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F aFp_P? 内容简介 tAqA^f*{ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Yb[n{.%/g 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 \=!H 2M 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 pI7Ssvi^ Di*]ab 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 bD35JG^&i 目录 pkX v.D` Preface 1 '>3`rsu 内容简介 2 Ly9Q}dL 目录 i k-"<{V 1 引言 1 Y4#y34We 2 光学薄膜基础 2 {A|bBg1! 2.1 一般规则 2 $$JIBf8 2.2 正交入射规则 3 vsKl#R B 2.3 斜入射规则 6 g96T*T 2.4 精确计算 7 L=,OZ9aA 2.5 相干性 8 ./l|8o 2.6 参考文献 10 7*i}km 3 Essential Macleod的快速预览 10 *z0K%@M 4 Essential Macleod的特点 32 I:#Ok+ 4.1 容量和局限性 33 {j?7d; 'j 4.2 程序在哪里? 33 -!cIesK;< 4.3 数据文件 35 p8=|5. 4.4 设计规则 35 |rMq;Rgu? 4.5 材料数据库和资料库 37 S'o ]=& 4.5.1材料损失 38 q7,^E`5EgU 4.5.1材料数据库和导入材料 39 p*|ah%F6N 4.5.2 材料库 41 d.`&0 4.5.3导出材料数据 43 sAi&A9"* 4.6 常用单位 43 cw;co@!$ 4.7 插值和外推法 46 *g1L$FBG 4.8 材料数据的平滑 50 $A`xhh[ 4.9 更多光学常数模型 54 i\Yl 4.10 文档的一般编辑规则 55 R4b-M0H 4.11 撤销和重做 56 KAed!z9 4.12 设计文档 57 FI{AZb_' 4.10.1 公式 58 cZ|lCy^ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 x=-0 zV 4.10.3 沉积密度 59 IIxJqGN: 4.10.4 平行和楔形介质 60 /7gi/uh~-( 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ?E<c[*F05 4.10.4 性能 61 R:/ha(+ 4.10.5 保存设计和性能 64 p<KIF>rf| 4.10.6 默认设计 64 R&#tSL 4.11 图表 64 nUc;/ 4.11.1 合并曲线图 67 KCUU#t|8V\ 4.11.2 自适应绘制 68 BwxnDe G) 4.11.3 动态绘图 68 3OP.12^ 4.11.4 3D绘图 69 \jyjQ,v) 4.12 导入和导出 73 QU/fT_ORw 4.12.1 剪贴板 73 O8lFx_N7Q 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ,
T\- ;7 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 DyfsTx 4.13 背景 77 =g~W%}) 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 :)IV!_>'d 4.15 生成Rugate 84 l~J*' m2 4.16 参考文献 91 \9)#l#m 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Qz+sT6js- 5.1 Jobs 92 &[_ZXVva~ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 dl0FQNz8@B 5.3 输入材料 94 J02^i5l 5.4 设计数据文件夹 95 ^Kqf~yS% 5.5 默认设计 95 ]^K;goQv 6 细化和合成 97 B
+Aj*\Y. 6.1 优化介绍 97 #`ls)-`7 6.2 细化 (Refinement) 98 z/ 7$NxJH 6.3 合成 (Synthesis) 100 -(#-I$z 6.4 目标和评价函数 101 r_U>VT^E: 6.4.1 目标输入 102 6~8F!b2 6.4.2 目标 103 cin2>3Z$ 6.4.3 特殊的评价函数 104 CzVmNy)kl 6.5 层锁定和连接 104 -M4p\6)Ge 6.6 细化技术 104 +E5=$` 6.6.1 单纯形 105 ;..o7I 6.6.1.1 单纯形参数 106 pQWHG#?7 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 por/^=e{Y 6.6.2.1 Optimac参数 108 cozXb$bBY 6.6.3 模拟退火算法 109 v`DI<Lt 6.6.3.1 模拟退火参数 109 gR Nv-^ 6.6.4 共轭梯度 111 ~R]35Cp-# 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 =X(%Svnp 6.6.5 拟牛顿法 112 Z4hLdHo_ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 UE :HMn6 6.6.6 针合成 113 \9:wfLF8! 6.6.6.1 针合成参数 114 OP! R[27> 6.6.7 差分进化 114 -rSIBc:$8 6.6.8非局部细化 115 $_D6_|HK 6.6.8.1非局部细化参数 115 1;lmu]I>) 6.7 我应该使用哪种技术? 116 kV&9`c+ 6.7.1 细化 116 s B
