摘要 `m\ ?gsw7 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
=_[Ich,} *Tq7[v{0*| 设计任务 C^!~WFy d6A+pa'2 =g)SZK 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
UZo[]$"Q` $SU<KNMZ 光栅级次分析模块设置 9w-;d=(Q tY60~@YO& 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
&7KX`%K"D uC?/p1 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
P?zL`czWd 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
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yZ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
&zHY0fxX 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
p%5(Qqmlk 衍射分束器表面 gh%Q9Ni- 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
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WDh*8!) 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Sv[+~co<l L]=LY 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
-IL' (vx 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
/?S,u,R 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
,1i l& lht :%Ts$ 光栅级次和可编程光栅分析仪 on f7V !uhh_3RH :(i=> ~O 设计与评估结果 Zc=#Y 相位功能设计
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8 结构设计
<#lNi.?. TEA评价
SKJ'6*6 FMM评估
U-#vssJhk v#9Uy}NJ9 通用设置 1fV\84m^ 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
`12Y2W 9 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
=l%|W[OO wArzMt}[ 纯相位传输设计 /[|A(,N}{ /%P,y+<}iG V/J-zH& 结构设计 df9$k0Fx +\Je
B/F }QJ6"s
更深的分析 /+f3jy:d •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
1P/4,D@ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
1Pd2% •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
U.J/ "}5`T
8[u$CTl7a 使用TEA进行性能评估 P,7beHjf ^/7Y3n!|3 j8?rMD~ 使用FMM进行性能评估 l8d }g ]Waa7)}DM zC!Pb{IaH 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 }?Tz=hP eX o@3/ Y^'mBM#j 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 s5oU x-SYfvYY I>@Qfc
bG 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化