摘要 pP* ~ =? 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
!?o$-+a| vX0 "S 设计任务 UIOEkQ\Wl 8a`+h# {M r~%y4 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
zLQ#GF ouVjZF@kS 光栅级次分析模块设置 # RM3^]h 6lmiMU& V 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
wB>S\~i y[p$/$bgC5 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
#)0Tt>d6 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
B w<zc =% 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
o}MzqKfu 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
cZr G:\A 衍射分束器表面 7q!yCU 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
M6]0Y@@> >u5g?y zw 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 0UGiPH,() ;wXY3|@ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
AL]h|)6QpC 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
)!k_Gb`#X 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
vZE|Z[M+< T+WZ E 光栅级次和可编程光栅分析仪 _t|G@D{ 3gG+`{< iog #
, 设计与评估结果 mT6q}``vtG 相位功能设计
Ty3CBR{6 结构设计
LiZdRr TEA评价
K)/!&{7n}a FMM评估
`M?v!]o }2q l?K 通用设置 ,$h(fM8GC 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
*O+R|Cdp/ 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
sK@Y!oF}\ r+{ d!CHq} 纯相位传输设计 *#lBQ BH|. 4YDT%_h0 +_
*eu 结构设计 mPs%ZC \[hn]@ @ 4j X@m 更深的分析 |Bx||=z` •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
cgs3qI •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
e^k!vk-SLF •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
6|
*(dE2x( 
C} b|2y 使用TEA进行性能评估 s,
n^ 17>5#JLP [)#u<lZ<~ 使用FMM进行性能评估 tYs8)\{ ih>a~U< qDnCn H 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 n1QEu"~Zj :`0'GM" ` v:r D3=M- 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 t =n+3`g k""> 2#V XC |* A$x, 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
