摘要 .;I29yk\XS 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
1B:aC|B L-h$Z0]_F 设计任务 #V_GOy1- `T WN^0!] =dH$2W)G 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
?y7w} W M] EsS^/X 光栅级次分析模块设置 *^XbDg9 /Jlv"R1, 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
f~M8A. )ly
^Ox 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
G$JFuz)| 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
QGPw2Q 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
Vb4;-?s_ 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
h/ep`-YaH 衍射分束器表面 .YcN S% 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
" 'tRfB mh`|=M]8E 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) j4.&l3 ;5S}~+j 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
SBf FZw) 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
zICI_*~ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
9`Q@'(m =!.mGW-Q} 光栅级次和可编程光栅分析仪 g1[&c+=U`P BGWAh2w6 ;st\I 设计与评估结果 Zk`#VH 相位功能设计
rU\[SrIhz 结构设计
trYTs,KV TEA评价
yI8tH! FMM评估
W{Q)-y ~brFo2 通用设置 "QY1.:o<( 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
/9 hR 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
zK5bO=0j b`~wGe 纯相位传输设计 >)#c\{c
9f+RAN( D<):ZfUbI 结构设计 By((,QpB >L>+2z ;#QhQx 更深的分析 zVaCXNcbo •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
RUXCq`)"< •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
*HlDS22 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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!1:@8q 使用TEA进行性能评估 \"^%90F L*
|1/ kBsXfVs9 使用FMM进行性能评估 HnZPw&* );JJ2Jlkd ")`S0n5e 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 m_lrPY- AK/:I>M zhsx& 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ME+em1ZH R@`rT*lJ X r_pgW| 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化