摘要 cNy*< Tv 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
LZJFp@ 2H~E~6G 设计任务 K j-zEl {Bpu-R&T EgOiJH 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
Xw162/:h *4Z! 5iOs 光栅级次分析模块设置 :p $Q3 _|CO nm 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
w )> /fG|;
"'Q~&B;@ 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
8'Q&F W3" 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
GCxmqoQ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
q9L q+4\ 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
]-OF3+l4 衍射分束器表面 <^e 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
QC1\Sn / l%
{<+N 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) UQB c$`v mU >lm7' 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
%)o;2&aD 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
i \ )$ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
L~Xzo xr^fP~V|)0 光栅级次和可编程光栅分析仪 "Q[?W( SA {@t6[g++ #0Z%4W Q 设计与评估结果 {w v{"*Q9Q 相位功能设计
aM\Ph&c7e' 结构设计
OXV9D:bIa TEA评价
;jmT5XzL FMM评估
VE^IA\J x FMl_I26] 通用设置 2KNs,4X@ 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
*3y_FTh8ra 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
9* (uJA G;J!3A;TE 纯相位传输设计 af=lzKt* DV!0zzJ 6D4 j];~X 结构设计 g:&PjKA 58PL@H~@0 M"ZeK4qh 更深的分析 N1dM,H •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
Aj"fkY|Q •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
KN.WT aO •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
m3` J9f,c/ 
~@ D{&7@ 使用TEA进行性能评估 ,d8*7my OB+QVYk" L#MMNc+ 使用FMM进行性能评估 1HeE$ Z07SK ' U \*30E<;C_
进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 3Zm;:v4y Qt=O iKZ ^:ehG9 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 %p^`,b } mHc5NkvQC -D
wO*f 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
