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摘要 +FlO_=Bu jf~-;2
]=T-Cv=t @xPWR=Lb 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ;{K/W.R >_LZD4v!< 建模任务 ZE0D= ;=E!xfp5U
bZzB\FB~ ~{gV`nm=J 由于组件倾斜引起的干涉条纹 xa|/P#q w4\g]\
T!Eyq,] z !:%Hbh= 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 KMogwulG yM*f}S/
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