摘要 M0"xDvQ 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
u=R F6V| /v=MGX@r 设计任务 XZIj' a0d '.d el7s O8 k $Uc 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
WAkKbqJV :;)K>g,b 光栅级次分析模块设置 RUSBJsMB 8[2^`g 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
& 7JCPw [ V/*{Z 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
CbI[K| 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
dM#\h*:= 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
!XzRV?Ih; 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
=#n|t[h- 衍射分束器表面 TJ2$
Z 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
vKol@7%N ^MQ7*g6o 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) PHZA?>Q7Z O 6l j^
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
%k5 ^n0|* 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
u=
!?<Q 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
vezX/x D? F|%[s|s 光栅级次和可编程光栅分析仪 oT%~)g >$?$&+e} rjx6Ad/\ 设计与评估结果 }(20MW8rMc 相位功能设计
yC6XO&:g 结构设计
Lc0^I<Y TEA评价
~48Uch\LG: FMM评估
>/ W:*^g) Rb|\! 通用设置 C!%BW%"R 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
DY0G ;L 3 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
Ej8EQ% P %j{gZTz- 纯相位传输设计 :W-"UW, s?7g3H5#0k vfcj,1 结构设计 K"#np!Y) IF$f^$ _l{G Hz
更深的分析 8b[ ^6]rM •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
d7N}-nsB •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
FF)F%o+:w •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
oCXBek?\ 
1^b-J0 使用TEA进行性能评估 &v 'e;W ]'EtLFv) q.g<g u] 使用FMM进行性能评估 [8(e`6xePb `N]!-=o <Gr{h>b 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 K
p ~x Z Z\,iT }{ J<Wzw 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 Jp=ur)Dj DnMfHG[ < /P Qz$e-!Y 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
