgc 11.5 光学薄膜—相变 245 c*ytUI* 11.6 群延迟和延迟色散 246 pl7!O9bo 11.7 色度色散 246 :!r_dmJ 11.8 色散补偿 249 Z/_RQ q
11.9 空间光线偏移 256 aEL6-['( 11.10 参考文献 258 JFZZ-t;* 12 公差与误差 260 c\RDa|B, 12.1 蒙特卡罗模型 260 ;OVJM
qg 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ap=M$9L' 12.2.1 误差工具 267 x$A5Ved 12.2.2 灵敏度工具 271 NB,iC
[e 12.2.2.1 独立灵敏度 271 "}ZD-O`! 12.2.2.2 灵敏度分布 275 *[ A%tj% 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 8{h:z
9]J 12.3 参考文献 276 ]huqZI 13 Runsheet 与Simulator 277 vB#3jI 13.1 原理介绍 277 vU~#6sl 13.2 截止滤光片设计 277
|EF*]qI 14 光学常数提取 289 Dj %jrtT 14.1 介绍 289 P'FI'2cN7 14.2 电介质薄膜 289 Kk#8r+, 14.3 n 和k 的提取工具 295 r5r K> 14.4 基底的参数提取 302 }rOO[,?Y 14.5 金属的参数提取 306
LqU]&AAh 14.6 不正确的模型 306 F
lbL`@4M 14.7 参考文献 311 %>pglI 15 反演工程 313 -3bl!9h^ 15.1 随机性和系统性 313 cMtkdIO 15.2 常见的系统性问题 314 /FB ' 15.3 单层膜 314 -a/5 15.4 多层膜 314 8R-?x/: 15.5 含义 319 P 7gS
M 15.6 反演工程实例 319 =Y
/ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 gLu#M:4N 15.6.2 反演工程提取折射率 327 8th G- 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 .D>%- 16.1 光学性质的热致偏移 329 t;ggc{ 16.2 应力工具 335 \{abyi; 16.3 均匀性误差 339 py@5]n% 16.3.1 圆锥工具 339 <.RgMPi 16.3.2 波前问题 341 1<ZvHv 16.4 参考文献 343 OTalR;:]r 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 gdHPi; 17.1 引言 345 =>/aM7] 17.2 操作数 345 { \r{$<s 18 如何在Function中编写脚本 351 :DQHb"( 18.1 简介 351 Q%q_ 18.2 什么是脚本? 351 ezy0m}@ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 _s<eqCBV 18.4 基础 352 QT^W00h 18.4.1 Classes(类别) 352 h6la+l?x 18.4.2 对象 352 d-39G*;1 18.4.3 信息(Messages) 352 [%z~0\lu8 18.4.4 属性 352 !</5 )B`5: 18.4.5 方法 353 *\:u}'[ 18.4.6 变量声明 353 gb8nST$r 18.5 创建对象 354 |cUlXg= 18.5.1 创建对象函数 355 rp.JYz, 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 g:O~1jq 18.5.3 丢弃对象 356 RcMW%q$dG 18.5.4 总结 356 i
wQ'=M 18.6 脚本中的表格 357 :Uj+iYE8Z8 18.6.1 方法1 357 )m
\}ITf 18.6.2 方法2 357 m3\lm@`)O 18.7 2D Plots in Scripts 358 8%>
Ls 18.8 3D Plots in Scripts 359 TV0(uMZ0+' 18.9 注释 360 lMF j"x\ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 (X QgOR# 18.11 一个更高级的脚本 362 OGrp{s 18.12 <esc>键 364 9Clddjf?c 18.13 包含文件 365 Vv0dBFe 18.14 脚本被优化调用 366 3RZP 12x 18.15 脚本中的对话框 368 fp|b@ 18.15.1 介绍 368 wQlK[F]!> 18.15.2 消息框-MsgBox 368 3[pA:Z+xx 18.15.3 输入框函数 370 )CYSU(YTD 18.15.4 自定义对话框 371 &5)Kg%r 18.15.5 对话框编辑器 371 w91{''sK 18.15.6 控制对话框 377 :|EM1-lwf 18.15.7 更高级的对话框 380 n$F&gx'^ 18.16 Types语句 384 =YE"6iU 18.17 打开文件 385 5E+l5M*( 18.18 Bags 387 ]SFB_5Gb 18.13 进一步研究 388 +8]}'6m 19 vStack 389 d_-{-@ 19.1 vStack基本原理 389 qXn%c" 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ?r"m*fY% 19.3 五棱镜 393 X0*
y8" 19.4 光束距离 396 IwiR2K 19.5 误差 399 OAEJ?ik 19.6 二向分色棱镜 399 dUk^DI,:l 19.7 偏振泄漏 404 vA10'Gx' 19.8 波前误差—相位 405 =iB0ak 19.9 其它计算参数 405 LZqx6~]O 20 报表生成器 406 ~raRIh= 20.1 入门 406 hp/}Z"A= 20.2 指令(Instructions) 406 5#p [Q _ 20.3 页面布局指令 406 =1!wep" 20.4 常见的参数图和三维图 407 WFocA: 20.5 表格中的常见参数 408 Ji\8(7
{8 20.6 迭代指令 408 \SkCsE#H 20.7 报表模版 408 ~vy_~|6s 20.8 开始设计一个报表模版 409 >j{phZ 21 一个新的project 413 n{J<7I e"* 21.1 创建一个新Job 414 j)?I]j/ 21.2 默认设计 415 UxzZr%>s 21.3 薄膜设计 416 R;,+0r^i 21.4 误差的灵敏度计算 420 6Daz1Pxd+ 21.5 显色指数计算 422 r3<yG"J86 21.6 电场分布 424 NYz{[LM 后记 426 ev7Y^
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