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/6KIl 内容简介 oH#v6{y Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 LOvHkk@+ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 }7s>B24J 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 8z2Rry
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? % 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 En6H%^d2 目录 nXA\|c0 Preface 1 x%N\5 V1 内容简介 2 w%y\dIeI' 目录 i X^@I]. 1 引言 1 amWD-0V 2 光学薄膜基础 2 D)@XoM( 2.1 一般规则 2 #!2k<Q*5uT 2.2 正交入射规则 3 LD>\#q8a* 2.3 斜入射规则 6 ;eL9{eF 2.4 精确计算 7 *\uM.m0$ 2.5 相干性 8 ememce,Np 2.6 参考文献 10 jS.g]k 3 Essential Macleod的快速预览 10 b:J(b? 4 Essential Macleod的特点 32 "TcW4U9 4.1 容量和局限性 33 ORN6vX(1 4.2 程序在哪里? 33 IA&L] 4.3 数据文件 35 k]A8% z 4.4 设计规则 35 L';MP^ 4.5 材料数据库和资料库 37 c{+A J8 4.5.1材料损失 38 o|BP$P8V 4.5.1材料数据库和导入材料 39 3+Qxg+< 4.5.2 材料库 41 -r7]S 4.5.3导出材料数据 43 dXHB # 4.6 常用单位 43 9BEFr/. 4.7 插值和外推法 46 5kypMHJm 4.8 材料数据的平滑 50 FQz?3w&ia 4.9 更多光学常数模型 54 +pm[f["C. 4.10 文档的一般编辑规则 55 8.J(r(;> 4.11 撤销和重做 56 cO2& VC 4.12 设计文档 57 AK!hK>u` 4.10.1 公式 58 oR1^/e 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Y-mK+12 4.10.3 沉积密度 59 (-77[+2 4.10.4 平行和楔形介质 60 #H?t!DU 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 #]?bLm<! 4.10.4 性能 61 }@1q@xU 4.10.5 保存设计和性能 64 /iC;%r1L 4.10.6 默认设计 64 ^ KK_qC 4.11 图表 64 &,\=3' 4.11.1 合并曲线图 67 }R[#?ty;] 4.11.2 自适应绘制 68 mW2,1}Jv 4.11.3 动态绘图 68 '_\;jFAM 4.11.4 3D绘图 69 CT9 4.12 导入和导出 73 57a2^ 4.12.1 剪贴板 73 |BT MJ:B 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
D_mL,w 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 [D-Q'"'A 4.13 背景 77 2aw&YZ&Xo 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 }?F`t[+ 4.15 生成Rugate 84 NcOPL\ 4.16 参考文献 91 /MMd`VrC2 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 \0l>q , 5.1 Jobs 92 `1*nL,i 5.2 创建一个新Job(工作) 93 \!vN 5.3 输入材料 94 do*}syQ`O 5.4 设计数据文件夹 95 Ji1Pz)fq 5.5 默认设计 95 -oeL{9; 6 细化和合成 97 *-W#G}O0 6.1 优化介绍 97 T{qTj6I 6.2 细化 (Refinement) 98 G+xt5n.% 6.3 合成 (Synthesis) 100 Aa0b6?Jm 6.4 目标和评价函数 101 pLa[}= 6.4.1 目标输入 102 Z=B_Ty 6.4.2 目标 103 E:zF/$tG 6.4.3 特殊的评价函数 104 %*aJLn+]_R 6.5 层锁定和连接 104 b*a2,MiM 6.6 细化技术 104 T _b^ Tc` 6.6.1 单纯形 105 bNFLO
Q 6.6.1.1 单纯形参数 106 Uoya3#4 G 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 5uq3\a 6.6.2.1 Optimac参数 108 IK,|5] *Ar 6.6.3 模拟退火算法 109 k#8Ti"0 6.6.3.1 模拟退火参数 109 c4&' D;= 6.6.4 共轭梯度 111 j'[m:/ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 `Y-|H;z 6.6.5 拟牛顿法 112 )"f
