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摘要 &5>R>rnB :L gFd
fa7Z=:aG 3\_ae2GW 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 70bI}/u 7x`dEi< 建模任务 ArWMbT>Zqw 2z9\p%MX
|hBX" h8@8Qw 由于组件倾斜引起的干涉条纹 Sq^f}q .?{rd3[ec
y)iT-$bQ wG;#L7% 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 9qc<m'MZ K%AbM#o<
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