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摘要 H_Os4} thptm
b=1%pX_ Fu%X 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 UiIF6-ZZ! +T2HE\ 建模任务 sT`^ljp4 13a(FG
VgMP^&/gZ #Qd'+M 由于组件倾斜引起的干涉条纹 ~{M@?8wi j o_
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KDD@%E jV^C19 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 EZib1g&:R/ [@3SfQ
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