摘要 . 5 s#JL 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
O/{X:Ja{ F4R0A6HL 设计任务 $F#eD 0| <meQ KFuP gp 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
Vs"1:gi& $URL7hrh U 光栅级次分析模块设置 awC:{5R8v c04;2gR 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
|qAU\m"Pc x 8_ nLZ 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
*mVQN1 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
2d60o~ E 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
Sy0-tK 4 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
S
A\_U::T 衍射分束器表面 [ 11D7L%1t 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
Y<WA-dYoF Tu[I84 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) j= U^+jAn s` $YY_ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
{^ jRV@ 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
l'Kx#y$ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
+qiI;C_P\ CTP!{<ii 光栅级次和可编程光栅分析仪 Kt*kARN? W|I<hY\X q L-Ni 设计与评估结果 cAQ_/> 相位功能设计
={k_
(8] 结构设计
\&,{N_G#L. TEA评价
`D,mZj/b FMM评估
OTmw/ #ug G pC*w
~ 通用设置 S0]JeP+3! 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
p`=v$_]?( 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
9\S,$A{{* 2 ,^ U8/ 纯相位传输设计 IA3m.Vxj ^ 0qSf7"3f m2j]wUh" 结构设计 ]dd TH l "
Z2D@l )TtY m3, 更深的分析 T$&vk#qr •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
pm>$'z!.): •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
6BY(Y(z •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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~RU-N%Kn 使用TEA进行性能评估 Dwa.ZY}- =>Q$S ]z#9)i_l3 使用FMM进行性能评估 +d'1 l\"wdS} 1F]jy
进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 dUc ( [& 9?Q0O\&uP ,\ 'E<O2T 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 Cb
i;CF\{ i~i
?M) pp1kcrE\M 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
