摘要 M8zE3;5 v~`*(Hh 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
[?I/Uo8
3G.r- 简介 - `4Ty*K
O4N-_Kfp/ pI5_Hg 步骤 1
X(b1/lzA - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
]4GZ'&m} 步骤 2
9t}J|09i - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
zHqhl} 步骤 3
/.2 qWQH - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
[9HYO 步骤 4
=%L@WVbM - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
qg)qjBQwA 步骤 5
F"v:}Vy|
- 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
p;e$kg1 步骤 6
(JU_8j! - 将导入的数据阵列加载到采样界面
shNE~TA yXrd2?Rq@ 步骤 7 .
B5
&YL - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
}+_9"YQ: -_HRqw,Z0 步骤 8
:Dj#VN - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
7dHIW!OA Hh@2 m\HA 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 ?CFoe$M Bi
XTC$Oi t*s!0'Y 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
19) !$Hl kJ__:rS(T_ 文件信息 'mUI-1GkT A9iQ{l