摘要 5h; +Ky!I 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
sJNFFOz U(x]O/m 设计任务 >t7x>_~
K(aJi,e> r(9~$_(vK 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
{s;U~!3aY *g^x*|f6 光栅级次分析模块设置 1) Zf3Y8 kwsp9 0) 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
n0is\ZK 0 X]y)qV)a[c 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
bJD;>"* 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
Wl}&?v&@ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
mkR2i> 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
Vx-7\NB 衍射分束器表面 i&n'N8D@ 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
]kboG%Dl?9 #Qkroji
qw 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) --DoB=5%8 A~mum+[5 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
G+F:99A 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
=z8f]/k*> 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
M8u<qj&<O Tyck/ EO 光栅级次和可编程光栅分析仪 GAAm0; Si~vDQ7" G%Lt.?m[ 设计与评估结果 B-r0"MX& 相位功能设计
ccL~#c0P7 结构设计
ZWS`\M TEA评价
{%C7EAq* FMM评估
+$Rt+S BD MuSUKBhM 通用设置 bwl|0"f+` 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
zL J/5& 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
XO'l Nb. Nr=d<Us9f 纯相位传输设计 7sXxq4 }[xs~!2F /:FOPPs 结构设计 BX yo QNl'ZB\ *<!oHEwkN 更深的分析 @62Mk},9 c •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
'{B!6|"X •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
wKsT7c' •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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1PatH[T[ 使用TEA进行性能评估 y
TDNNK ERN>don2 +k>.Q0n%m 使用FMM进行性能评估 ;{[.Zu OiP!vn}k k%G1i-]4 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 'R:"5d RZCq {|L
2J;kSh1,L 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 JGQj w(Xs R`~z0d. jt.3P 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化