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]P;uQ! 内容简介 [CL.Xil= Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 {Fs}8\ z 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 V(I!HT5.W 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 j]U sb_7 sD H^l)4h 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 b#`XmB 目录 GvSSi'q~B Preface 1 hiq7e*Nsb 内容简介 2 d[E~}Dq3# 目录 i e/Wrm^]y 1 引言 1 BgRfy2: 2 光学薄膜基础 2 gqV66xmJ3 2.1 一般规则 2 JL[$B1 2.2 正交入射规则 3 I@Pp[AyG 2.3 斜入射规则 6 qB6@OS 2.4 精确计算 7 Jmrs@ 2.5 相干性 8 $0$'co" 2.6 参考文献 10 *`2.WF@E) 3 Essential Macleod的快速预览 10 BmR++ ?L 4 Essential Macleod的特点 32 w^OV;gp 4.1 容量和局限性 33 C))5,aX 4.2 程序在哪里? 33 q.0Evr: 4.3 数据文件 35 cq lA"Eof 4.4 设计规则 35 M8dv
y!D 4.5 材料数据库和资料库 37 8=QOp[w 4.5.1材料损失 38 5&?[Vt 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Z6s-n$dSm 4.5.2 材料库 41 BIGln`;,f 4.5.3导出材料数据 43 B7PkCS&X 4.6 常用单位 43 gZA[Sq 4.7 插值和外推法 46 rPhx^
QKH2 4.8 材料数据的平滑 50 p]h;M 4.9 更多光学常数模型 54 -#<6 4.10 文档的一般编辑规则 55 8T6LD 4.11 撤销和重做 56 H#H@AY3Y 4.12 设计文档 57 >QyJRMY 4.10.1 公式 58 w-iu/|} 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 5Ku=Xzvq 4.10.3 沉积密度 59 O2i7w1t 4.10.4 平行和楔形介质 60 LLy w9y1 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 U*sjv6*T 4.10.4 性能 61 _y>mmE 4.10.5 保存设计和性能 64 ] V|hDU=t 4.10.6 默认设计 64 [|iWLPO1&k 4.11 图表 64 y8*MNw 4.11.1 合并曲线图 67 J)7\k$ D 4.11.2 自适应绘制 68 D5Zgi! 4.11.3 动态绘图 68 k;5$]^x 4.11.4 3D绘图 69 #(@!:f1 4.12 导入和导出 73 "PgVvm#w' 4.12.1 剪贴板 73 9NF2a)&~ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 F/pq9 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ')R+Z/hG. 4.13 背景 77 Cws;6i*=@ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 L
hp 4.15 生成Rugate 84 uu7 ?,WT 4.16 参考文献 91 8^IV`P~2M 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 q+iG:B /Z 5.1 Jobs 92 &f=O`*I'+! 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ;x<5F+b 5.3 输入材料 94 Vz.G!*>Dg 5.4 设计数据文件夹 95 *y+N-uq 5.5 默认设计 95 TxJoN]Z. 6 细化和合成 97 oW}nr<G{< 6.1 优化介绍 97 m}UcF oaO 6.2 细化 (Refinement) 98 zH"a>+st= 6.3 合成 (Synthesis) 100 su$IXI#R-& 6.4 目标和评价函数 101 j_I[k8z 6.4.1 目标输入 102 ]& 8c
45c 6.4.2 目标 103 J.EBt3 6.4.3 特殊的评价函数 104 2[Ofa(mkkp 6.5 层锁定和连接 104 y^!>'cdV 6.6 细化技术 104 GLO%>& 6.6.1 单纯形 105 1NAGGr00 6.6.1.1 单纯形参数 106 O2pntKI 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 r'J="^k{ 6.6.2.1 Optimac参数 108 *S xDwN 6.6.3 模拟退火算法 109 v)p'0F#6A 6.6.3.1 模拟退火参数 109 2jf73$F 6.6.4 共轭梯度 111 RWg'W,v=! 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ?rm3Iac0S 6.6.5 拟牛顿法 112 Ln'y 3~@ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 zqHG2:MN" 6.6.6 针合成 113 qX[{_$^Q 6.6.6.1 针合成参数 114 -Oi8]Xw^@y 6.6.7 差分进化 114 {MRXKnm;e 6.6.8非局部细化 115 9^L{)t> 6.6.8.1非局部细化参数 115 Pz^C3h$5_
6.7 我应该使用哪种技术? 116 /!#A'#Z 6.7.1 细化 116 Ypx5:gm|J 6.7.2 合成 117
ZZ>"LH 6.8 参考文献 117 YpOcLxFL 7 导纳图及其他工具 118 4wMZNa<Sx 7.1 简介 118 <4LW.q 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 M7[GwA[Z
