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Mg#yl\v 内容简介 o^XDG^35` Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 2n)?)w]!M 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 fIl;qGz85 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 GLgf%A`5/_ \yl|*h3 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 8N%nG(
0 目录 >`r3@|UY Preface 1 +D@5zq:5 内容简介 2 [Ur\^wS 目录 i ,jOJ\WXP 1 引言 1 'IG@JL' 2 光学薄膜基础 2 0z'GN#mT5 2.1 一般规则 2 ]}dQ~lOE 2.2 正交入射规则 3 XeX"IhgS>E 2.3 斜入射规则 6 t;BUZE_!0c 2.4 精确计算 7 Q_U.J0 2.5 相干性 8 2 /FQ;<L 2.6 参考文献 10 jMgXIK\ 3 Essential Macleod的快速预览 10 Hs*["zFc 4 Essential Macleod的特点 32 ,Cb3R|L8 4.1 容量和局限性 33 Keozn*fzI 4.2 程序在哪里? 33 ; h\T7pwwb 4.3 数据文件 35 @(Y!$><Is 4.4 设计规则 35 1>"-!ADm 4.5 材料数据库和资料库 37 <%HRs>4 4.5.1材料损失 38 &E_a0*)e 4.5.1材料数据库和导入材料 39 )V\@N*L`ik 4.5.2 材料库 41 7
!$[XD 4.5.3导出材料数据 43 h:nybLw? 4.6 常用单位 43 7~ PL8 4.7 插值和外推法 46 OvtE)ul@ 4.8 材料数据的平滑 50 sU"%,Q5 4.9 更多光学常数模型 54 H/c
(m|KK 4.10 文档的一般编辑规则 55 Zz0e4C 4.11 撤销和重做 56 xSm;~')g 4.12 设计文档 57 $iu[-my_ 4.10.1 公式 58 8.i4QaU 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 D7;9D*o\ 4.10.3 沉积密度 59 m[^lu1\wn 4.10.4 平行和楔形介质 60 } o%^
Mu B 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Snx!^4+MF 4.10.4 性能 61 dE7S[O 4.10.5 保存设计和性能 64 [ QiG0D_'= 4.10.6 默认设计 64 rZ~w_DK* 4.11 图表 64 2yZr!Rb~* 4.11.1 合并曲线图 67 E5w;75, 4.11.2 自适应绘制 68 iQ;p59wSzL 4.11.3 动态绘图 68 )S
caT1I 4.11.4 3D绘图 69 <h/%jM>9/ 4.12 导入和导出 73 1u
9hA~rj 4.12.1 剪贴板 73 ?13qDD: 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 V)j[`,M: 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 =V[uXm 4.13 背景 77 FJ:^pROpm 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 x4oWZEd 4.15 生成Rugate 84 l3>S{ 4.16 参考文献 91 JZ:@iI5>+ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 >]\I:T 5.1 Jobs 92 ieFl4hh[G 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ]:P7}Kpb 5.3 输入材料 94 _)M,p@!?=h 5.4 设计数据文件夹 95 =dmr,WE 5.5 默认设计 95 c$O8Rhx 6 细化和合成 97 :?>7Z6 6.1 优化介绍 97 [_,as 6.2 细化 (Refinement) 98 LQ jbEYp 6.3 合成 (Synthesis) 100 M|WBJ'#x0 6.4 目标和评价函数 101 3v/B*M VI 6.4.1 目标输入 102 \^x{NV@v42 6.4.2 目标 103 Zw.8B0W 6.4.3 特殊的评价函数 104 hH %> 6.5 层锁定和连接 104 m`/Nl< 6.6 细化技术 104 .Pb-{!$Ni 6.6.1 单纯形 105 ?sf<cFF 6.6.1.1 单纯形参数 106 KdkA@>L!; 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 9)Fx;GxL 6.6.2.1 Optimac参数 108 CMa6':~ 6.6.3 模拟退火算法 109 2 !s&|lI 6.6.3.1 模拟退火参数 109 CXa[%{[n 6.6.4 共轭梯度 111 M/zO|-j& 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Zf'*pp T&q 6.6.5 拟牛顿法 112 IH]9%d) 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 *'%V}R[> 6.6.6 针合成 113 %FO{:@CH 6.6.6.1 针合成参数 114 (l{vlFWd 6.6.7 差分进化 114 TNX9Z)=>g 6.6.8非局部细化 115 b)LT[>f 6.6.8.1非局部细化参数 115 !"rPSGK* 6.7 我应该使用哪种技术? 116 # B `?}a= 6.7.1 细化 116 =!q%
1 mP 6.7.2 合成 117 w!.@64- 6.8 参考文献 117 al2t\Iq90 7 导纳图及其他工具 118 bSB%hFp=Cp 7.1 简介 118 KZm&sk=QM- 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 }E'0vf/ 7.2.1 四分之一波长规则 119 fab'\|Y 7.2.2 导纳图 120 =BJe)!b 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 O$Rz/& 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
g^ AQBF 7.5 斜入射导纳图 141 ,YYEn^:> 7.6 对称周期 141 GG}% 7.7 参考文献 142 $l7^-SK`E 8 典型的镀膜实例 143 k3~9;Z 8.1 单层抗反射薄膜 145 2hh8G5IaQ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Y'v[2s 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 z _!ut 8.4 W-膜层 148 ARk(\,h 8.5 V-膜层 149 i+_LKHQN 8.6 V-膜层高折射基底 150 g3R(,IH 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Ve,g9 I 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 /jbAf ]"F; 8.9 四层抗反射薄膜 153 5KCB^`|b>t 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Q;h.}N8W 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ;nY#/%f 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Sj9fq* 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 aeqz~z2~8s 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 "M I';6 8.15十五层宽带抗反射膜 159 S,Y|;p<+^ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 55[ 4)* 8.17 1/4波长堆栈 162 $TQhr#C] 8.18 陷波滤波器 163 0-.
