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    [技术]VirtualLab Fusion应用:非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-12-04
    摘要
    5h;+Ky!I  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 sJNFFOz  
    U(x]O/m  
    设计任务 >t7x>_~   
    K(aJi,e>  
    r(9~$_(vK  
    使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响
    {s;U~!3aY  
    *g^x*|f6  
    光栅级次分析模块设置 1)Zf3Y8  
    kwsp9 0)  
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数
    n0is\ZK 0  
    X]y)qV)a[c  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 bJD;>"*  
    2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 Wl}&?v&@  
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 mkR2i>  
    4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
    Vx-7\NB  
    衍射分束器表面 i&n'N8D@  
    为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 ]kboG%Dl?9  
    #Qkroji qw  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) --DoB=5%8  
    A~mum+[5  
     一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 G+F: 99A  
     薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 =z8f]/k*>  
     傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
    M8u<qj&<O  
    Tyck/ EO  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 GAAm0;  
    Si~vDQ7"  
    G%Lt.?m[  
    设计与评估结果 B-r0"MX&  
    相位功能设计 ccL~#c0P7  
    结构设计 ZWS`\M  
    TEA评价 {%C7EAq*  
    FMM评估 +$Rt+S BD  
    MuSUKBhM  
    通用设置 bwl|0"f+`  
    提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 zLJ/5&  
    通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 XO'l Nb.  
    Nr=d<Us9f  
    纯相位传输设计 7sXxq4  
    }[xs~! 2F  
    /:FOPPs  
    结构设计 BXyo  
    QNl'ZB \  
    *<!oHEwkN  
    更深的分析 @62Mk},9 c  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 '{B!6|"X  
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 wKsT7c'  
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 5>TK^1 :  
    1PatH[T[  
    使用TEA进行性能评估 y  TDNNK  
    ERN>don2  
    +k>.Q0n%m  
    使用FMM进行性能评估 ;{[.Zu  
    OiP!vn}k  
    k%G1i-] 4  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 'R:"5d  
    RZCq{|L  
    2J;kSh1,L  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 JGQjw(Xs  
    R`~z0 d.  
    jt.3P  
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
     
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