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    [技术]VirtualLab Fusion应用:非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-12-04
    摘要
    [Y*UCFhI0  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 jmIP c3O0  
    uxcj3xE#d  
    设计任务 0kkiS 3T  
    rT#QA=YB  
    iT%UfN/q=I  
    使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响
    $`  
    5s>9v  
    光栅级次分析模块设置 o+na`ed  
    ";~#epPkX  
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数
    }S&{ &gh  
    E.}Zmr#H  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 `/U:u9H9v  
    2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 0,c z&8  
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 7XY C.g  
    4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
    j@DyWm/7  
    衍射分束器表面 u4 "+u"{d  
    为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 ofSOy1  
    >Cf`F{X' U  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) \|(;q+n?k  
    4k#6)e  
     一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 |qr[*c3$1  
     薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 2Zm*f2$xM  
     傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
    NOx| #  
    {p-%\nOC  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 Q>rQ/V  
    'L,rJ =M3  
    IV *}w"r  
    设计与评估结果 1$|z%(  
    相位功能设计 YGHWO#!Gp  
    结构设计 Li'T{0)1)  
    TEA评价 H)p{T@  
    FMM评估 &5a>5ZG}  
    1w5nBVC*$V  
    通用设置 UJZa1p@L  
    提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 O<Kr6+ -  
    通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 HDaec`j  
    N>~*Jp2;  
    纯相位传输设计 NlDM/  
    iZ:-V8{  
    M *}$$Fe|  
    结构设计 ,&k 5Qq  
    &Ls0!dWC  
    `A'*x]l  
    更深的分析 @|^C h+%@  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 %ry>p(-pC(  
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 8RK\B%UW  
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 7HF\)cz2  
    Ik,w3}*P*  
    使用TEA进行性能评估 s?2;u p*D  
    6Q`ce!~$  
    *rbayH  
    使用FMM进行性能评估 FYj3! H  
    &Jn%2[;  
    52~k:"c  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 ux }DWrR  
    MG<~{Y84}  
    "~;jFB8  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 6nDx;x&Q  
    ]gEfm~YV  
    <HD/&4$[  
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
     
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