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摘要 B vc=gW O;BPd:<
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5b yFo5 pKF.J 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ?<QFW#:) .*blM1+6i/ 建模任务 uek3Y[n F w m:c[G
dCTpO JrTBe73.]j 由于组件倾斜引起的干涉条纹 z:5ROlk0 u_8 22Z
{;DZ@2| :,,y63-f4 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 A5ID I<a jt--w"|-r
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