摘要 AOVoOd+6 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
c:f ++|| BdYl
sYp 设计任务 v>]^wH>/" +E-f 5^GFN*poig 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
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9G!I uom~, k$| 光栅级次分析模块设置 _!'sj=n]q o7#Mr`6H 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
1WbawiG} u9~R D 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
jy2@t * 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
{V*OYYI`R 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
3NA
G}S 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
r1!]<= &\ 衍射分束器表面 #&jr9RB 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
_Sx p|{H0 Me|+)}'p5h 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) DHO +JtO h1uD >heGl 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
ko<iG]Dv' 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
A1u|L^ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
D_MNF =7 OJH:k~]0! 光栅级次和可编程光栅分析仪 <(<19t5 . {x8UL7{ g
:Z,
ab4 设计与评估结果 Z" !+p{u 相位功能设计
Y><")% Q 结构设计
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queXDn"m TEA评价
9v2(cpZ FMM评估
e2xqK G !agtgS$qII 通用设置 F< #!83*% 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
4{1 .[##]o 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
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&ZGFr~ yt- F2Z& 纯相位传输设计 +^6v%z 8(Y=MW;g Hx]{'? 结构设计 }ST0?_0F* ]&D;'), t t7l%olw 更深的分析 aF'9&A;q •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
6c/Tm0[ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
;_ ^ "} •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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G)E#wh_S^ 使用TEA进行性能评估 G *f5B W]v[Xm$q X[cSmkp7 使用FMM进行性能评估 vKX
$Nf GAl AFsB 5 ^\f[} 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 \q 8D7/q -;?5<>zZ t7%!~s=,M 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 T Z7{ cekQ Yz?1]<X < p'~$vK 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
