摘要 uJ! yM;{+ 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
cOr@dUSL MYb^ILz H3 设计任务 HBFuA.", m TW @E#)n sC .R. 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
I2wT]L UV f1RfNiW. 光栅级次分析模块设置 CF`fn6 wCb%{iowH 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
7o4 vf~ K{&b "Ba1 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
=!`\ =!y 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
i Y2%_b!5 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
&Tf R]. 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
; # $zHR 衍射分束器表面 a;A&>Ei} 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
j8G>0f) '*KP{"3\ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) (1vmt g.O {mp;^/O`er 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
^gdg0y!5~ 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
X&< #3n 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
"p\XaClpz p ? HODwZ 光栅级次和可编程光栅分析仪 N
- ]m <z> Wsr #YNhx| 6L6 Lk 设计与评估结果 B9_0 Yq 相位功能设计
DT=! 结构设计
T'*.LpNP, TEA评价
sv ^; nOAc FMM评估
>Q~"/-bN) IpxFME%! 通用设置 f-\l<o( 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
1?(mE7H# 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
5m+:GiI "z }bgy 纯相位传输设计 2#A u6BvX azB~>#H~ |jV4]7Luq 结构设计 'FBvAk6 X/1Z9 a+W s 8``U~D 更深的分析 !qH=l-7A •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
rr4yJ;qpeP •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
)_EobE\ •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
$gZ|=(y&r 
mId{f 使用TEA进行性能评估 ji( S ?^ -o#0 Yt}3 k#% 19B 使用FMM进行性能评估 gW S4 9*O CRWO R pP ?NI)3-l 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 B>47Ic ? =IbiT #U/B,`= > 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 No[xf9>t VH*j3 rMlbj2T 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
