摘要 `.>5H\w0e iC- ?F
cA 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
18JhC*in $[9,1.?C 简介 SjgF&LD
rx`G*k{X "j|}-a 步骤 1
nsR^TD;
- 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
@?ntMh6 步骤 2
XgY( Vv - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
N_S>%Z+ 步骤 3
FkJa+ZA - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
[XFZ2'OO 步骤 4
XP'Mv_!Z - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
N,v4SIC@ 步骤 5
mtDRF'>P: - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
N{Og; roGD 步骤 6
"h.} o DS - 将导入的数据阵列加载到采样界面
~:7AHK2 *]G&pmMs 步骤 7 .
]:TX> X! - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
pKK&+umg o?A/ 步骤 8
xTQV?g
J - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
( 8+ _~_ W"9iFj X 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 BcV;EEi 6GzmzhX4 H8yc< 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
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