摘要 >|;aIa@9 |2KAo!PI 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
U)3DQ6T99 ,*7d 简介 wd)jl%
: "1XPr IUwm}9Q! 步骤 1
85GKymz$P - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
`:axzCrCfR 步骤 2
Zv#Ll@v - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
~9j%Hm0ht 步骤 3
GQ
|Mr{.; - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
K#"O
a
h 步骤 4
5<w g8y - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
)&!&AlLn 步骤 5
nMJ#<'v^!2 - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
DY^;EZ!hb 步骤 6
w}=5ElB - 将导入的数据阵列加载到采样界面
\<g*8?yFs ~s5SZK* 步骤 7 .
[p<w._b i - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
8Ac:_Zg db6mfxi 步骤 8
@*sWu_-Y% - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
,N0#!<}4 H*)NLp 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 q`r**N+zn QqU!Najf r-<F5<H+K@ 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
#_u~/jhX F>rH^F 文件信息 r9dyA5oD rOVVL%@QqJ