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摘要 y];@ M<<?e .tt= \R
Aj "SSX!L w$FN(BfA 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 D0@d}N 0uO<7IW9 建模任务 =qF DrDt Ng+Ge5C9
u,),kj< VDC"tSQ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 m`H9^w%W HQtUNtZ
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s@1~I 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 w"?E=RS OvtiFN^s'
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