摘要 _%:$sAj 6#(==}Sm+ 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
<3C/t|s mL]a_S{H 简介 JBt2R=
~Y/o9x0
$u
P'> 步骤 1
.6[7D - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
*Sp_s_tS 步骤 2
&ws^Dm]R - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
="J *v> 步骤 3
D,P{ ,/ - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
_ UGR+0'Q\ 步骤 4
T1#r>3c\ - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
Dbl+izF3 步骤 5
XDohfa_ - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
)J{.z 步骤 6
dpSNh1 - 将导入的数据阵列加载到采样界面
!\5w<*p8 W!t =9i 步骤 7 .
yXT8:2M - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
F(KsB5OY? o&ETs)n| 步骤 8
cB=ExD.Q - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
c8Je&y8 %8{nuq+c 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 mLm?yb: )9i$ 1"a( yc+pNC)ue_ 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
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' 文件信息 V@rqC[on n#^ii/H