摘要 %y6Q3@ 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
6j6CA?| x?wvS]EBg 设计任务 AY/.vyS 1q7&WG ]rlZP1". 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
w<9rTHG8, q|D5
A|) 光栅级次分析模块设置 #%E`~&[
aN0[6+KP; 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
*cb|9elF^ 4eHSAN"$ 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
eS8(HI6{^ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
OXQ*Xpc 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
$wUYK%. 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
T)mQ+&| 衍射分束器表面 xWG@<}H 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
H~j@n!) ukR0E4p 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) D^[l~K JH.XZM& 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
%OBW/Ti 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
8oX1 F(R 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
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6GE 光栅级次和可编程光栅分析仪 ]U>MYdGWb !eyLh&]5 v?`R8 设计与评估结果 IBT>&(cnV 相位功能设计
JqzoF}WH 结构设计
`yfZ{< TEA评价
xTAfVN FMM评估
*?m)VvR>| #kW=|8X 通用设置 ^)dsi 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
.Pm5nS 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
ZG=]b% %L.S~dN6 纯相位传输设计 Ub3$ ` `PUqz& xv]z>4@z, 结构设计 NljpkeX' Dmh$@Uu#F E'WXi!>7p 更深的分析 [5P-K{Ko •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
gNZwD6GMe? •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
nd'D0<% •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
M1Q&)am
!BoGSI 使用TEA进行性能评估 fV"Y/9}( ;?Pz0,{h 9
/H~hEVK 使用FMM进行性能评估 l+Wux$6U Gld~GyB\k JO|j?%6YY 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 \n_7+[=E %j&vV>2 *ra)u- 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 $1 ])>m_ct }U7IMONU #*A&jo'E 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化