[技术]衍射级次偏振态的研究 [复制链接]

摘要 :i4(cap&}F  
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光栅结构广泛应用于各种光学应用场景，如光谱仪、近眼显示系统、脉冲整形等。快速物理光学软件VirtualLab Fusion通过使用傅里叶模态方法(FMM，也称为RCWA)，为任意光栅结构的严格分析提供了通用和方便的工具。为此，复杂的一维或二维周期结构可以使用界面和调制介质进行配置，这允许任何类型的光栅形貌进行自由的配置。在此用例中，详细讨论了衍射级次的偏振态的研究。 bT&{8a  
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任务说明 2dkWzx  
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简要介绍衍射效率与偏振理论 b<~-s sL7a  
某个衍射级次（𝑛）的效率表示有多少的辐射功率被衍射到这个特定的级次中。它是由复数值瑞利系数计算出来的，瑞利系数包含了每个衍射级次（矢量）电磁场的全部信息。瑞利系数本身是由FMM对光栅的特征值问题进行严格分析的结果。 ^@O7d1&y  
如果在TE/TM坐标系(CS)中给出瑞利系数，则可以计算衍射效率： h=gtuaR4  
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其中，n_in/n_out为覆盖层和衬底层的折射率，ϑ_in/ϑ_out为所分析的阶次的入射角和衍射角。此外，𝐴表示辐射光的振幅。 v-d"dC`  
如果瑞利系数沿𝑥、𝑦和𝑧给出瑞利系数，则必须应用以下方程： S-88m
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因此，必须考虑所给出的瑞利系数的坐标系。默认情况下，光栅坐标系中为。 fc8ODk*;E  
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光栅结构参数 q
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研究了一种矩形光栅结构。 XLCqB|8`V  
为了简化设置，选择光栅配置，只允许零阶(R_0)反射传播。 6>rz=yAM_  
根据上述参数选择以下光栅参数： 69)"T{7  
光栅周期：250 nm EI6kBRMo  
填充因子：0.5 Cj-&L<  
光栅高度：200 nm Lr"cO|F  
材料n_1：熔融石英（来自目录） 8R!-,I"$  
材料n_2：二氧化钛（来自目录） v$Fz^<Na  
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偏振态分析 v0oVbHO5<  
现在，用TE偏振光照射光栅，并应用圆锥入射角（𝜑）变量。 } SWp~3P  
如前所述，瑞利系数的平方振幅将提供关于特定级次的偏振态的信息。 IiqqdU]  
为了接收瑞利系数作为检测器的结果，需要选择光栅级次分析器件中的单个级次输出，并选择所需的系数。 5%WAnh  
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模拟光栅的偏振态 x>Q% hl  
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瑞利系数现在提供了偏振态的信息： +] ;WN  
在圆锥入射角为0（𝜑=0）时，。这说明衍射光是完全偏振的。 sIf]e'@AC  
对于𝜑=22°，。此时，67%的光是TM偏振的。 M' z.d  
对于𝜑>50°，系数接近为常数，因此偏振态也是常数。 {c9 fv H  
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Passilly等人更深入的光栅案例。 B2Y.1mXq  
Passilly等人的工作研究并优化了亚波长光栅下衍射光谱的偏振态，以获得不同状态之间的高度转换。 
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因此，他们将模拟结果与制作样品的测量数据进行了比较。 ZBpcC0 z  
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光栅结构参数 \]f+{d-&  
在本文中，研究了两种不同的制备光栅结构。 |{kbc0*  
由于加工造成的光栅的理想二元形状的一些偏差是可以预料的，而且确实可以观察到：在基板和侧壁上存在不完全平行的欠刻蚀部分。 $Bz};@  
由于缺少关于制作结构的细节，我们将其简化为VirtulLab Fusion中的模拟。 M9R'ONYAa  
但是如果有可用数据，就可以详细分析光栅的复杂形状。 wB0vpt5f  
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光栅#1——参数 Dh2Cj-| ~  
假设侧壁倾斜为线性。 o}:x-Y  
忽略了衬底中的欠刻蚀部分。 sk39[9  
为了实现光栅脊的梯形形状，采用了倾斜光栅介质。  FNH)wk  
光栅周期：250 nm iZy>V$Aq  
光栅高度：660 nm L5I!
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填充因子：0.75（底部） Pb?vi<ug+  
侧壁角度：±6° }WIkNG4{Z  
n_1：1.46 E
|c(#P{  
n_2：2.08 ]#f%Dku.m  
/-FV1G,h  
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光栅#1——结果 _xCYh|DlQ|  
这两幅图对比之下匹配度很高，特别是图表的趋势。 Anyy
 
与参考文献相比，仿真中光栅结构进行了简化，存在一些小的偏差。由于缺乏关于实际的更详细的光栅结构的数据，这种简化是必要的。 7>gjq'0  
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光栅#2——参数 OJa(Gds  
假设光栅为矩形。 <A Hzs  
忽略了衬底中的欠刻蚀部分。 3#t#NW*e  
矩形光栅足以表示这种光栅结构。 P'tXG  
光栅周期：250 nm ,M{G X  
光栅高度：490 nm 4Z%1eOR9V  
填充因子：0.5 bI:W4y>I=  
n_1：1.46 tcXXo&ZS  
n_2：2.08 o!+%|V8Y  
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光栅#2——结果 a
_P|KRl  
这两幅图对比之下再次显示出非常好的匹配度，特别是图表的趋势。 T}^3Re`i  
与参考文献相比，仿真中光栅结构进行了简化，存在一些小的偏差。由于缺乏关于实际的更详细的光栅结构的数据，这种简化是必要的。 yYJ_;Va  
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