摘要 wQwQXNG 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
NR -!VJQ / C>wd 设计任务 6ek;8dL wvbPnf^y 4eikLRD, 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
-PS#Z0> g>dA$h% 光栅级次分析模块设置 ow_djv:, q o\?o 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
f}1&HI8r .Fnwm} 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
Z00+!Tnd 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
]`&Yqg 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
p;W.lc O`0 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
:,J}z~I,lB 衍射分束器表面 d4nH_? 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
uO=aaKG =li | 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) " )V130< ^4,a 8` 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
(cN}Epi(D 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
iVG-_RsKK 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
JaK}| m < 3Ao^I+ 光栅级次和可编程光栅分析仪 "g' jPwFG G.( mp<- ~ug=
{b 设计与评估结果 (rkU)Q 相位功能设计
,:??P1 结构设计
.!G94b TEA评价
=k/IaFg 6w FMM评估
DqX {'jj #{=;NuP 通用设置 I dXZoY 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
7{I h_.# 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
Sr%;fq N Mww >80 纯相位传输设计 7c~u= U" D5:{fWVsV/ Q" ,0F{' 结构设计 [+OnV & *&d<yJM`b jK' N((Hz 更深的分析 \mV'mZ9> •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
KyzFnVH3) •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
1} tbH[ •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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jq+A-T}@ 使用TEA进行性能评估 1!.(4gV )=-0M9e.{ (sQr X{~ 使用FMM进行性能评估 ZKXo-~=> 8
O 67 ;q:jl~ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 'w14sr% @"o@}9=d x3u4v~ "- 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 l2&`J_" 0
s 70r |U_]vMq 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
