摘要 _OY ;SJ( 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
_MU'he^W `4CRpz 设计任务 ;IT^SHym ~&x%;cnv_ RY'y%6Z]ZO 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
7XNfH @ D&shrKFx 光栅级次分析模块设置 ,>$#e1!J II91Ia 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
B:4u 2/!5 n>H N py 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
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>: 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
_KFKx3<m! 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
vzw\f 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
sR6 (8 衍射分束器表面 +3 C
S3fTq 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
L6a8%% ` Y%faf.$/9 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) g _=Q=y@, lwU&jo*@ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
V/Q6v
YX 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
073(xAkL { 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
3 yElN.= gvC2\k{ 光栅级次和可编程光栅分析仪 Lg^m?~{ mT.F$Y9 y hIg)/?L 设计与评估结果 i `Tne3) 相位功能设计
rLwc=(| 结构设计
?o4&cCFOE TEA评价
O!g>
f FMM评估
)L{\k$r!EM R:e:B7O~0 通用设置 h %nZKhm 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
J=$v+8&. 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
$OT:J &0#qy9wx 纯相位传输设计 {\V)bizY; 8[DD=[& dw&Xg _$ 结构设计 TX>;2S3q 982$d<0% 68y.yX[ 更深的分析 \R<yja •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
h*d,AJz &. •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
Xm*Dh#H •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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r=9*2X# 使用TEA进行性能评估 u&qdrK x +q4T] ;< rdK.*oT 使用FMM进行性能评估 [J^,_iN[. {> z.y1 {*| yU" 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 %:??QD* [p <L*3< $] Q_x? 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 8\yH 7H 0trFLX } {lOsZA 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
