摘要 I(Gl8F\c~ 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
08MY=PC~R jzb%?8ZJ 设计任务 IY40d^x ESyb34T` !4vepa}Y 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
\u$[ $R5 Wo2W/{ 光栅级次分析模块设置 G<W;HM j2 uFYcVvbT@ 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
z XZXp~7) pZ)N,O3 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
OSY.$$IO 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
?8-ho0f0 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
K:L_y 1!T 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
H~<w*[uT 衍射分束器表面 E@/* eJ 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
E2i'l O\P ! z6T_;s 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) ;km ^ OO$ h1Nd1h@- 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
:um]a70 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
$i|d =D&t 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
M97MIku~9 bR'UhPs-8; 光栅级次和可编程光栅分析仪 A/sM
?!p>_ 21sXCmYR,t +[2ep"5H 设计与评估结果 K};~A?ET,h 相位功能设计
FjV)QP H 结构设计
ni?5h 5- TEA评价
sH51 .JG FMM评估
c|s7 cG$+- _V,bvHWlM 通用设置 {NUI8AL46A 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
1!W'0LPM 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
BFswqp: tLzb*U8'1w 纯相位传输设计 U W' @3#<? })umg8s S0w:R:q}L 结构设计 `5
Iaz C;I:?4 ows 3% 更深的分析 Mhu|S) hn •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
gTb%c84 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
D9JHx+Xf> •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
5p H6] $ 
V*gh"gZ< 使用TEA进行性能评估 q,T4-
E _6.Y3+7I 9xOTR#B:_V 使用FMM进行性能评估 zuS4N?t`p \49s;\I] ~oz??SX 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 f~:wI9 UsgrI>|l y' RQ_Gi 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 u;9a/RI rGlnu.mK^ W
H%EC$ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
