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摘要 ', +YWlW ^i+ d 3
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ZxI GO&~)Vh&7 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 0ndk=V @G'&7-(h* 建模任务 _UP=zW ;|yd}q=p
r7|_Fm Qf #dO8) t 由于组件倾斜引起的干涉条纹 Odn`q= \G4L+Q/13
;[nomxu|? z3Id8G&> 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 ;@ <E /6fa
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