摘要 J?~El& 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
Yp1;5Bbp C$~2FTx 设计任务 Ap{p_~~iJ 1o. O]> Fcc\hV; 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
|Fk>NX ]E\o<"#t/ 光栅级次分析模块设置 ~5[#c27E9 _h2axXFhT 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
GRK+/1C h|tdK;) 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
zU;%s<(p 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
)DS|mM) 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
_s/5oRHA 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
*E0dCY$ 衍射分束器表面 6px(]QU 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
82.::J'e =ILE/pC-| 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Wm{Lg0Nr "NY[&S 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
LE!xj 0 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
7cTDbc!E- 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
]_6w(>A@3# M<R3Jz T 光栅级次和可编程光栅分析仪 \a+.~_iL| eM";P/XaX WdEVT,jjh 设计与评估结果 p.1@4kgK&r 相位功能设计
RjC3wO:: 结构设计
zO BLF|L= TEA评价
KTr7z^ FMM评估
i^9 ,. $<1 !7C[\No( 通用设置 ]W^F!p~eC 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
SJg4P4| 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
z>rl7&[@ hXBAs*4DV8 纯相位传输设计 W rB:)Q(8= V2As 5 k1l\Rywp 结构设计 eD4D<\* 'MLp*3djF, rucgav 更深的分析 37OU •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
^U"$uJz!c •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
0w M2v[^YO •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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77KB-l2 使用TEA进行性能评估 @d&(*9Y .
V5Pr}"y V
iY -&q' 使用FMM进行性能评估 vO>Fj "DN0|%`M/ GM_~2Er] 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 nHAET Blw AD LqNt.d @ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 2/Xro rV in-|",O`Z o#GZ|9IL 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化