20/F 6.7.2 合成 117 ;inzyFbL= 6.8 参考文献 117 +dW|^I{H} 7 导纳图及其他工具 118 6bO~/mpWT~ 7.1 简介 118 H !)=y 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 9$1)k;ChP/ 7.2.1 四分之一波长规则 119 \9{F5Sz 7.2.2 导纳图 120 Bh]!WMAw. 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 A??@AP[7M 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ~i~%~doa 7.5 斜入射导纳图 141 w?y6nTg< 7.6 对称周期 141 uQqWew8l+ 7.7 参考文献 142 _.V?A* 8 典型的镀膜实例 143 c EnkU] 8.1 单层抗反射薄膜 145 [xZU!= 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 kkCZNQ~I 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 x/fX`y|(}* 8.4 W-膜层 148 +T{'V^ 8.5 V-膜层 149 )2e#HBnH 8.6 V-膜层高折射基底 150 Ao9R:|9 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 If-_?wZe 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 <skajQQ 8.9 四层抗反射薄膜 153 l$xxrb9P! 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ,*svtw:2') 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 G"SBYU 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Wp0
Dq( 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 =8{WZCW5 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 OE`X<h4r 8.15十五层宽带抗反射膜 159 /+]s.V. 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 jXg 8.17 1/4波长堆栈 162 \nqkA{;B{ 8.18 陷波滤波器 163 w.{&=WTr 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ]T:;Vo
8.20 褶皱 165 B%s7bS 8.21 消偏振分光器1 169 BU Z
_) 8.22 消偏振分光器2 171 ,m3e?j@;r 8.23 消偏振立体分光器 172 9xI GV! 8.24 消偏振截止滤光片 173 IM@tN L 8.25 立体偏振分束器1 174 uQ1@b-e`5 8.26 立方偏振分束器2 177 &53]sFZ
8.27 相位延迟器 178 <O<LYN+( 8.28 红外截止器 179 =+:{P?*} 8.29 21层长波带通滤波器 180 <UP
m=Hb 8.30 49层长波带通滤波器 181 o{qr!*_3 8.31 55层短波带通滤波器 182 Uz7oL8 8.32 47 红外截止器 183 hZXXBp 8.33 宽带通滤波器 184 =T?}Nt 8.34 诱导透射滤波器 186 YY((#"o;l 8.35 诱导透射滤波器2 188 \Q?ip&R 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 {7hLsK[]) 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 y9H%
Xl 8.35 增益平坦滤波器 193 Uu
s. 8.38 啁啾反射镜 1 196 ^2D1`,|N 8.39 啁啾反射镜2 198 c_grPk2O4 8.40 啁啾反射镜3 199 >et-{(G 8.41 带保护层的铝膜层 200 uA tV". 8.42 增加铝反射率膜 201 p9!"O 8.43 参考文献 202 5|0,X<& 9 多层膜 204 yOU(2"8p 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 7cP@jj 9.2 内部透过率 204 r|Z3$J{^" 9.3 内部透射率数据 205 ^nJyo:DO; 9.4 实例 206 :$;Fhf<5 9.5 实例2 210 |y;}zQB-dH 9.6 圆锥和带宽计算 212 >eQr<-8 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 $,=6[T!z+e 10 光学薄膜的颜色 216 ia&AW 10.1 导言 216 @}p2aV59 10.2 色彩 216 t.8 GT&p 10.3 主波长和纯度 220 RcG0 8p.) 10.4 色相和纯度 221 'VyM{:8 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 vy2Q g
10.6 色差 226 >zsid: 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 NL=|z=q 10.8 颜色渲染指数 234 H`bSYjgM! 10.9 色差计算 235 W:,4 :|3 10.10 参考文献 236 ;7]u!Q 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 TNCgaTJ{h 11.1 短脉冲 238 =!O*/6rz 11.2 群速度 239 Q)m4_+,d 11.3 群速度色散 241 O<PO^pi 11.4 啁啾(chirped) 245 ]w T 7*( Y 11.5 光学薄膜—相变 245 Ac2(O6 11.6 群延迟和延迟色散 246 N7'OPTKt& 11.7 色度色散 246 M#"524Nz 11.8 色散补偿 249 AqKz$ 11.9 空间光线偏移 256 Wt)Drv{@ { 11.10 参考文献 258 'j^xbikr 12 公差与误差 260 +;$oJJ 12.1 蒙特卡罗模型 260 W>r#RXmh 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 n55Pv3}C 12.2.1 误差工具 267 m }a|FS 12.2.2 灵敏度工具 271 7{e{9QbJ4 12.2.2.1 独立灵敏度 271 =9oPowq 12.2.2.2 灵敏度分布 275 4c
