摘要 RmcYa j^= 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
7yo|ie@S iSnI Bs9\ 设计任务 ^nG1/} QWU5-p9e8 hdo+Qezu: 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
_Jf J%YXy 71K\.[ =- 光栅级次分析模块设置 jXc5fXO
N ]$* $0 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
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AQP L Bq~AU# 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
SS >:Sw 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
d)`nxnbMeM 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
bx+(.F 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
~Da
>{zHt 衍射分束器表面 l=Lm r 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
J`U $b+q6 daaga}]d 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) e k Y? g_3rEvf"4 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
)_Z]=5Ds 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
j<.
<S { 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
!Ei Ze.K m] +X }| 光栅级次和可编程光栅分析仪 {jj]K.& \ #h})` 31
KDeFg 设计与评估结果 , V0iMq 相位功能设计
h$#4ebp 结构设计
A"P \4 TEA评价
z{ Zimr FMM评估
lW{I`r\] f ~n' Ki+' 通用设置 Y/?DSo4G 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
; /6:lL 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
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jMWpZ :Su 5 纯相位传输设计 `Gy>tD.#V- ~m,mvRS +iZ@.LI 结构设计 V^/h;/! ^ \rw'QAi8r &;uGIk>s 更深的分析 xc3Ov9`8% •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
!VJT"Ds_ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
}RC. Q`b •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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(+]Ig> t 使用TEA进行性能评估 -7C=- \]
JsAb q vl#V-UW$4P 使用FMM进行性能评估 /_ hfjCE 3V8j>&
9I^H)~S 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 O(c4iWm .PA ?N{z <+mO$0h"r 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 _3FMQY( Z;dw n~Tw MRxo |A{ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
