摘要 AoyU1MR( ?@Z~i]gE[V 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
b,5H|$nLu 0TU~Q 简介 D
h ]+HF
hZI9*=`," K,tmh1 步骤 1
%*OKhrM - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
w( `X P 步骤 2
@;_r`AT7 - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
>4 GhI65 步骤 3
3?Y%|ZVM - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
"-XL Y_ 步骤 4
`m<l8'g - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
R?1;'pvpa[ 步骤 5
$=iz&{9 - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
O]w &uim 步骤 6
u(02{V - 将导入的数据阵列加载到采样界面
xXH%7%W'f NI=t)[\F 步骤 7 .
hd9fD[5 - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
K]zBPfx y%
uUA]c*m 步骤 8
lE08UEk1i - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
VZYdCZ&l7 #!h:w 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 B$g!4C
`g '1ff| c!x9 h0Acpd2 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
JXBW0|8b ru3nnF_I 文件信息 ItQI M# nlHH}K