摘要 I f-_?wZe 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
c64v,Hj9 0?DC00O 设计任务 u1^wDc*xg D=r) ) ,)FdRRj 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
s5&@Cxzl *Oj Kc s 光栅级次分析模块设置 \nqkA{;B{ w.{&= WTr 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
XMIbUbU k- 'jg3 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
v`PY>c6~ 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
Me5{_n 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
XXZaK gsq 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
23F/\2MSG 衍射分束器表面 Guw}=l--YR 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
*e> ]~Z, G3 i !PwW 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) / ~ %KVe Kv&g5&N, 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
y046:@v( 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
xw5d|20b 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
}yn0IWVa 2}6%qgnT- 光栅级次和可编程光栅分析仪 2B0W~x2= DOS0;^f #6v27:XK 设计与评估结果 {Azn&|%. t 相位功能设计
VosZJv= 结构设计
Ex amD">T TEA评价
mEG6 FMM评估
+n0r0:z 0 {$D,?V@%_ 通用设置 "p&Y^] 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
0oZsb\ 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
n:
ui C$h<Wt=< 纯相位传输设计 *D}0 [|O Fxs;F p tc ;'oMUP 结构设计 `3H4Ajzcc olB)p$aH# >^Q &nkB"B 更深的分析 {6;9b-a] •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
Ks^6.) •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
!3n)|~r;K •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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\KL;H/ 使用TEA进行性能评估 }U ~6^2 ., ,_aM`%q?Fj <#=N
m0S$ 使用FMM进行性能评估 u- D dq~;| XgN` 7!Z :K`ESq!8u 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 O4\Z!R60g K5ZC:Ks 6fH@wQ"wN 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 z?/1Kj}xG _R'Fco 3`d}~v { 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
