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摘要 ssS"X@VZ
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!syyOfu`} 0%%y9;o 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 avM8-&h mxBx?xM- 建模任务 Y<kz+d,C @o*~\E<T
jcvq:i{ zDEgC 由于组件倾斜引起的干涉条纹 I<,~>'cq. I Z*)
-!mtLaLw Y~Vc|zM^( 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 [u=yl0f 2<h~:
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