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摘要 E^ _P ~sk ;6e)(2
PhF3' "> g<O*4
]= 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 =YkJS%)M) a?K= 建模任务 j8nG
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6,)!\1k 7%L%dyN 由于组件倾斜引起的干涉条纹 f m.-*`ax ^ Afq)26D
a(s}Ec${Z {`BC$V 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 B\A2Vm`& di}YHMTx
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