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摘要 U R}kB&t
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 O}QFq14<+ ?w*yW;V` 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例，在非序列场追迹技术的帮助下，于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ~ FGe ~
+semfZ) 建模任务 22 >;vM."
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 \m f*ge\ 40 2x<H 由于组件倾斜引起的干涉条纹 j eq :
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