摘要 On mmcem 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
yDWIflP0; Cs $5Of( 设计任务 Q YJ
EUC@ 0=d2_YzSf 1Pf(.&/9_ 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
Vej$|nF Z g; $vIhn 光栅级次分析模块设置 nHK(3Z4G Qm%F]nyy 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
H= dIZ *zfgO pK 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
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rt}
01$ 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
Cu"Cpt[ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
Bx\&7| ,x 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
sFU< Pg V 衍射分束器表面 ~lj~ ]j 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
kmB!NxF>)F JJ.8V72;!Z 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) )7q$PcY 7Z-j'pq 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
7]{g^g.9- 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
9hp&HL)BOa 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
OATdmHW Vns3859$8 光栅级次和可编程光栅分析仪 +z
>)'# bMH~vR ZsGvv]P 设计与评估结果 @SQsEq+A?\ 相位功能设计
gLiJ&H 结构设计
P5 S ]h TEA评价
K+g[E<x\= FMM评估
)m%uSSx # 3G} )$y3m 通用设置 sJHVnMA 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
J~~\0 u 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
'C+cQLig@ +ikSa8)*i 纯相位传输设计 ? HEqv$n h$S#fY8 OvfluFu7 结构设计 >7U/TVd& }$6L]
}\4yU=JP K 更深的分析 3i^X9[ . •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
>CB-a : •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
6 F\ 6,E •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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&OR(]Wt0 使用TEA进行性能评估 I8H3*DE K7}.# *% ~ fI.|QD*$b 使用FMM进行性能评估 r YUIFPN hA=uoe\ jP@ @<dt 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 + NlnK6T/ ZR>BK, ~id6^#&> 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 "ubp`7%67 7Sd o*z Z)!8a$M~ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
