摘要 '|S%aMLZ) x%+aKZ(m) 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
}e2(T 2WtRJi?b| 简介 \2ZPj)&-E
?*?RP)V tjGd ) 步骤 1
dDm):Z*`b - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
2 Yp7 步骤 2
K?s+ 3 - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
T/^Hz4uA7 步骤 3
3pK*~VK - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
w QNxL5B 步骤 4
YyTSyP4 - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
9:`(Q3Ei 步骤 5
F%i^XA]a* - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
UilMv~0 步骤 6
kGd<5vCs - 将导入的数据阵列加载到采样界面
z "+Mrew L]d-hs 步骤 7 .
0PU8#2pR - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
AtF3%Zv2 ,z;ky5Ct 步骤 8
aYuD>rD - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
TF 'U 4'-|UPhx 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 K'X2dG* taFn![}/!g H^.IY_I`U* 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
%^1cyk ?t+5s] 文件信息 ow0!%|fO yaG= j