摘要 15J t
@{<r 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
[ikW3 '99, h[(. 设计任务 5do49H_ ZVIlVuZ} eHE?#r16Z 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
WzhY4"p W!Fu7a 光栅级次分析模块设置 -^ceTzW+ 2I$-&c] 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
JavSR1_ CpLLsp hy 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
2'U+QK@ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
Q ym=L(X 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
X+KQ%Efo 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
1fMl8[!JLu 衍射分束器表面 :meq4!g{1 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
Vw";< <0HZ 9f #6Q*/ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) hMnJH_siY fx=HK t 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
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薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
|C`.m| 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
~0V,B1a v43FU3 光栅级次和可编程光栅分析仪 UPcx xtC (@i2a vYNu=vnM 设计与评估结果 g9G
8; 相位功能设计
ydMfV- 结构设计
f#3!Q!C^ TEA评价
FA$1&Fu3Y FMM评估
G[lNgVbU@ qr'P0+|~5 通用设置 rUDMQxLruV 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
|5g1D^b]s^ 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
"JpnmE[` m\eYm;RVj 纯相位传输设计 QHPC?a6CD |PutTcjQ D<J,3(Yu 结构设计 s)5W:`MH? ~#PC(g r0:I 更深的分析 &O\$=&, h •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
wPQRm[O| •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
\QP1jB •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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I%tJLdL 使用TEA进行性能评估 /2Qgg`^) zrE Dld9 rssn'h 使用FMM进行性能评估 'eg;)e:`b+ A5kz(pj k*k 9hv? 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 0Q5fX} 'w`3( ':= KiYz]IM$4 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 vI0::ah/ n+H);Dg<8 W?2Z31;7 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化