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摘要 ^GHA,cSf N"@aisi)
J1KV?aR xmsw'\ 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 *+rO3% ;t a;8q7nC 建模任务 DavpjwSn M |6l
,p {|f}0 ncjtv"2R 由于组件倾斜引起的干涉条纹 #Fm, mO$v %dw@;IZ#8{
<XDYnWz +a0q?$\ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 TldqF BX rI23e[
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