oJRqf= 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 3czeTj 12.3 参考文献 276 9TF f8'?d 13 Runsheet 与Simulator 277 Qy<[7 13.1 原理介绍 277 /,!qFt 13.2 截止滤光片设计 277 t*@2OW`! 14 光学常数提取 289 ~$'\L 14.1 介绍 289 Q9I
j\HbA" 14.2 电介质薄膜 289 3iw{SEY 14.3 n 和k 的提取工具 295 }kw/W#)J 14.4 基底的参数提取 302 A+y 14.5 金属的参数提取 306 tz#gClo 14.6 不正确的模型 306 h\plQ[T 14.7 参考文献 311 !d<"nx[2` 15 反演工程 313 7.DtdyM 15.1 随机性和系统性 313 ?)bS['^1) 15.2 常见的系统性问题 314 W_m"ySQs 15.3 单层膜 314 T\Uek-( 15.4 多层膜 314 iA8U Yd3Q 15.5 含义 319 &]
\X]p 15.6 反演工程实例 319 iX0iRC6f 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 [V4 {c@ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 : ^ 8 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 jp $Z] 16.1 光学性质的热致偏移 329 jTLSdul+ 16.2 应力工具 335 *Z m^
~Vo 16.3 均匀性误差 339 }FzqW*4~ 16.3.1 圆锥工具 339 YF+n
b.0. 16.3.2 波前问题 341 aM7uBx\8 5 16.4 参考文献 343 S1D@vnZ3O\ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ZeG_en ; 17.1 引言 345 rr#K"SP 17.2 操作数 345 hFiIW77s2 18 如何在Function中编写脚本 351 *3T|M@Y 18.1 简介 351 Lm@vXgMD 18.2 什么是脚本? 351 )'*5R <# 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 hJzxbr
< 18.4 基础 352 LH:i| I 18.4.1 Classes(类别) 352 >~K
qg~ 18.4.2 对象 352 oI^4pwn h 18.4.3 信息(Messages) 352 Oy 2+b1{ 18.4.4 属性 352 tzy'G"P| 18.4.5 方法 353 %,hV[[ @. 18.4.6 变量声明 353 54rkC/B> 18.5 创建对象 354 wvrrMGU)a 18.5.1 创建对象函数 355
9CCkqB/ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ~rjTF! 18.5.3 丢弃对象 356 z,{<Nm7&F 18.5.4 总结 356 ~G27;Npy 18.6 脚本中的表格 357 >DPB!XA3 18.6.1 方法1 357 K\vSB~{[ 18.6.2 方法2 357 0%)i<a!_Z 18.7 2D Plots in Scripts 358 ,;M4jc{ 18.8 3D Plots in Scripts 359 xQw7 :18wQ 18.9 注释 360 O@?kT;B 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 q5>v'ZSo 18.11 一个更高级的脚本 362 z5W@`=D 18.12 <esc>键 364 PQ@L+],C 18.13 包含文件 365 31EyDU,W 18.14 脚本被优化调用 366 4(-bx.V 18.15 脚本中的对话框 368 c{[q>@y
pK 18.15.1 介绍 368 \^#~@9 18.15.2 消息框-MsgBox 368 F4Y@
B 18.15.3 输入框函数 370 (%O@r!{ 18.15.4 自定义对话框 371 JsO
*1{6g 18.15.5 对话框编辑器 371 Q:ezifQ 18.15.6 控制对话框 377 P;pl,~ 18.15.7 更高级的对话框 380 3=W!4 18.16 Types语句 384 IF]lHB 18.17 打开文件 385 yjJ5P`j] 18.18 Bags 387 g#]wLm# 18.13 进一步研究 388 rpw.]vnn 19 vStack 389 @-OnHE 19.1 vStack基本原理 389 QMEcQV> 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 J<Pw+6B~ 19.3 五棱镜 393 $<ld3[l i 19.4 光束距离 396 s&GJW@
| 19.5 误差 399 ]tY
^0a 19.6 二向分色棱镜 399 *!^<m0 19.7 偏振泄漏 404 D/h/Y) Y 19.8 波前误差—相位 405 Qv-@Zt!8 19.9 其它计算参数 405 :UJ a&$) 20 报表生成器 406 uIU5.\"s 20.1 入门 406 jF[ 1za 20.2 指令(Instructions) 406 %p
X6QRt? 20.3 页面布局指令 406 |a{Q0: 20.4 常见的参数图和三维图 407 5s?Hxn 20.5 表格中的常见参数 408 :a:l
j 20.6 迭代指令 408 r\;ut4wy 20.7 报表模版 408 @AYRiOodi 20.8 开始设计一个报表模版 409 :$+-3_oLMQ 21 一个新的project 413 hR5_+cuIp 21.1 创建一个新Job 414 7)%+=@ 21.2 默认设计 415 ^*\XgX 21.3 薄膜设计 416 -|rLs$V1r 21.4 误差的灵敏度计算 420 .G o{1[ 21.5 显色指数计算 422 TY(bPq 21.6 电场分布 424 wb Iq&>p 后记 426 r <
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