摘要 ,
V,Q(!$F g6aqsa 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
YVvE>1z a^|9rho< 简介 H!hd0.
W)J5[p? reArXmU<u 步骤 1
9}a$0H
h - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
iAk.pH]a 步骤 2
l0URJRK{* - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
rc<Ix 步骤 3
J$5G8<d> - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
NqD Hrx 步骤 4
ZzTkEz > - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
@#hvQ6u 步骤 5
Vy[xu$y - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
E`(=n(Qu 步骤 6
1n}#54 - 将导入的数据阵列加载到采样界面
53ZbtEwhwr oqysfLJ 步骤 7 .
_'1 ]CoR - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
oIx|)[ ER~RBzp 步骤 8
rC!"<