摘要 1va~.;/rG ^B!cL~S*I 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
t[4V1: hqW),^\>' 简介 /_D_W,#P
M->BV9 c2RQwtN| 步骤 1
{bP
)Fon - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
sJ{J@/5 步骤 2
]pq(Q:"P,5 - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
Z'!i"Jzq|{ 步骤 3
hQ@E2 Xsv - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
_PPn
=kuMa 步骤 4
#;])/8R% - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
L6 IIk 步骤 5
WI6h
G - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
|*%i]@V= 步骤 6
d^+0=_[PmK - 将导入的数据阵列加载到采样界面
0$B X8?Z P\ia ?9 步骤 7 .
<;lwvO - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
.2{*>Dzi =oT4!OUf 步骤 8
HJ+Q7) - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
WYm<_1 \ OW.?1d 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 V.-cm51I Gq]/6igzX ,}:}"cl 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
0t(2^*I?> D%*Ryg 文件信息 u\q(v D. Y&j'2!g