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摘要 Mv:\T%] !.O;SG
d~T@fa s,M]f,T 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 M -8d*#_P m`4N1egCt 建模任务 BiZYGq %-|$7?~
`'pfBVBz A^4#6],%v 由于组件倾斜引起的干涉条纹 JYLAu4s6 drp< f1`l8
5{-54mwo xSq+>, b 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 g$z6*bL *#GX~3A
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