摘要 j1kc&( R*0F)M 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
k-e@G' W8NA. 简介 .Cus t
R4(8]oUW 9p4U\hx 步骤 1
~m?~eJK#a - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
OJ 5 !+#> 步骤 2
?$c - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
kwR@oVR^ 步骤 3
A%2}?Ds - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
RWo B7{G 步骤 4
,-Nk-g - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
l7!)#^`2_ 步骤 5
8!6*|!,:?n - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
I}IW!K 步骤 6
6S[D"Q94 - 将导入的数据阵列加载到采样界面
Dg+d=I? Gnt!!1_8L 步骤 7 .
"J{zfWr - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
CWQ2iu<_0 *$C[![ 步骤 8
p'k+0= - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
F5MPy[ SYPMoE!U: 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 )6
<byO 6ya87H'e@ S5KYZ
W 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
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