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摘要 -LM;}< pZyQY+O
{Q<$Uo6V X{kpSA~ 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ^2wLxXO6 `nO71mo 建模任务 e:AHVepj{ ,&4qgp{)
<[GYLN[0Q LB/C-n.` 由于组件倾斜引起的干涉条纹 {m`A!qcD| $F.kK%-*
t!K*pM %{;Qls%[t 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 OMk5{-8B M. td^l0
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