摘要 mt3j- Mw 2ME"=!&5 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
Zs<}{`- ez=$ ]cln 简介 f I>>w)5
Z.Lm[$/edn @iK=1\-2 步骤 1
jK/2n}q&] - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
G,M &z>ub0 步骤 2
sY+U$BYB> - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
K]' 84!l 步骤 3
qb(#{Sw0 - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
v39`ct= e 步骤 4
3":ef|w] - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
=MDir$1Z 步骤 5
kCfSF%W& - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
: Q X~bq 步骤 6
,Q4U<`ds! - 将导入的数据阵列加载到采样界面
1MHP#X;| l%\3'N] 步骤 7 .
#P *%FgROl - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
~t[ #p: /]"&E"X" 步骤 8
jcHs! - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
H`q" _p: i3t=4[~oL 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 u8qL?Aj^ WRU/^g3O@' r_p9YS@I 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
y[[f?rxz> `?LQd2p 文件信息 ~fw 6sY# ^@ s!"c