+ 7.2.1 四分之一波长规则 119 t$Bu<frQ 7.2.2 导纳图 120 HNRAtRvnY 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 TU6(Q,Yi| 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ZaBmH|k 7.5 斜入射导纳图 141 2tb+3K1 7.6 对称周期 141 T@Bu Fr`]< 7.7 参考文献 142 )3 I~6ar 8 典型的镀膜实例 143 1> v(&;K 8.1 单层抗反射薄膜 145 Gx7bV}&PN 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 /Rf,Rjs 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 KE4#vKV0yC 8.4 W-膜层 148 \0W0 o5c$ 8.5 V-膜层 149 1{ H=The 8.6 V-膜层高折射基底 150 \.aKxj5 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 {?;qy\m]o 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 P BVF'~f@j 8.9 四层抗反射薄膜 153 {Rdh4ZKh 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 dWx@<(`OC 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 /-knqv 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 yq?\.~ax 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 '3w%K+eJY 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 <vE|QxpR 8.15十五层宽带抗反射膜 159 4(91T 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ~,_@|,) 8.17 1/4波长堆栈 162 xHCdtloi?I 8.18 陷波滤波器 163 e^<'H 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 NQGa=kXeJ 8.20 褶皱 165 YQ@2p?4m 8.21 消偏振分光器1 169 oTRidG 8.22 消偏振分光器2 171 48Jt5Jz_ 8.23 消偏振立体分光器 172 &mW7FR'( 8.24 消偏振截止滤光片 173 r#A*{4wz 8.25 立体偏振分束器1 174 Qgf\"s 8.26 立方偏振分束器2 177 27+~!R~Yw 8.27 相位延迟器 178 f|=u{6 8.28 红外截止器 179 oiIl\#C 8.29 21层长波带通滤波器 180 *8J0yv 8.30 49层长波带通滤波器 181 NBXhcfF 8.31 55层短波带通滤波器 182 aX~Jk >a0 8.32 47 红外截止器 183 UT5xUv5' 8.33 宽带通滤波器 184 6g\hQ\+Z} 8.34 诱导透射滤波器 186 a)4%sX*I
8.35 诱导透射滤波器2 188 cV"Ov@_.k 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 =it @U/ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 GKbbwT0T| 8.35 增益平坦滤波器 193 fLpWTkr0 8.38 啁啾反射镜 1 196 h56Kmxxk 8.39 啁啾反射镜2 198 kS35X)- 8.40 啁啾反射镜3 199 s3T7M:DM4 8.41 带保护层的铝膜层 200 sq;!5qK 8.42 增加铝反射率膜 201 eIEL';N6 8.43 参考文献 202 p>O/H1US; 9 多层膜 204 o*artMkG 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 )"?eug}D 9.2 内部透过率 204 @`#x:p: 9.3 内部透射率数据 205 :
h(Z\D_ 9.4 实例 206 C(9"59>{]y 9.5 实例2 210 `dD_"Hdt 9.6 圆锥和带宽计算 212 L
}3eZ- 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 D)bL;h 10 光学薄膜的颜色 216 7x=4P|(\} 10.1 导言 216 !-N!Bt8; 10.2 色彩 216 L+VQtp&" 10.3 主波长和纯度 220 pGfGGY>i% 10.4 色相和纯度 221 dF09_nw 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ,2rfN"o 10.6 色差 226 u;]xAr1 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 :\I*_00! 10.8 颜色渲染指数 234 yf;TIh%)= 10.9 色差计算 235 $Mj\ 3 10.10 参考文献 236 ByuBZ!m 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 RJUIB 11.1 短脉冲 238 D)pTE?@W' 11.2 群速度 239 }zS5o
[OE 11.3 群速度色散 241 SB08-G2 11.4 啁啾(chirped) 245 sa&`CEa 11.5 光学薄膜—相变 245 P;@j 11.6 群延迟和延迟色散 246 Z:<an+v|5 11.7 色度色散 246 3z, Ci$[ 11.8 色散补偿 249 "OA{[)fw" 11.9 空间光线偏移 256 =-_hq'il 11.10 参考文献 258 /M::x+/T 12 公差与误差 260 vG.KSA 12.1 蒙特卡罗模型 260 n1b:Bv4"]# 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 AC'_#nPL# 12.2.1 误差工具 267 >d=pl}-kOQ 12.2.2 灵敏度工具 271
mhX66R 12.2.2.1 独立灵敏度 271 |`Noj+T47I 12.2.2.2 灵敏度分布 275 fN&uat |