摘要 [Y*UCFhI0 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
jmIP c3O0 uxcj3xE#d 设计任务 0kkiS3T rT#QA=YB iT%UfN/q=I 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
$` 5s>9v 光栅级次分析模块设置 o+na`ed ";~#epPkX 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
}S&{ &gh E.}Zmr#H 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
`/U:u9H9v 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
0,c
z&8 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
7 XY C.g 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
j@DyWm/7 衍射分束器表面 u4"+u"{d 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
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>Cf`F{X'U 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) \|(;q+n?k 4k#6)e 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
|qr[*c 3$1 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
2Zm*f2$xM 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
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# {p-%\nOC 光栅级次和可编程光栅分析仪 Q>r Q/V 'L,rJ =M3 IV*}w"r 设计与评估结果 1$|z%( 相位功能设计
YGHWO#!Gp 结构设计
Li'T{0)1) TEA评价
H)p{T@ FMM评估
&5a>5ZG} 1w5nBVC*$V 通用设置 UJZa1p@L 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
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- 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
HDaec`j N>~*Jp2; 纯相位传输设计 NlDM/ iZ:-V8{ M *}$$Fe| 结构设计 ,&k5Qq &Ls0!dWC `A'*x]l 更深的分析 @|^Ch+%@ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
%ry>p(-pC( •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
8RK\B%UW •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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Ik,w3 }*P* 使用TEA进行性能评估 s?2;u p*D 6Q`ce!~$ *rbayH 使用FMM进行性能评估 FYj3!
H &Jn%2[; 52~k:"c 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 ux }DWrR MG<~{Y84} "~;jFB8 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 6nDx;x&Q ]gEfm~YV <HD/&4$[ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化