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摘要 5cPSv?x^F@ p7%0hLW
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; +s#S{b 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 em f0sL &*Q|d*CP 建模任务 3?a0
+] md1EJ1\14
9O(i+fM rD:gN%B= 由于组件倾斜引起的干涉条纹 x.j Yip "`gf y
h;cB_6vt 6ON 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 M Ak-=?t DLwC5Iir
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