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摘要 PnJ*Zea u6p5:oJj,
`11#J;[@G ,{pGP# 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 WzlS^bZ 5=m3J!? 建模任务 DH/L`$ }z?xGW/k
W8x[3,gT &8wa ih(| 由于组件倾斜引起的干涉条纹 Y!;gQeC aSTFcz"
H):-!?: Gj5>Y!9 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 o|+E+l9\ ;*.(.
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