摘要 Rw
ao5l=x 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
V=zM5 MH2 z2nUul(2 设计任务 Zj+}T
vD)A) seqF84Xd< 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
5IE+M mLk6!&zN 光栅级次分析模块设置 hzu MTKH9 6(q`Oj 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
l;{ N/cS p`<e~[]a 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
sg6w7fp > 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
@F(3*5c_Y 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
K,C $J
I 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
ek l? K~ 衍射分束器表面 s?G'l=CcKu 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
C> `.J_N N9 JgV,` 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) ahi57r[ [;IDTo!<> 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
|p8"9jN@}c 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
; *g*DIR 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
X~)V )'R
uR B)g 光栅级次和可编程光栅分析仪 ) (?UA$" =FD`A#\C~ v-7Rb )EP 设计与评估结果 UU;-q_H6 相位功能设计
iQm.]A 结构设计
5fj TEA评价
JJ
N(M*; FMM评估
~g
K-5}%! WDoKbTv 通用设置 -|k&L}\OB0 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
SP
D207 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
'!yS72{$2 Ah" 'hFY 纯相位传输设计 Oj4u!SY\j . n)!ZN DQ n`@ 结构设计 rKy-u aX[1H6&=7 }W__ffH 更深的分析 ,>QMyI
hv •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
L)R[)$2(g •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
+C'TW^ •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
9Ew:.&d 
%eutfM-?6 使用TEA进行性能评估 k Y'<u c+Q.?vJ i!1ho T$ 使用FMM进行性能评估 # 4P3xa t > x-1vf% ?2?S[\@`0U 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 ]M +V SU ^8';8+$ Bg 7j5 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ,TKs/-_? ^6)GS%R l\T!)Ql 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
