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摘要 '=!@s1;{[; Nx~9Ug
-TKS`,# 8d9&LPv 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 <vx/pH)f M17oAVN7D 建模任务 Z$R6'EUb1 NG-Wn+W@b
ahi lp$v P(I`^x 由于组件倾斜引起的干涉条纹 _@CY_`a Fy|tKMhnc
70,V>=aJ wD|,G!8E2 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 D>9~JHB ;seD{y7!
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