d{P 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 1W^hPY 8.20 褶皱 165 B9v>="F 8.21 消偏振分光器1 169 dC11kqqj 8.22 消偏振分光器2 171 u-_r2U 8.23 消偏振立体分光器 172 s#2t\}/ 8.24 消偏振截止滤光片 173 fgLjF,Y 8.25 立体偏振分束器1 174 )>volP 8.26 立方偏振分束器2 177 ,:_c-d# 8.27 相位延迟器 178 OM*_%UF 8.28 红外截止器 179 #c"eff 8.29 21层长波带通滤波器 180 mH*ldf;J;= 8.30 49层长波带通滤波器 181 FpoHm%+ 8.31 55层短波带通滤波器 182 %!aU{E|@_ 8.32 47 红外截止器 183 .sMs_ 5D 8.33 宽带通滤波器 184 Z\&f"z?L 8.34 诱导透射滤波器 186 >)><u4} 8.35 诱导透射滤波器2 188 sI ,!+ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 dcz?5O_{, 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 SI (f&T( 8.35 增益平坦滤波器 193 &2'-v@kK 8.38 啁啾反射镜 1 196 7Ai?}%b- 8.39 啁啾反射镜2 198 e#Tv5O 8.40 啁啾反射镜3 199 .*O*@)}Ud 8.41 带保护层的铝膜层 200 @d75X Y Ku 8.42 增加铝反射率膜 201 ;>6< u.N 8.43 参考文献 202 N Ob`)qb 9 多层膜 204 J<)qw 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 _Q V=3UWP 9.2 内部透过率 204 +WX/4_STV 9.3 内部透射率数据 205 "c^! LV 9.4 实例 206 N0`9/lr| 9.5 实例2 210 J-W9B amx 9.6 圆锥和带宽计算 212 1.hWgW DP 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 #-{<d%qk 10 光学薄膜的颜色 216 xtV+Le% 10.1 导言 216 FX:`7c]:9 10.2 色彩 216 w.qtSW6M+ 10.3 主波长和纯度 220 Y&|Z*s+
+} 10.4 色相和纯度 221 i'tMpS3 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 k"wQ9=HP7 10.6 色差 226 $vn6%M[ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 pR0[qsQM 10.8 颜色渲染指数 234 w5FIHYl6B 10.9 色差计算 235 K<JzIuf& 10.10 参考文献 236 4GYi' 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 |vI*S5kn6A 11.1 短脉冲 238 ]a3$hAcj6" 11.2 群速度 239 qwTz7r 11.3 群速度色散 241 @"w4R6l+* 11.4 啁啾(chirped) 245 JWVV?~1 11.5 光学薄膜—相变 245 ep>!jMhJa 11.6 群延迟和延迟色散 246 >.:+|Br` 11.7 色度色散 246 MK<
y$B{} 11.8 色散补偿 249 E)b$;' 11.9 空间光线偏移 256 So%X(,
| 11.10 参考文献 258 u?').c4 12 公差与误差 260 =H95?\}T[ 12.1 蒙特卡罗模型 260 =lacfPS 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 [4KQcmJc# 12.2.1 误差工具 267 u6iW1,# 12.2.2 灵敏度工具 271 bG;fwgAr 12.2.2.1 独立灵敏度 271 @T1G#[C~t 12.2.2.2 灵敏度分布 275 kG^76dAQL 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 q^X7x_ 12.3 参考文献 276 Y,]Lk<Hm3 13 Runsheet 与Simulator 277 a@}.96lStD 13.1 原理介绍 277 ew;;e|24 13.2 截止滤光片设计 277 xC76jE4 14 光学常数提取 289 r&=ulg 14.1 介绍 289 g)Z8WH$;H3 14.2 电介质薄膜 289 2=cx`"a$ 14.3 n 和k 的提取工具 295 y<`5 14.4 基底的参数提取 302 j?T'N:Qd 14.5 金属的参数提取 306 PgtLyzc 14.6 不正确的模型 306 srS!X$cec 14.7 参考文献 311 t~2oEwTm 15 反演工程 313 uHbg&eW 15.1 随机性和系统性 313 J"gMm@#C4 15.2 常见的系统性问题 314 &61U1"&$ R 15.3 单层膜 314 Upz)iOqLi 15.4 多层膜 314 bWyimr&B 15.5 含义 319 "O$bq::(]e 15.6 反演工程实例 319 [8ZDMe 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 q ` S
