摘要 bY0|N[g @|%2f@h 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
XvlU*TO~(~ &JI8]JmU) 简介 b>N8F^}~O
?1eK#Z. Ez=Olbk 步骤 1
8*T=Xei8 - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
:[!j?)%> 步骤 2
\K!VNB>h - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
8pgEix/M5o 步骤 3
Nu7
!8[?r* - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
u-5{U-^_ 步骤 4
&IB