摘要 #w<:H1,4 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
q,H
0=\ yg-uL48q 设计任务 U3zwC5}BN 3kl\W[`? cr_Q,* 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
#Kp/AN5YC 0o+2]`q)Q 光栅级次分析模块设置 3%$nRP
X Tfba3+V 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
ixFuqPij -{A!zTw1w 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
u4kg#+H 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
E'J| p7 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
`1$7. ydQ 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
Y=#g_(4* 衍射分束器表面 8>sToNRNe 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
Zk.LG Yz B3V=;zn3 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) =os%22* qq+fUfB2: 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
4Fr\=TX 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
]zza/O;31( 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
TCd1JF0 k8; 光栅级次和可编程光栅分析仪 ,\FJVS;NeJ yn[^!GuJ_ n0T'"i[ 设计与评估结果 'RlPj0Cg
相位功能设计
m-Uq6_e 结构设计
v_gQCS TEA评价
L##lXUl FMM评估
$Qv+*%c JWa9[Dj 通用设置 q,JMmhWaT 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
2B#
]z 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
(
*(#;|m SY`
U]-h 纯相位传输设计 62&(+'$n v[_C^; =-`}(b2N 结构设计 "b!EtlT9 B?nQUIb: i'5Q.uX 更深的分析 %r0yBK2uOp •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
ag-\(i;K] •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
?Mg&e/^ •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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99@uU[&IJ 使用TEA进行性能评估 8Vkw
vc oyBBW?m <|NP!eMsw8 使用FMM进行性能评估 a{7>7%[ %&+j(?9 M ]dS>W%U 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 eU"!X9 z O -v4kW0G 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 !e?GS"L~ x1\,WOrmK r=<Oy1m/ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化