~w 15.6.2 反演工程提取折射率 327 hY}Q|-| 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 J,$xQ?,wE 16.1 光学性质的热致偏移 329 +.cpZqWn3 16.2 应力工具 335 :8S;34Y; 16.3 均匀性误差 339 :>-zT[Lcn 16.3.1 圆锥工具 339 \p!UY3' 16.3.2 波前问题 341 vNi;)"&* 16.4 参考文献 343 1$cl "d`~ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 >Eh U{@Y 17.1 引言 345 j26i+Z 17.2 操作数 345 rrIyZ@_d9 18 如何在Function中编写脚本 351 Q0A4} 18.1 简介 351 Y7GsL7I 18.2 什么是脚本? 351 txEN7! 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 <ZT
C^=3 18.4 基础 352 ?mMM{{%(. 18.4.1 Classes(类别) 352 lpi"@3 18.4.2 对象 352 Y S3~sA 18.4.3 信息(Messages) 352 :.PA(97xb 18.4.4 属性 352 v^A+LZ*d
18.4.5 方法 353 s|IBX0^@ 18.4.6 变量声明 353 WcmX"{ 18.5 创建对象 354 /gAT@Vx 18.5.1 创建对象函数 355 le*+(aw
18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 8Qi)E1n 18.5.3 丢弃对象 356 D:`Q\za 18.5.4 总结 356 e'b*_Ps' 18.6 脚本中的表格 357 X5owAc6 18.6.1 方法1 357 &C'^YF_^0 18.6.2 方法2 357 1dvP2E 18.7 2D Plots in Scripts 358 mG)5xD 18.8 3D Plots in Scripts 359 .!q_jl%U 18.9 注释 360 "DN,1Q
lCp 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 stiF`l 18.11 一个更高级的脚本 362 d&3"?2IQ 18.12 <esc>键 364 y&(#C:N 18.13 包含文件 365 #7;?Ls 18.14 脚本被优化调用 366 c0wLc,)G 18.15 脚本中的对话框 368 [%k8l~ 6 18.15.1 介绍 368 *+v*VH 18.15.2 消息框-MsgBox 368 izSX 18.15.3 输入框函数 370 T]wC?gQG 18.15.4 自定义对话框 371 -!!]1\S*Y 18.15.5 对话框编辑器 371 yPE3Awh5 18.15.6 控制对话框 377 ~q`f@I 18.15.7 更高级的对话框 380 ^cZ< .d2 18.16 Types语句 384 HMVP71 18.17 打开文件 385 ,X!) z Amm 18.18 Bags 387 cs6oD!h 18.13 进一步研究 388 20I`F>-* 19 vStack 389 zS:2?VXxq 19.1 vStack基本原理 389 ?|,:;^2l1 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 a&{Y~Og?% 19.3 五棱镜 393 1;[KBYUH 19.4 光束距离 396 b |:Y3_> 19.5 误差 399 (uX?XX^ 19.6 二向分色棱镜 399 VL)<u"d4 19.7 偏振泄漏 404 U/'l "N[ 19.8 波前误差—相位 405 ]RAh['u| 19.9 其它计算参数 405 `M~R4lr 20 报表生成器 406 g$]WKy(D 20.1 入门 406 s(py7{ ^K 20.2 指令(Instructions) 406 )bM,>x 20.3 页面布局指令 406 N]FRL\K 20.4 常见的参数图和三维图 407 Muwlehuq 20.5 表格中的常见参数 408 4T3Z9KD!8 20.6 迭代指令 408 t
U}6^yc 20.7 报表模版 408 ECt<\h7} 20.8 开始设计一个报表模版 409 {m!5IR 21 一个新的project 413 D\M"bf>q1 21.1 创建一个新Job 414 5Pf=Uj6D 21.2 默认设计 415 ypEMx'p 21.3 薄膜设计 416 .xqi7vVHZ 21.4 误差的灵敏度计算 420 j7)mC4o:% 21.5 显色指数计算 422 a/uo)']B 21.6 电场分布 424 ZBDF>u@ 后记 426 2d*bF. 感兴趣可以扫码加微联系 (zFqb,P
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