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    [技术]VirtualLab Fusion应用:非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-12-04
    摘要
    J?~El&  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 Yp1;5Bbp  
    C$~2FTx  
    设计任务 Ap{p_~~iJ  
    1o. O]>  
    Fcc\hV;  
    使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响
    |Fk>NX  
    ]E\o<"#t/  
    光栅级次分析模块设置 ~5[#c27E9  
    _h2axXFhT  
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数
    GRK+/1C  
    h|tdK;)  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 zU;%s<(p  
    2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 )DS|mM)  
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 _s/ 5oRHA  
    4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
    *E0dCY$  
    衍射分束器表面 6px(]QU  
    为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 82.::J'e  
    =ILE/ pC-|  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Wm{Lg0Nr  
    "NY[&S  
     一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 LE!xj 0  
     薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 7cTDbc!E-  
     傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
    ]_6w(>A@3#  
    M<R3JzT  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 \a+.~_iL|  
    eM";P/XaX  
    WdEVT,jjh  
    设计与评估结果 p.1@4kgK&r  
    相位功能设计 RjC3wO::  
    结构设计 zO BLF|L=  
    TEA评价 KTr7z^  
    FMM评估 i^9,.$<1  
    !7C[\No(  
    通用设置 ]W^F!p~eC  
    提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 SJg4P4|  
    通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 z>rl7&[@  
    hXBAs*4DV8  
    纯相位传输设计 WrB:)Q(8=  
    V2As 5  
    k1l\Rywp  
    结构设计 eD4D<\*  
    'MLp*3djF,  
    rucgav  
    更深的分析 37OU  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ^U"$uJz!c  
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 0wM2v[^YO  
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 {k CCpU  
    77KB-l2  
    使用TEA进行性能评估 @d&(*9Y  
    . V5Pr}"y  
    V iY-&q'  
    使用FMM进行性能评估 vO>Fj  
    "DN0|%`M/  
    GM_~2Er]  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 nHAET  
    BlwAD  
    LqNt.d @  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 2/XrorV  
    in-|",O`Z  
    o#GZ|9IL  
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
     
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