摘要 !`gg$9 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
oaHBz_pg "'Q:%_; 设计任务 uD"Voh|]= *uIHa" .JqIAC~ 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
bpzA '
g> o,- @vp 光栅级次分析模块设置 9SPu 4i {f)p|) 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
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U, >Ry4Cc 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
]q j%6tz 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
MAXdgL[] 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
4{Iz\:G:{/ 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
R?W8l5CIk 衍射分束器表面 ~4M]SX1z 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
Q7C'O @ xiI!_0' 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) \h-[u% ^%L$$V
nG 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
k`- L5#` 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
QMIXz [9w 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
C8?/$1|RL [8"nRlXH 光栅级次和可编程光栅分析仪 AA66^/t @*oi1_q 8wBns)wy @ 设计与评估结果 4l|Am3vzX 相位功能设计
dL"v*3Fy 结构设计
+RbCa
c TEA评价
gnv4.f: FMM评估
&(K*TB|Om 0zd1:*KR, 通用设置 7(jt:V6V 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
6ugBbP +^ 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
/ZczfM\
np ~oF 纯相位传输设计 (i`DUF'#y aAX 8m D@2Tx 结构设计 y]Y)?]) eq"~by[Uq 4U((dx*m 更深的分析 os>|LPv4 •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
B *:6U+I •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
P"- ,^?6 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
k,r\^1h 
pd|c7D!6U, 使用TEA进行性能评估 AVi|JY)> ZXco5,1 f[.]JC+, 使用FMM进行性能评估 U $+rlw} nI 6` / F
Hv|6zUX 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 _ -EHG ?vZ& CB ~2pctqMA 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 %1#5
7- ;1BbRnCr *u- TNg 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
