摘要 F
DCHB~D 5U/1Z{ 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
r'ydjy \LS+.bp% 简介 nu#_,x<LS
X K5qE" r?= 7#/] 步骤 1
R'q:Fc - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
R?Or=W)i 步骤 2
/8` S}g+ - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
Rl""
aZ 步骤 3
NK@G0p~O - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
h}U\2$5 步骤 4
}3Y3f).ZW - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
H19CVc\B 步骤 5
z<F.0~)jb - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
R]Q4+ 步骤 6
k&1~yW - 将导入的数据阵列加载到采样界面
*?+maK{5+ emV@kN. 步骤 7 .
"kjjq~l - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
nJ4CXSdE a,U =irBA 步骤 8
o2ndnIL - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
df7z&{R _;BN;]. 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 x6ig,N~AO o?J>mpC hsQrHs'k 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
9J?G"JV? {Z_Pry$6 文件信息 D>O{>;y[
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