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摘要 e*}zl>f %(eQ1ir +
apa&'%7 q\o#<'F1J 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 2w7$"N E72N=7v" 建模任务 #2_FM!e d5gwc5X
:;eOhZ=_ q%;cu1^"M 由于组件倾斜引起的干涉条纹 X.4WVI # atq7tX
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Z<\R0 $mM"C+dD 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 *J[P#y ,g7O
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