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摘要 pI_:3D
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p&2d&;Qo0 SY}"4=M?l 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 tp"eXA0n
b`GKGqb J 建模任务 05jjLM'e tQ.H/;
O sy_C<O s?Gv/& 由于组件倾斜引起的干涉条纹 o>]z~^c S*7 6V"")
EAC I> jnM}N:v 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 SC3_S. "F
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