摘要 4_QfM}Fyp unn2I|XH 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
T>nH= O8\f]!O( 简介 Pa d)|
"QXnE^ mTX:?> 步骤 1
J Y8Rk= - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
hIqU idJod 步骤 2
\ [[xyd - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
klQmo30i 步骤 3
=bD.5,F) - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
tb~E.Lm\ 步骤 4
$)ka1L"N - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
\v-I<":: 步骤 5
U'" #jT - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
@,sjM] 步骤 6
lJFy(^KQG, - 将导入的数据阵列加载到采样界面
^rq\kf*] `O2P&!9& 步骤 7 .
Z9M$*Zp - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
71[?AmxV l([aKm# 步骤 8
Jb*QlsGd - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
6ZHeAb]" =ZURh_{xV 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 |^5"-3Q v?]a tb/h` {u
y^Bui} 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
uQ_C<ii"W 7$%G3Q|)L 文件信息 $-UVN0= 084Us
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