介绍 mlc8q s A-L1vu; 在高约束
芯片上与亚微米波导上耦合光的两种主要方法是
光栅或锥形耦合器。[1]
y@v)kN)Y9\ 耦合器由高折射率比
材料组成,是基于具有
纳米尺寸尖端的短锥形。[2]
4z P"h0 锥形耦合器实际上是
光纤和亚微米波导之间的紧凑模式转换器。[2]
vcj(=\
e8v 锥形耦合器可以是线性[1]或抛物线性[2]过渡。
tJu:N'=Dy 选择Silicon-on-insulator(SOI)技术作为纳米锥和波导的平台,因为它提供高折射率比,包括二氧化硅层作为
光学缓冲器,并允许与集成
电子电路兼容。[2]
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ShL!7y*rT{ \(7A7~ 9O&m7]3 [1] Jaime Cardenas, et al., “High Coupling Efficiency Etched Facet Tapers in Silicon Waveguides,” IEEE Phot. Tech. Lett. VOL. 26, NO. 23, 2380-2382 (2014)
EGI$=Y [2] Vilson R. Almeida, et al., "Nanotaper for compact mode conversion," Opt. Lett. 28, 1302-1304 (2003);
e46`"}r ]#4kqj} 3D FDTD仿真 nHeJ20 j]&Qai~}Y jMBMqQNU 要
模拟的关键部件是来自参考文献[1]的线性锥形硅波导(160 nm至500 nm宽度变化超过100 um长度,250 nm高度),它埋在二氧化硅波导中(注意:使用的尺寸减小了(1.5 umx1.5 umx105 um),以便达到更快的模拟时间)
!pU^?Hy= 为了精确模拟线性锥形硅波导,锥形的网格尺寸应该要设置密度大一些,因此在这种情况下使用不均匀的网格。
p>pN?53S 光源在时域中设置为CW( = 1.55 um),在空间域上设置为高斯横向分布,并且位于二氧化硅波导的硅纸尖端。
1o/(fy 注意:模拟时间应足够长,以确保稳态结果
d)U(XiK' |WS@q' xGr{ad.N yw:%)b{ 仿真结果 l"[.Q>d @su<_m6' _)<5c! /"="y'Wx 顶视图展示了锥形硅波导的有效耦合。
Wn6m$ = uSYI
X 底部视图显示了不同位置的模式转换(左:25 um,中间:65 um,右:103 um)
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