摘要 5JJg"yuY" 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
V#n?&-{V |6\FI? 设计任务 }dV9%0s! Dx9$H++6$X ^EnNbFI 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
BaNU}@ Enq6K1@%G 光栅级次分析模块设置 FCS5@l,'< ymz PJ??! 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
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OuZKhA G_7ks]u- 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
j TB<E=WC 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
"<g?x`iz 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
xCmI7$ uQ# 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
d()zW7}W 衍射分束器表面 N]O{T_5-0 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
j\jL[hG_ p @!@^1j= 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) .(gT+5[ a:(: :m 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
$?CBX27AV 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
i-Ge *? 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
l,^i5t' U{U:8== 光栅级次和可编程光栅分析仪 mE3SiR " [qjAq@@N#q O?4vC5 x 设计与评估结果 v"G%5pq*\ 相位功能设计
i_jax)m% 结构设计
_k"&EW{ Ii TEA评价
/:
\V wH FMM评估
*'AS^2' Cnc\sMDJ\B 通用设置 /I`bh 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
_taHf %\4 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
o\=i0HR9 T?p`Y| gl 纯相位传输设计 FJwZo}<6E f3% ^-Uy*b f>"!-3 结构设计 'o#J>a~!9L J 4*:.8Ki BC$;b>IUA 更深的分析 G2[IO $ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
i?i7T` •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
#<PA-
y •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
]L%R[Z!3 
YKX>@)Dxv 使用TEA进行性能评估 +ia(%[ 9qu24zz$P j~,LoGuPh 使用FMM进行性能评估 8y 4D9_{ :+%h hB GGs 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 _WjETyh
[H
8 .;';[ kT } '" 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 _ c(C;s3o E23 Yk?" Rm\ ']; 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