N!9,F 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 MMB@.W 6.6.6 针合成 113 J"=1/,AS 6.6.6.1 针合成参数 114 5aad$f 6.6.7 差分进化 114 1Je9,dd6 6.6.8非局部细化 115 Wg{k$T_> 6.6.8.1非局部细化参数 115 q~CA0AR 6.7 我应该使用哪种技术? 116 u2oKH{/z 6.7.1 细化 116 PJxH7|GSi 6.7.2 合成 117 `%+ mO88o 6.8 参考文献 117 yC
77c= 7 导纳图及其他工具 118 K{n{KB&_& 7.1 简介 118 -a*K$rnB 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 4Mk-2 Dx 7.2.1 四分之一波长规则 119 ]yjl~3 7.2.2 导纳图 120 QL6C,#6 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 &//wSlL3 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 k = ?h~n0M 7.5 斜入射导纳图 141 E?(xb B 7.6 对称周期 141 dKl^jsd 7.7 参考文献 142 + OV')oE 8 典型的镀膜实例 143 OD']: 8.1 单层抗反射薄膜 145 sr@j$G#uW5 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 3=-4%%[M@ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 aP'"G^F 8.4 W-膜层 148 "V{yi!D{< 8.5 V-膜层 149 )54%HM_$k 8.6 V-膜层高折射基底 150 ih?^t(i 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 *yl>T^DjTC 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 >]o}}KF? 8.9 四层抗反射薄膜 153 f+rz|(6vs{ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Y+K|1r 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 =^H4 Yck/5 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 fgihy 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 r`c_e)STO 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 XZw6Xtn 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Y>jiXl?&
8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 '`1CBU$ 8.17 1/4波长堆栈 162 4v[~r1!V 8.18 陷波滤波器 163 [ sd;`xk 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 e#/E~r& 8.20 褶皱 165 ]*7Y~dO 8.21 消偏振分光器1 169 ?\8?%Qk 8.22 消偏振分光器2 171 N'xSG`,Mg 8.23 消偏振立体分光器 172 ?FfC 8.24 消偏振截止滤光片 173 p4p@^@<>X 8.25 立体偏振分束器1 174 ;S xFp 8.26 立方偏振分束器2 177 npRSE v 8.27 相位延迟器 178 ,lCgQ0}< 8.28 红外截止器 179 t>8XTqqi 8.29 21层长波带通滤波器 180 fO#vF.k% 8.30 49层长波带通滤波器 181 T{wuj[Q#: 8.31 55层短波带通滤波器 182 AkOO)0 8.32 47 红外截止器 183 dMR3)CO 8.33 宽带通滤波器 184 h*ZC*eV> 8.34 诱导透射滤波器 186 =_YG#yS 8.35 诱导透射滤波器2 188 t4?DpE 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 +2 Af&~T 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 $ cj>2. 8.35 增益平坦滤波器 193 Z$J#| 8.38 啁啾反射镜 1 196 1~$);US 8.39 啁啾反射镜2 198 #97h6m? 8.40 啁啾反射镜3 199 u4Em%:Xj 8.41 带保护层的铝膜层 200 :_M;E"9R 8.42 增加铝反射率膜 201 ePIiF_X 8.43 参考文献 202 VY)s+Bx 9 多层膜 204 tE7[Smzuf 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 6"dD2WV/ 9.2 内部透过率 204 .jMq 9.3 内部透射率数据 205 %4HRW;IU 9.4 实例 206 cyJG8f 9.5 实例2 210 %Qk/_ R1 9.6 圆锥和带宽计算 212 :kfp_o+J 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 [
Bl c^C{f 10 光学薄膜的颜色 216 ?ve#} \ 10.1 导言 216 KD^N)&k^Kp 10.2 色彩 216 1yqJwy;X 10.3 主波长和纯度 220 O#Wh
