摘要 Km)5;BQxg 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
iGCA>5UE fa~u< m 设计任务 {|{}]B 1Tn0$+ $.4 H*SEzVb 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
0)c9X[sG @ P[ o 光栅级次分析模块设置 Mo4#UV pWU3?U 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
. iDxq8l je9eJUKE 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
F4=+xd >0 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
Q H_ 0U `3 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
IV"OzQONx 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
i{['18Q$F3 衍射分束器表面 . kv/db 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
KK}?x6wV0, vrS)VJg` 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) zvvF 9 zw13Tu 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
>g ):xi3qK 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
||{V*"+\ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
NT qt r=" 3$]SP1M c( 光栅级次和可编程光栅分析仪 A7{l6 0(5 4v@urW s 8{mQmG4 设计与评估结果 yM dAe >@ 相位功能设计
fB \+.eN 结构设计
c&A;0**K, TEA评价
<NIg`B@ 's FMM评估
[1I>Bc&o* ] D(laqS;" 通用设置 - EwtO4vLJ 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
KNR_upO8 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
Fv[. %tW a$Lry?pb 纯相位传输设计 MNy)= d&<P f87> ul!* "8p fLI 结构设计 (kECV8)2 x#mZSSd s_(% 1/{ 更深的分析 ZI<p%IQ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
_}_lrg}U •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
1[QH68 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
T?!&a0 
h6!o,qw" 使用TEA进行性能评估 EYwDv4H,g \ \ j98(i [+=h[DC 使用FMM进行性能评估 *`}4]OGv. T>"GH M Q77iMb] 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 mY+.( N7m myp}DI( PI"&-lXI-m 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 J- %YmUc) N X AP=y3 @ 2mJh^cj 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
