摘要 +~U=C9[gj TfZ6F8|B 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
a!c[! s&{Qdf 简介 DrvtH+e
v)kEyX'K2d Uo_tUp_Q 步骤 1
Bl1Z4` 3 - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
!sA_?2$ 步骤 2
t.hm9}UQ - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
?vGffMm 步骤 3
kDYN>``biP - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
w*w?S 步骤 4
:y,v&Kk#T - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
npu6E;'l* 步骤 5
%YlTF\- - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
m>e3vu 步骤 6
i!dv0|_ - 将导入的数据阵列加载到采样界面
z&3]%t
`C ]`w}+B'/ 步骤 7 .
<B&R6<]T - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
snp v z1iS Q\J,}1<`6 步骤 8
=OV2 uq - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
:PnSQjV: )yb+M ez 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 "]-],K !m{2WW- &,-p',\- 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
9;r? nZT/ )Z@-DA*Q- 文件信息 re,.@${H *R`MMm