摘要 15En$6> e2BC2K0 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
#z70:-`.[M miTff[hsMa 简介 Y@<jvH1
`>b,'u6F b#"&]s- 步骤 1
Vr d16s
- 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
@y'ZM 步骤 2
I}f7|hYX - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
19-V;F@; 步骤 3
717G
CL@ - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
dz>Jl},`k 步骤 4
ZR-64G=L, - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
^ fyue~9u 步骤 5
34[TM 3L]. - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
y"ss<`Cn 步骤 6
XPZ8*8JL - 将导入的数据阵列加载到采样界面
s? Xgo&rS_ eX lJ=S} 步骤 7 .
.)Pul|)d - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
QSn18V>{ 9:GP~oI j 步骤 8
hF5T9^8 - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
Ww\ WuaY @$ju Qm 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 61_-G#W )''V}Zn.X q_ryW$/_ 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
v`jHd*&6) z]C=nXbk 文件信息 6w(r}yO] lhnGk'@d