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摘要 ea[a)Z7# O [ ; 6E
/7HIL?r r@V(w` 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 zm^p7&ak$ kU9AfAe 建模任务 ~[X:twidkL x?k |i}Q
WaO;hy~us 6I.+c 由于组件倾斜引起的干涉条纹 ; >hPHx AxqTPx7`|
k}a!lI: Q ]koj!mMl 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 9lwo/(s HBkQ`T
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