摘要 {L-{Y<fke X*0eN3o. 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
WQIM2_=M @,yFY 简介 eu}:Wg2
T(sG.% wa(Wit"- 步骤 1
{jx#^n&5R - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
Sg_-OX@f 步骤 2
K*HVn2OV - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
@ 2%.>0s. 步骤 3
AXNszS%4 - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
~u?x{[ 步骤 4
A3
Rm0 - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
W{$+mow7S 步骤 5
FM;;x(sg - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
~Me&cT8 步骤 6
G
+nY}c - 将导入的数据阵列加载到采样界面
6,g5To#vw -Iruua7b 步骤 7 .
5x1%oC - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
Vne.HFXA <750-d! 步骤 8
eBYaq!t
k - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
X."h Tha5 #/XK&(X 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 {*ko=77$* O'&X aaZV -+
IX[ 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
8&2gM L3G)?rPFC# 文件信息 !cFE^VM_; x
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