摘要 #5^OO ou| ,'<NyA>< 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
G&Yo2aADR L*p7|rq$" 简介 bF;|0X$
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"-5FUKI- 8t7r^[T 步骤 1
Aj O{c=d - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
gC%$)4-: 步骤 2
c>r~pY~$ - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
2>J;P C[; 步骤 3
q{[y4c1bG{ - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
4Pf"R~&[ 步骤 4
OB+ cE4$ - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
HFYe@ 2r 步骤 5
`USze0"t0: - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
n"~K",~P 步骤 6
8@6*d.+e - 将导入的数据阵列加载到采样界面
c*(=Glzn !0Ak)Q]e' 步骤 7 .
hsK(09:J - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
D-m%eP. UpiZd/K 步骤 8
:4\_upRE - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
h-m0Ro?6 b$*G&d5 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 d(5j#? (f*r 7 lq$PsC 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
x;4m@)Mu xKT;1(Mk 文件信息 D{+D.4\ F=UW[zy/[