摘要 GovGh? X#x _PuMZjGL 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
]xuq2MU,l CxO)d7c 简介 hM;E UWv
wc;5tb# <4Ak$E%" 步骤 1
f6DPah# - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
REHfk6YE 步骤 2
mCg 5-E~; - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
2WKA] l; 步骤 3
k|w6&k3 - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
>~6
;9{@ 步骤 4
1[!Idl ?m - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
bO-8<IjC_3 步骤 5
BKN]DxJ6 - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
pPh$Jvo] 步骤 6
&4]%&mX)- - 将导入的数据阵列加载到采样界面
B64%|
S g|W~0A@D 步骤 7 .
\"n&|_SZ\ - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
nHA2p`T 0O[q6!&] 步骤 8
n] &fod - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
)]v vp{ %!WQ;( 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 3B>!9:w~f
!Qn:PSk a-hF/~84S: 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
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