TDF" 10.4 色相和纯度 221 &>H!}"Yk 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 <]G]W/eB' 10.6 色差 226 %u;~kP|S% 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ,]T2$?| 10.8 颜色渲染指数 234 XV^1tX>f{ 10.9 色差计算 235 SM@QUAXO 10.10 参考文献 236 s=[h?kB 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 z5TuGYb< 11.1 短脉冲 238 {/pm<k= 11.2 群速度 239 =N 5z@;! 11.3 群速度色散 241 yv)ux:P&+ 11.4 啁啾(chirped) 245 3MRc4UlB 11.5 光学薄膜—相变 245
YtO|D 11.6 群延迟和延迟色散 246 aN(|'uO@ 11.7 色度色散 246 /a6Xa&(B 11.8 色散补偿 249 ES40?o*]x 11.9 空间光线偏移 256 rb{P :MX 11.10 参考文献 258 [|l?2j\ 12 公差与误差 260 O`vTnrY 12.1 蒙特卡罗模型 260 *YlV-C<}W" 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 6S~sVUL9` 12.2.1 误差工具 267 Uo2GK3nT 12.2.2 灵敏度工具 271 ^i:B+
rl 12.2.2.1 独立灵敏度 271 h>Hb`G< 12.2.2.2 灵敏度分布 275 U)3DQ6T99 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ":_vK}5 12.3 参考文献 276 _/O25% l 13 Runsheet 与Simulator 277 W2.qhY 5 13.1 原理介绍 277 R"K#7{p9 13.2 截止滤光片设计 277 wg w(YU 14 光学常数提取 289 GH[wv< 14.1 介绍 289 r7',3V 14.2 电介质薄膜 289 8.[SU 14.3 n 和k 的提取工具 295 be +4junf 14.4 基底的参数提取 302 }*L(;r)q 14.5 金属的参数提取 306 %AQIGBcgL 14.6 不正确的模型 306 7NJhRz`_ 14.7 参考文献 311 YQY%M>F@d% 15 反演工程 313 5ls6t{Ci 15.1 随机性和系统性 313 ;amXY@RmH 15.2 常见的系统性问题 314 N$[{8yil^w 15.3 单层膜 314 QVtQx>K` 15.4 多层膜 314 M|Rb&6O 15.5 含义 319 |DsnNk0c 15.6 反演工程实例 319 0'IBN} 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 YY!Rz[/ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ,TFIG^Dvq 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 O?|gp<=d 16.1 光学性质的热致偏移 329 KGg3 !jY 16.2 应力工具 335 Z4\=*ic@ 16.3 均匀性误差 339 QqU!Najf 16.3.1 圆锥工具 339 r-<F5<H+K@ 16.3.2 波前问题 341 =AuR:Tx 16.4 参考文献 343 SCz318n 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Ng_!zrx04 17.1 引言 345 ow]053:i 17.2 操作数 345 [ 1u-Q%?# 18 如何在Function中编写脚本 351 5;HH4?]p 18.1 简介 351 mWvl38 18.2 什么是脚本? 351 ynrT a.. 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 K1T4cUo 18.4 基础 352 LEtG|3Dx 18.4.1 Classes(类别) 352 ' <=+;q 18.4.2 对象 352 ?F3h)(} 18.4.3 信息(Messages) 352 r
>nG@A 18.4.4 属性 352 VzVc37Z>6 18.4.5 方法 353 $b mLu=9 18.4.6 变量声明 353 yYfsy?3 18.5 创建对象 354 R~6$oeWAw 18.5.1 创建对象函数 355 .;N 1N^ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 S.f5v8 18.5.3 丢弃对象 356 `V04\05 18.5.4 总结 356 [)TRTxFb 18.6 脚本中的表格 357 j{Q9{}<e 18.6.1 方法1 357 kbe-1 <72 18.6.2 方法2 357 5bgs*.s 18.7 2D Plots in Scripts 358 wY_)y 18.8 3D Plots in Scripts 359 7yh/BZ1 18.9 注释 360 c.e2 M/ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 $A-J,_:T< 18.11 一个更高级的脚本 362 MpR2]k#n< 18.12 <esc>键 364 BGX.U\uc 18.13 包含文件 365 _BP&n |