摘要 73 D|gF* /Q})%j1S0 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
1th|n d!e$BiC 简介 URX>(Y}g9^
XvZg!<*OH V:F)m! 步骤 1
~\:+y - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
:}e*3={4 步骤 2
m:II<tv - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
G5bi,^G7 步骤 3
YDC[s ^d5 - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
2O`uzT$ 步骤 4
^e<0-uM"s - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
%L<VnY#%u 步骤 5
.+|G`*1<i - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
tjuW+5O 步骤 6
^xu`NE8; - 将导入的数据阵列加载到采样界面
}qi6K-,oU L7%Dc2{^( 步骤 7 .
qW$IpuK - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
o24`5Jdh
VG q' 步骤 8
}bAd@a9>3 - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
CPFd 33 -:*PXu 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 QYyF6ht=! =pN?h<dc OT{qb!eYI 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
2AzF@Pi^z `f8{^Rau 文件信息 )=[K$>0k u}qfwVX Z